一种光学检测系统及光学检测设备技术方案

本发明专利技术公开了一种光学检测系统及光学检测设备，第一入射单元提供第一入射光线，并将第一入射光线以预设角度传输至处理单元；第二入射单元提供第二入射光线，并将第二入射光线以若干个角度传输至处理单元；处理单元将第一入射光线和第二入射光线进行处理后以多角度照射到待测基板的表面，经漫反射后形成测试光线传输至生成单元；生成单元根据测试光线，生成待测基板的表面结构的灰度图。由于第一入射单元和第二入射单元的配合，可以实现多角度收集待测基板上的各膜层的灰度信息，得到良好的灰阶成像效果，准确地表现待测基板表面结构的最真实灰度图，进而有效检出不良，提升了检测能力，确保产品后端良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，尤指一种光学检测系统及光学检测设备。
技术介绍
目前，在基板的制作工艺中有时会存在一些短路、断路等不良现象。为了及时发现基板制作存在的各种不良，确保基板的质量，需要实时对基板进行检测，以确定其中是否存在不良现象，以保证基板的正常显示。目前可以采用光学检测设备对基板进行检测，现有的光学检测设备主要依靠单一的发光二极管LED冷光源(发出单色光，如红光、绿光或蓝光)或者金属灯(发出白光)对待测基板进行检测，采用的是检测光(某种单色光或白光)直接垂直照射至待测基板(如阵列基板)上，然后接收从待测基板表层反射回来的光线通过电荷耦合相机(Charge-coupled Device，简称CCD)进行处理形成灰阶图，通过待测基板上的各区域之间的灰阶阈值，结合软件定义的阈值确认不良，实现对不良的检出。但形成的灰阶图往往不是很理想，不是很真实，例如：因外围区域(如Fanout区域)内的膜层结构单一，导致灰阶图在同等光强下出现与其他区域(如薄膜晶体管所在区域)具有明显差异性；或者，当待测基板中某区域有多个膜层构成时，在测试时各个膜层的反射率差异很大，会导致光学检测设备出现误报错或出现漏检现象的可能，造成该设备无法同时对各个膜层的不良进行检测。因此，如何提高灰度图的真实性来检测不良，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术实施例提供一种光学检测系统及光学检测设备，可以实现多角度收集待测基板上的各膜层的灰度信息，得到良好的灰阶成像效果，有效检出不良，提升检测能力。因此，本专利技术实施例提供了一种光学检测系统，包括：第一入射单元、第二入射单元、处理单元和生成单元；其中，所述第一入射单元，用于提供第一入射光线，并将所述第一入射光线以预设角度传输至所述处理单元；所述第二入射单元，用于提供第二入射光线，并将所述第二入射光线以若干个角度传输至所述处理单元；所述处理单元，用于将所述第一入射光线和所述第二入射光线进行处理后以多角度照射到待测基板的表面，经漫反射后形成测试光线传输至所述生成单元；所述生成单元，用于根据接收到的所述测试光线，生成所述待测基板的表面结构的灰度图。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述光学检测系统中，所述第一入射光线和第二入射光线的颜色不同。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述光学检测系统中，所述第一入射单元包括：用于发出所述第一入射光线的第一单色光源，以及设置在所述第一入射光线的传输光路上的第一匀光组件；其中，所述第一匀光组件，用于调整所述第一入射光线的光强并均匀传输至所述处理单元。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述光学检测系统中，所述第二入射单元包括：用于发出所述第二入射光线的第二单色光源，以及设置在所述第二入射光线的传输光路上的第二匀光组件、可旋转式漫反射板和反射镜；其中，所述第二匀光组件，用于调整所述第二入射光线的光强并均匀输出至所述可旋转式漫反射板；所述可旋转式漫反射板，用于将所述均匀输出的第二入射光线经漫反射后调节为具有若干个角度的第二入射光线；所述反射镜，用于将所述若干个角度的第二入射光线经反射后传输至所述处理单元。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述光学检测系统中，所述处理单元包括：设置在所述第一入射光线和第二入射光线的传输光路上的分光镜，以及成像镜头；其中，所述分光镜，用于将第一入射光线和第二入射光线分别进行分光，其中分成的透射光线传输至所述成像镜头；所述成像镜头，用于将所述透射光线以多角度照射到所述待测基板的表面，经漫反射后形成测试光线传输至所述生成单元。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述光学检测系统中，所述分光镜为半反半透镜；所述半反半透镜与所述第一入射光线之间的预设角度为45度。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述光学检测系统中，所述处理单元还包括：用于过滤位于边缘的散射光线的光源过滤构件。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述光学检测系统中，所述生成单元包括：全反射镜和电荷耦合相机；其中，所述全反射镜，用于将所述测试光线经全反射后传输至所述电荷耦合相机；所述电荷耦合相机，用于对所述测试光线进行处理生成所述待测基板的表面结构的灰度图。