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一种在具有离子射束柱和电子射束柱的双射束带电粒子显微镜中制备样品的方法，包括：‑在样本保持器上提供前体样本；‑使用该离子射束在该样本的所选部分周围切出沟槽；‑将操纵器针附接至该部分，使该部分与该样本的剩余部分分离，以及使用针来执行该部分远离...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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