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本发明公开了一种硅片清洗用装载装置，包括基板、轴承、第一承载篮、第二承载篮和第三承载篮，所述第一、二、三承载篮叠装在一起，所述基板和第一承载篮通过轴承连接，所述第一承载篮可以相对于基板转动。第一、二、三承载篮可以一起吊装，也可以单个吊装，使...
该专利属于江苏德润光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏德润光电科技有限公司授权不得商用。

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