【技术实现步骤摘要】
一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法
本专利技术涉及半导体薄膜器件
，具体涉及一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法。
技术介绍
绒面透明导电氧化物薄膜是指薄膜表面具有凸凹起伏的表面形貌，具有较大的表面粗糙度，可以实现陷光效应，即通过薄膜表面对入射光的折射和散射，将入射到薄膜的光分散在各个角度，减少反射引起的光损失。这种结构可以提高光的光程、增加光的吸收，从而有更多的能量来产生载流子。透明导电氧化物薄膜具有优异的光电性质，在太阳能电池、平板显示器和透明电极等光电子器件领域有十分广阔的应用前景。因此，研究具有较好陷光能力、高透过率、低电阻率绒面薄膜的制备及特性具有重要意义。目前，常用的绒面薄膜制备方法有化学气相沉积法和磁控溅射法，采用化学气相沉积可以一步制备出绒面薄膜，但是制备成本高，且薄膜附着力较差。采用磁控溅射法制备绒面薄膜，一般需要后腐蚀过程，然而化学溶液较快的腐蚀速度使得腐蚀过程和绒面形貌难以控制。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种原料易得、掺杂比易控、工艺简单、生产成本低、重复性好的绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法。为实现上述目的，本专利技术采用的...
【技术保护点】
1.一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：以硝酸盐为溶质配制第一前驱体溶液，加入辅助络合剂，磁力搅拌，制成第二前驱体溶液，将第二前驱体溶液旋凃在玻璃衬底上，经过退火处理，即得绒面透明导电氧化物薄膜。
【技术特征摘要】
1.一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：以硝酸盐为溶质配制第一前驱体溶液，加入辅助络合剂，磁力搅拌，制成第二前驱体溶液，将第二前驱体溶液旋凃在玻璃衬底上，经过退火处理，即得绒面透明导电氧化物薄膜。2.根据权利要求1所述的一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，所述硝酸盐为硝酸锌、硝酸铝或硝酸铟的一种或一种以上。3.根据权利要求1所述的一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，所述第一前驱体溶液所使用的溶剂为2-甲氧基乙醇。4.根据权利要求1所述的一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，所述第一前驱体溶液的金属离子浓度为0.2mol/L～0.6mol/L。5.根据权利要求1所述的一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，所述辅助络合剂为乙酰丙酮、甘氨酸、尿素或葡萄糖的一种或一种以上。6.根据权利要求1所述的一种绒面透明导电氧化物薄膜的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张新安，蒋俊华，孙献文，郑海务，张伟风，
申请(专利权)人：河南大学，
类型：发明
国别省市：河南,41
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