一种光学检测系统技术方案

本申请公开了一种光学检测系统，所述光学检测系统包括：基台，包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于承载待检测样品；第一检测组件和第二检测组件，分别位于所述基台的所述第一面一侧和所述第二面一侧，且检测方向分别对着所述基台的所述第一面和所述第二面，所述第一检测组件用于直接获得所述待检测样品第一表面的第一图像，所述第二检测组件用于透过所述基台获得相背的所述待检测样品第二表面的第二图像，以结合所述待检测样品的所述第一图像和所述第二图像来判断所述待检测样品是否存在缺陷。通过上述方式，本申请能够提高缺陷检测的效率和准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种光学检测系统
本申请涉及半导体
，特别是涉及一种光学检测系统。
技术介绍
半导体行业中常用的圆片、基板等，在来料检查、工艺过程和最终出货时，都涉及到圆片或者基板等的正面和背面的宏观检测。例如，如图1a和1b所示，图1a为现有宏观检测一实施方式的结构示意图，图1b为现有宏观检测另一实施方式的结构示意图。待检测样品10(例如，圆片、基板等)放置在基台12上，在光源14的照射下，使用宏观肉眼检测待检测样品10的正面100是否存在缺陷(如图1a所示)；再将待检测样品10翻转，使用宏观肉眼检测待检测样品10的背面102是否存在缺陷(如图1b所示)。本申请的专利技术人在长期研究过程中发现，上述现有宏观检测存在效率低、准确性差的缺点，容易使缺陷产品流出。
技术实现思路
本申请主要解决的技术问题是提供一种光学检测系统，能够提高缺陷检测的效率和准确性。为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种光学检测系统，所述光学检测系统包括：基台，包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于承载待检测样品；第一检测组件和第二检测组件，分别位于所述基台的所述第一面一侧和所述第二面一侧，且检测方向分本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学检测系统，其特征在于，所述光学检测系统包括：基台，包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于承载待检测样品；第一检测组件和第二检测组件，分别位于所述基台的所述第一面一侧和所述第二面一侧，且检测方向分别对着所述基台的所述第一面和所述第二面，所述第一检测组件用于直接获得所述待检测样品第一表面的第一图像，所述第二检测组件用于透过所述基台获得相背的所述待检测样品第二表面的第二图像，以结合所述待检测样品的所述第一图像和所述第二图像来判断所述待检测样品是否存在缺陷。

【技术特征摘要】
1.一种光学检测系统，其特征在于，所述光学检测系统包括：基台，包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于承载待检测样品；第一检测组件和第二检测组件，分别位于所述基台的所述第一面一侧和所述第二面一侧，且检测方向分别对着所述基台的所述第一面和所述第二面，所述第一检测组件用于直接获得所述待检测样品第一表面的第一图像，所述第二检测组件用于透过所述基台获得相背的所述待检测样品第二表面的第二图像，以结合所述待检测样品的所述第一图像和所述第二图像来判断所述待检测样品是否存在缺陷。2.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述基台为镂空结构，所述镂空的边缘的所述第一面用于支撑所述待检测样品的非检测区域，位于所述待检测样品的非检测区域中央的检测区域从所述镂空处露出；所述第二检测组件的检测方向对着所述基台的所述第二面的所述镂空处。3.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述基台包括透明区域，所述透明区域的所述第一面用于支撑所述待检测样品的检测区域，所述检测区域从所述透明区域露出；所述第二检测组件的检测方向对着所述基台的所述第二面的所述透明区域。4.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一检测组件和所述第二检测组件轴线相同，且同时获得所述待检测样品的同一位置处对应的所述第一图像和所述第二图像。5.根据权利要求4所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一检测组件包括：第一光源，发光方向朝向所述基台的所述第一面；第一相机，镜头方向朝向所述基台的所述第一面，用于获得所述待检测样品的所述第一图像；所述第二检测组件包括：第二光源，发光方向朝向所述基台的所述第二面；第二相机，镜头方向朝向所述基台的所述第二面，用于获得所述待检测样品的所述第二图...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁万春，范伟，
申请(专利权)人：通富微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32