下载一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:20223301

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本发明涉及半导体薄膜器件技术领域,具体涉及一种绒面透明导电氧化物薄膜的制备方法,包括以下步骤:以硝酸盐为溶质配制第一前驱体溶液,加入辅助络合剂,磁力搅拌,制成第二前驱体溶液,将第二前驱体溶液旋凃在玻璃衬底上,经过退火处理,即得绒面透明导电氧...
该专利属于河南大学所有,仅供学习研究参考,未经过河南大学授权不得商用。

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