在一种可能的实现方式中，在本专利技术实施例提供的上述光学检测系统中，所述全反射镜与所述分光镜平行。本专利技术实施例还提供了一种光学检测设备，包括用于放置待测基板的基台，以及本专利技术实施例提供的上述光学检测系统。本专利技术实施例的有益效果包括：本专利技术实施例提供的一种光学检测系统及光学检测设备，包括：第一入射单元、第二入射单元、处理单元和生成单元；其中，第一入射单元提供第一入射光线，并将第一入射光线以预设角度传输至处理单元；第二入射单元提供第二入射光线，并将第二入射光线以若干个角度传输至处理单元；处理单元将第一入射光线和第二入射光线进行处理后以多角度照射到待测基板的表面，经漫反射后形成测试光线传输至生成单元；生成单元根据接收到的测试光线，生成待测基板的表面结构的灰度图。由于第一入射单元和第二入射单元的配合，可以实现多角度收集待测基板上的各膜层灰度信息，得到良好的灰阶成像效果，准确地表现待测基板表面结构的最真实灰度图，进而根据此灰度图中各区域灰度差异对比或与标准灰度图差异对比可以有效检出不良，提升了检测能力，确保产品后端良率。附图说明图1本专利技术实施例提供的光学检测系统的结构示意图之一；图2本专利技术实施例提供的光学检测系统的结构示意图之二；图3本专利技术实施例提供的光学检测系统的结构示意图之三；图4为图3所示的光学检测系统的工作流程图。具体实施方式下面结合附图，对本专利技术实施例提供的光学检测系统及光学检测设备的具体实施方式进行详细地说明。其中，附图中各结构的大小和形状不反映光学检测系统的真实比例，目的只是示意说明本
技术实现思路
。本专利技术实施例提供了一种光学检测系统，如图1所示，包括：第一入射单元1、第二入射单元2、处理单元3和生成单元4；其中，第一入射单元1，用于提供第一入射光线01，并将第一入射光线01以预设角度传输至处理单元3；第二入射单元2，用于提供第二入射光线02，并将第二入射光线02以若干个角度传输至处理单元3；处理单元3，用于将第一入射光线01和第二入射光线02进行处理后以多角度照射到待测基板5的表面，经漫反射后形成测试光线03传输至生成单元4；生成单元4，用于根据接收到的测试光线03，生成待测基板5的表面结构的灰度图。在本专利技术实施例提供的上述光学检测系统，在光学检测系统中设置的第一入射单元提供第一入射光线，并将第一入射光线以预设角度传输至处理单元；第二入射单元提供第二入射光线，并将第二入射光线以若干个角度传输至处理单元；处理单元将第一入射光线和第二入射光线进行处理后以多角度照射到待测基板的表面，经漫反射后形成测试光线传输至生成单元；生成单元根据测试光线，生成待测基板的表面结构的灰度图。由于在光学检测系统中设置的第一入射单元和第二入射单元的配合，可以实现多角度收集待测基板上的各膜层的灰度信息，得到良好的灰阶成像效果，准确地表现待测基板表面结构的最真实灰度图，进而根据此灰度图中各区域灰度差异对比或与标准灰度图差异对比可以有效检出不良，提升了检测能力本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学检测系统，其特征在于，包括：第一入射单元、第二入射单元、处理单元和生成单元；其中，所述第一入射单元，用于提供第一入射光线，并将所述第一入射光线以预设角度传输至所述处理单元；所述第二入射单元，用于提供第二入射光线，并将所述第二入射光线以若干个角度传输至所述处理单元；所述处理单元，用于将所述第一入射光线和所述第二入射光线进行处理后以多角度照射到待测基板的表面，经漫反射后形成测试光线传输至所述生成单元；所述生成单元，用于根据接收到的所述测试光线，生成所述待测基板的表面结构的灰度图。

【技术特征摘要】
1.一种光学检测系统，其特征在于，包括：第一入射单元、第二入射单元、处理单元和生成单元；其中，所述第一入射单元，用于提供第一入射光线，并将所述第一入射光线以预设角度传输至所述处理单元；所述第二入射单元，用于提供第二入射光线，并将所述第二入射光线以若干个角度传输至所述处理单元；所述处理单元，用于将所述第一入射光线和所述第二入射光线进行处理后以多角度照射到待测基板的表面，经漫反射后形成测试光线传输至所述生成单元；所述生成单元，用于根据接收到的所述测试光线，生成所述待测基板的表面结构的灰度图。2.如权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一入射光线和第二入射光线的颜色不同。3.如权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一入射单元包括：用于发出所述第一入射光线的第一单色光源，以及设置在所述第一入射光线的传输光路上的第一匀光组件；其中，所述第一匀光组件，用于调整所述第一入射光线的光强并均匀传输至所述处理单元。4.如权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述第二入射单元包括：用于发出所述第二入射光线的第二单色光源，以及设置在所述第二入射光线的传输光路上的第二匀光组件、可旋转式漫反射板和反射镜；其中，所述第二匀光组件，用于调整所述第二入射光线的光强并均匀输出至所述可旋转式漫反射板；所述可旋转式漫反射板，用于将所述均匀输出的...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋磊，黄先纯，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11