一种光学检测系统技术方案

本申请公开了一种光学检测系统，所述光学检测系统包括：基台，包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于承载待检测样品；第一检测组件和第二检测组件，分别位于所述基台的所述第一面一侧和所述第二面一侧，且检测方向分别对着所述基台的所述第一面和所述第二面，所述第一检测组件用于直接获得所述待检测样品第一表面的第一图像，所述第二检测组件用于透过所述基台获得相背的所述待检测样品第二表面的第二图像，以结合所述待检测样品的所述第一图像和所述第二图像来判断所述待检测样品是否存在缺陷。通过上述方式，本申请能够提高缺陷检测的效率和准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种光学检测系统
本申请涉及半导体
，特别是涉及一种光学检测系统。
技术介绍
半导体行业中常用的圆片、基板等，在来料检查、工艺过程和最终出货时，都涉及到圆片或者基板等的正面和背面的宏观检测。例如，如图1a和1b所示，图1a为现有宏观检测一实施方式的结构示意图，图1b为现有宏观检测另一实施方式的结构示意图。待检测样品10(例如，圆片、基板等)放置在基台12上，在光源14的照射下，使用宏观肉眼检测待检测样品10的正面100是否存在缺陷(如图1a所示)；再将待检测样品10翻转，使用宏观肉眼检测待检测样品10的背面102是否存在缺陷(如图1b所示)。本申请的专利技术人在长期研究过程中发现，上述现有宏观检测存在效率低、准确性差的缺点，容易使缺陷产品流出。
技术实现思路
本申请主要解决的技术问题是提供一种光学检测系统，能够提高缺陷检测的效率和准确性。为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种光学检测系统，所述光学检测系统包括：基台，包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于承载待检测样品；第一检测组件和第二检测组件，分别位于所述基台的所述第一面一侧和所述第二面一侧，且检测方向分别对着所述基台的所述第一面和所述第二面，所述第一检测组件用于直接获得所述待检测样品第一表面的第一图像，所述第二检测组件用于透过所述基台获得相背的所述待检测样品第二表面的第二图像，以结合所述待检测样品的所述第一图像和所述第二图像来判断所述待检测样品是否存在缺陷。其中，所述基台为镂空结构，所述镂空的边缘的所述第一面用于支撑所述待检测样品的非检测区域，位于所述待检测样品的非检测区域中央的检测区域从所述镂空处露出；所述第二检测组件的检测方向对着所述基台的所述第二面的所述镂空处。其中，所述基台包括透明区域，所述透明区域的所述第一面用于支撑所述待检测样品的检测区域，所述检测区域从所述透明区域露出；所述第二检测组件的检测方向对着所述基台的所述第二面的所述透明区域。其中，所述第一检测组件和所述第二检测组件轴线相同，且同时获得所述待检测样品的同一位置处对应的所述第一图像和所述第二图像。其中，所述第一检测组件包括：第一光源，发光方向朝向所述基台的所述第一面；第一相机，镜头方向朝向所述基台的所述第一面，用于获得所述待检测样品的所述第一图像；所述第二检测组件包括：第二光源，发光方向朝向所述基台的所述第二面；第二相机，镜头方向朝向所述基台的所述第二面，用于获得所述待检测样品的所述第二图像；其中，所述第一相机和所述第二相机的轴线重合。其中，所述第一光源包括同轴光源、环形光源中至少一种；所述第二光源包括同轴光源、环形光源中至少一种。其中，所述光学检测系统还包括：控制器，分别连接所述第一光源、所述第一相机、所述第二光源、以及所述第二相机，用于发出控制指令到所述第一光源、所述第一相机、所述第二光源、以及所述第二相机，使所述第一光源、所述第二光源发光，使所述第一相机、所述第二相机在所述第一光源、所述第二光源都发光后同时拍摄以获得所述待检测样品第一表面的第一图像、第二表面的第二图像。其中，所述光学检测系统还包括：处理器，与所述第一相机和所述第二相机连接，用于接收所述第一图像和所述第二图像，并根据所述第一图像和所述第二图像判断所述待检测样品是否存在缺陷。其中，所述光学检测系统还包括：固定装置，与所述第一检测组件和所述第二检测组件连接，用于固定所述第一检测组件和所述第二检测组件的位置；驱动装置，与所述基台连接，用于驱动所述基台沿垂直于所述第一检测组件和所述第二检测组件的轴线的方向运动；或者，固定装置，用于固定所述基台；驱动装置，与所述第一检测组件和所述第二检测组件连接，用于驱动所述第一检测组件和所述第二检测组件沿垂直于所述第一检测组件和所述第二检测组件的轴线的方向同步运动。其中，所述光学检测系统还包括：自动上下料机构，用于将待检测样品输送到所述基台的所述第一面、以及用于将检测后的所述待检测样品从所述基台的所述第一面转移。本申请的有益效果是：区别于现有技术的情况，本申请所提供的光学检测系统包括第一检测组件和第二检测组件，第一检测组件和第二检测组件的检测方向分别对着基台上的待检测样品的第一表面和第二表面，第一检测组件可以直接获得第一表面的第一图像，第二检测组件可以直接获得第二表面的第二图像，通过结合第一图像和第二图像以判断待检测样品是否存在缺陷，进而比较全面和快速地判断待检测样品是否存在缺陷。此外，本申请所提供的光学检测系统可以同时识别待检测样品第一表面和第二表面的缺陷，自动完成缺陷扫描，与现有宏观检测相比，提高检测效率和准确度，降低缺陷产品流出的概率。