一种粗糙度测量夹具及其测量方法技术

一种粗糙度测量夹具及其测量方法，所述夹具包括：一压柱，一小固定盘，一大固定盘以及一压环；压柱，设置于整个粗糙度测量夹具的底部；小固定盘，设置于所述压柱和所述大固定盘之间，且其外径大于所述压柱，小于所述大固定盘；大固定盘，正对于所述小固定盘和原子力显微镜样品台进行设置，所述大固定盘的圆盘外径大于所述小固定盘的圆盘外径；压环，正对于所述大固定盘中心的位置进行设置。所述测量方法需要配合本夹具和原子力显微镜一起进行使用，以降低对所测材料表面粗糙度的影响；技术效果：在不影响样品表面粗糙度的情况下，对样品材料进行有效固定和测量，操作简便，使得所测样品材料的表面粗糙度准确性更高。

A Fixture for Measuring Roughness and Its Measuring Method

A roughness measuring fixture and its measuring method include: a pressure column, a small fixed plate, a large fixed plate and a pressure ring; a pressure column, which is arranged at the bottom of the whole roughness measuring fixture; a small fixed plate, which is arranged between the pressure column and the large fixed plate, and whose outer diameter is larger than the pressure column and smaller than the large fixed plate; and a large fixed plate, which is just for the small one. The fixed disc and the sample table of the atomic force microscope are arranged. The outer diameter of the disc of the large fixed disc is larger than that of the small fixed disc. The pressing ring is positioned at the center of the large fixed disc. The measurement method needs to be used together with the clamp and the atomic force microscope to reduce the influence on the surface roughness of the measured material; the technical effect: without affecting the surface roughness of the sample, the sample material is effectively fixed and measured, and the operation is simple, so that the surface roughness accuracy of the measured sample material is higher.

【技术实现步骤摘要】
一种粗糙度测量夹具及其测量方法
本专利技术涉及测量领域，特别是涉及一种粗糙度测量夹具及其测量方法。
技术介绍
现阶段的软质薄膜材料广泛应用在各行各业，比如薄膜晶体管液晶显示器行业中，偏光片的离型膜、异方性导电胶(ACF，AnisotropicConductiveFilm)的离型膜等，这些膜材本身的表面光滑程度对其他工艺条件有着重要的影响，因此了解这些膜材的表面粗糙度是很重要的。现阶段，对于薄膜材料的测量，都是用双面胶固定在玻璃基板等硬质板材上，然后在样品表面再压一片硬质板材，并用手指用力按压板材，以将样品被双面胶良好贴合在底材上，然后再将贴有被测样品的硬质底材用样品台的卡夹压住进行上样测量。这种方法虽然很简便，但还存在一些问题：1)由于薄膜材料是通过双面胶贴合在底材上的，而双面胶本身具有一定的粗糙度，当扫描探针在薄膜材料的表面扫描的时候，不排除会受到双面胶的影响；2)为了将薄膜材料良好地固定在底材上，需要借助外力施加在薄膜材料的表面，这种处理方式对薄膜材料的表面难免会有一定的损坏。因此，现有的薄膜材料测量技术中，还存在如何在不影响薄膜材料表面粗糙度的情况下，对其进行固定并测量的问题，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种粗糙度测量夹具，其特征在于，包括：一压柱，一小固定盘，一大固定盘以及一压环；压柱，设置于整个粗糙度测量夹具的底部；小固定盘，设置于所述压柱和所述大固定盘之间，且其外径大于所述压柱，小于所述大固定盘；大固定盘，正对于所述小固定盘和原子力显微镜样品台进行设置，所述大固定盘的圆盘外径大于所述小固定盘的圆盘外径；压环，正对于所述大固定盘中心的位置进行设置。

【技术特征摘要】
1.一种粗糙度测量夹具，其特征在于，包括：一压柱，一小固定盘，一大固定盘以及一压环；压柱，设置于整个粗糙度测量夹具的底部；小固定盘，设置于所述压柱和所述大固定盘之间，且其外径大于所述压柱，小于所述大固定盘；大固定盘，正对于所述小固定盘和原子力显微镜样品台进行设置，所述大固定盘的圆盘外径大于所述小固定盘的圆盘外径；压环，正对于所述大固定盘中心的位置进行设置。2.根据权利要求1所述的粗糙度测量夹具，其特征在于，所述原子力显微镜样品台，所述大固定盘，所述小固定盘和所述压柱均包括第一端面和第二端面。3.根据权利要求1所述的粗糙度测量夹具，其特征在于，所述大固定盘的第二端面设置有压片脚。4.根据权利要求1所述的粗糙度测量夹具，其特征在于，所述压柱为一柱形结构，所述小固定盘和所述大固定盘均为中空的圆盘状结构，所述压环为一圆环状结构。5.根据权利要求1所述的粗糙度测量夹具，其特征在于，所述大固定盘的外径小于或等于所述原子力显微镜样品台中间开口部的圆孔外径，大于所述压环的外径；所述压环的外径等于所述压柱第二端面的外径。6.根据权利要求1所述的粗糙度测量夹具，其特征在于，所述大固定盘和所述小固定盘均有磁力吸引功能。7.一种粗糙度测量方法，其特征在于，所述粗糙度测量夹具包括权利要求1-6任一条所述的特征，所述方法包括如下步骤：S10，先将所述压柱和所述小固定盘进行固定，形成一个整体；S20，取一份待测样品材料，放置于所述压柱的第二端面；S30，将所述小固定盘和所述压柱形...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俐，钟兴进，张小新，张维维，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44