一种硅片清洗用装载装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硅片清洗用装载装置，包括基板、轴承、第一承载篮、第二承载篮和第三承载篮，所述第一、二、三承载篮叠装在一起，所述基板和第一承载篮通过轴承连接，所述第一承载篮可以相对于基板转动。第一、二、三承载篮可以一起吊装，也可以单个吊装，使用方便，并且装载装置有利于硅片的烘干操作。

A Loading Device for Silicon Wafer Cleaning

The invention discloses a loading device for silicon wafer cleaning, which comprises a base plate, a bearing, a first bearing basket, a second bearing basket and a third bearing basket. The first, second and third bearing baskets are stacked together. The base plate and the first bearing basket are connected by bearings, and the first bearing basket can rotate relative to the base plate. The first, second and third load baskets can be lifted together or individually, which is convenient to use, and the loading device is beneficial to the drying operation of silicon wafers.

【技术实现步骤摘要】
一种硅片清洗用装载装置
本专利技术涉及光伏领域，具体涉及一种硅片清洗用装载装置。
技术介绍
随着传统能源的枯竭以及严重的污染问题，太阳能等新能源技术得到了长足的发展。硅片最为光伏电池板的重要部件，其生产过程中需要经过清洗步骤。清洗需要浸泡超声清洗等，并且还射击烘干步骤等，常规的清洗设备，有时清洗效率低，导致整个的生产效率低下。
技术实现思路
专利技术目的：本专利技术旨在克服现有技术的缺陷，提供一种硅片清洗用装载装置。技术方案：一种硅片清洗用装载装置，包括基板、轴承、第一承载篮、第二承载篮和第三承载篮，所述第一承载篮包括圆环形的第一底板、与所述第一底板固定的圆环柱形的第一外侧壁部和与所述第一底板固定的圆环柱形的第一内侧壁部，所述第一底板还固定有穿过所述第一内侧壁部的第一立柱，所述第一外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第一凹槽，所述第一内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第二凹槽，第一凹槽的数量等于第二凹槽的数量，所述第一底板处具有多个第一通孔，所述第一外侧壁部具有多个连通第一凹槽和第一外侧壁部外侧的第一连通孔；所述第二承载篮包括圆环形的第二底板、与所述第二底板固定的圆环柱形的第二外侧壁部和与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片清洗用装载装置，其特征在于，包括基板、轴承、第一承载篮、第二承载篮和第三承载篮，所述第一承载篮包括圆环形的第一底板、与所述第一底板固定的圆环柱形的第一外侧壁部和与所述第一底板固定的圆环柱形的第一内侧壁部，所述第一底板还固定有穿过所述第一内侧壁部的第一立柱，所述第一外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第一凹槽，所述第一内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第二凹槽，第一凹槽的数量等于第二凹槽的数量，所述第一底板处具有多个第一通孔，所述第一外侧壁部具有多个连通第一凹槽和第一外侧壁部外侧的第一连通孔；所述第二承载篮包括圆环形的第二底板、与所述第二底板固定的圆环柱形的第二外侧壁部和与所述第二底板...

【技术特征摘要】
1.一种硅片清洗用装载装置，其特征在于，包括基板、轴承、第一承载篮、第二承载篮和第三承载篮，所述第一承载篮包括圆环形的第一底板、与所述第一底板固定的圆环柱形的第一外侧壁部和与所述第一底板固定的圆环柱形的第一内侧壁部，所述第一底板还固定有穿过所述第一内侧壁部的第一立柱，所述第一外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第一凹槽，所述第一内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第二凹槽，第一凹槽的数量等于第二凹槽的数量，所述第一底板处具有多个第一通孔，所述第一外侧壁部具有多个连通第一凹槽和第一外侧壁部外侧的第一连通孔；所述第二承载篮包括圆环形的第二底板、与所述第二底板固定的圆环柱形的第二外侧壁部和与所述第二底板固定的圆环柱形的第二内侧壁部，所述第二底板还固定有穿过所述第二内侧壁部的第二立柱，所述第二外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第三凹槽，所述第二内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第四凹槽，第三凹槽的数量等于第四凹槽的数量，所述第二底板处具有多个第二通孔，所述第二外侧壁部具有多个连通第三凹槽和第二外侧壁部外侧的第二连通孔；所述第三承载篮包括圆环形的第三底板、与所述第三底板固定的圆环柱形的第三外侧壁部和与所述第三底板固定的圆环柱形的第三内侧壁部，所述第三底板还固定有穿过所述第三内侧壁部的第三立柱，所述第三外侧壁部的内侧具有多个条形的竖直的第五凹槽，所述第三内侧壁部的外侧具有多个条形的竖直的第六凹槽，第五凹槽的数量等于第六凹槽的数量，所述第三底板处具有多个第三通孔，所述第三外侧壁部具有多个连通第五凹槽和第三外侧壁部外侧的第三连通孔；所述第一外侧壁部的顶端具有多个第一定位柱，所述第二外侧壁部的顶端具有多个第二定位柱，所述第二外侧壁部的底端具有多个与所述第一定位柱啮合的第一定位孔，所述第三外...

【专利技术属性】
技术研发人员：何飞，张靖，
申请(专利权)人：江苏德润光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32