附图说明为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：图1a为现有宏观检测一实施方式的结构示意图；图1b为现有宏观检测另一实施方式的结构示意图；图2为本申请光学检测系统一实施方式的结构示意图；图3为图2中基台一实施方式的俯视示意图；图4为本申请光学检测系统另一实施方式的结构示意图。具体实施方式下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性的劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。请参阅图2，图2为本申请光学检测系统一实施方式的结构示意图，本申请所提供的光学检测系统2包括：基台20，包括相背设置的第一面200和第二面202，第一面200用于承载待检测样品22。基台20的材质可以为塑料、玻璃、硅等，其可具有一定的光学平整度。待检测样品22可以是圆片、基板等，一般而言，待检测样品22包括相背设置的第一表面220和第二表面222，当待检测样品22放置到基台20上时，待检测样品22的第二表面222相对第一表面220靠近基台20的第一面200，例如，待检测样品22的第一表面220与基台20的第一面200接触。待检测样品22的第一表面220和第二表面222均需进行缺陷检测，缺陷包括：裂纹、灰尘等等。第一检测组件24和第二检测组件26，分别位于基台20的第一面200和第二面202，且检测方向分别对着基台20的第一面200和第二面202，第一检测组件24用于直接获得待检测样品22第一表面220的第一图像，第二检测组件26用于透过基台20获得相背的待检测样品22第二表面222的第二图像，以结合待检测样品22的第一图像和第二图像来判断待检测样品22是否存在缺陷。通过上述方式，本申请所提供的光学检测系统2可以比较全面和快速地判断待检测样品22是否存在缺陷，与现有宏观检测相比，提高了检测效率和准确度，降低缺陷产品流出的概率。在一个实施方式中，请一并参阅图2和图3，图3为图2中基台一实施方式的俯视示意图，本申请所提供的基台20镂空结构，镂空204的边缘206的第一面200用于支撑待检测样品22的非检测区域(未标识)，位于待检测样品22的非检测区域中央的检测区域从镂空204处露本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学检测系统，其特征在于，所述光学检测系统包括：基台，包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于承载待检测样品；第一检测组件和第二检测组件，分别位于所述基台的所述第一面一侧和所述第二面一侧，且检测方向分别对着所述基台的所述第一面和所述第二面，所述第一检测组件用于直接获得所述待检测样品第一表面的第一图像，所述第二检测组件用于透过所述基台获得相背的所述待检测样品第二表面的第二图像，以结合所述待检测样品的所述第一图像和所述第二图像来判断所述待检测样品是否存在缺陷。

【技术特征摘要】
1.一种光学检测系统，其特征在于，所述光学检测系统包括：基台，包括相背设置的第一面和第二面，所述第一面用于承载待检测样品；第一检测组件和第二检测组件，分别位于所述基台的所述第一面一侧和所述第二面一侧，且检测方向分别对着所述基台的所述第一面和所述第二面，所述第一检测组件用于直接获得所述待检测样品第一表面的第一图像，所述第二检测组件用于透过所述基台获得相背的所述待检测样品第二表面的第二图像，以结合所述待检测样品的所述第一图像和所述第二图像来判断所述待检测样品是否存在缺陷。2.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述基台为镂空结构，所述镂空的边缘的所述第一面用于支撑所述待检测样品的非检测区域，位于所述待检测样品的非检测区域中央的检测区域从所述镂空处露出；所述第二检测组件的检测方向对着所述基台的所述第二面的所述镂空处。3.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述基台包括透明区域，所述透明区域的所述第一面用于支撑所述待检测样品的检测区域，所述检测区域从所述透明区域露出；所述第二检测组件的检测方向对着所述基台的所述第二面的所述透明区域。4.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一检测组件和所述第二检测组件轴线相同，且同时获得所述待检测样品的同一位置处对应的所述第一图像和所述第二图像。5.根据权利要求4所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一检测组件包括：第一光源，发光方向朝向所述基台的所述第一面；第一相机，镜头方向朝向所述基台的所述第一面，用于获得所述待检测样品的所述第一图像；所述第二检测组件包括：第二光源，发光方向朝向所述基台的所述第二面；第二相机，镜头方向朝向所述基台的所述第二面，用于获得所述待检测样品的所述第二图...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁万春，范伟，
申请(专利权)人：通富微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32