一种密封性能好的真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种密封性能好的真空镀膜机，其结构包括外壳体和内壳体，所述外壳体套接在内壳体的外部，所述外壳体和内壳体的中间设有过渡腔，所述外壳体和内壳体的底部均固定连接有底座，所述外壳体的中间设有第一隔离阀门，所述内壳体的中间与第一隔离阀门相对应的地方设有第二隔离阀门，所述内壳体的内部设有镀膜腔，所述镀膜腔的上部设有基材，所述镀膜腔的底部设有靶材，所述靶材的下部接触连接有坩埚，所述坩埚与底座固定连接，该实用新型专利技术，通过设置过渡腔将外部的空气进行过滤，提高了镀膜机的密封性，设置的遮挡板能减少人员的清理时间，设有的电机和转轴能提高镀膜的均匀性，设有红外温度计检测内部温度，提高了镀膜质量。

A Vacuum Coating Machine with Good Sealing Performance

The utility model discloses a vacuum coating machine with good sealing performance. Its structure includes a shell body and an inner shell, which are sleeved outside the inner shell. The middle of the shell body and the inner shell is provided with a transition cavity. The bottom of the shell body and the inner shell are fixed and connected with a base. The middle of the shell body is provided with a first isolation valve, and the middle of the inner shell is connected with the first one. A second isolation valve is arranged at the corresponding place of the isolation valve. The inner shell is provided with a film-plating chamber, the upper part of the film-plating chamber is provided with a base material, the bottom of the film-plating chamber is provided with a target material, the lower part of the target material is contacted with a crucible, and the crucible is fixed with the base. The utility model improves the film-plating by setting a transition chamber to filter the outer air. The sealing property of the machine, the setting of the shield plate can reduce the cleaning time of the personnel, the equipped motor and the rotating shaft can improve the uniformity of the coating, and the infrared thermometer can detect the internal temperature and improve the quality of the coating.

【技术实现步骤摘要】
一种密封性能好的真空镀膜机
本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种密封性能好的真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜，对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。目前，常用的真空镀膜机，在镀膜时，往往因为壳体密封程度不够高，腔体内容易混入其它杂质空气，导致镀膜的质量下降，另外在镀膜的时候，靶材容易溅射蒸发到镀膜腔的内壁上，导致人员清洗麻烦，浪费时间，为此，我们提出一种密封性能好的真空镀膜机。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种密封性能好的真空镀膜机，解决了
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种密封性能好的真空镀膜机，其结构包括外壳体和内壳体，所述外壳体套接在内壳体的外部，所述外壳体和内壳体的中间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种密封性能好的真空镀膜机，其结构包括外壳体（1）和内壳体（2），其特征在于：所述外壳体（1）套接在内壳体（2）的外部，所述外壳体（1）和内壳体（2）的中间设有过渡腔（6），所述外壳体（1）和内壳体（2）的底部均固定连接有底座（21），所述外壳体（1）的中间设有第一隔离阀门（3），所述内壳体（2）的中间与第一隔离阀门（3）相对应的地方设有第二隔离阀门（4），所述内壳体（2）的内部设有镀膜腔（7），所述镀膜腔（7）的上部设有基材（12），所述镀膜腔（7）的底部设有靶材（13），所述靶材（13）的下部接触连接有坩埚（14），所述坩埚（14）与底座（21）固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种密封性能好的真空镀膜机，其结构包括外壳体（1）和内壳体（2），其特征在于：所述外壳体（1）套接在内壳体（2）的外部，所述外壳体（1）和内壳体（2）的中间设有过渡腔（6），所述外壳体（1）和内壳体（2）的底部均固定连接有底座（21），所述外壳体（1）的中间设有第一隔离阀门（3），所述内壳体（2）的中间与第一隔离阀门（3）相对应的地方设有第二隔离阀门（4），所述内壳体（2）的内部设有镀膜腔（7），所述镀膜腔（7）的上部设有基材（12），所述镀膜腔（7）的底部设有靶材（13），所述靶材（13）的下部接触连接有坩埚（14），所述坩埚（14）与底座（21）固定连接。2.根据权利要求1所述的一种密封性能好的真空镀膜机，其特征在于：所述过渡腔（6）的一侧底部贯穿连接有过渡腔抽气管（8），所述镀膜腔（7）的底部贯穿连接有镀膜腔抽气管（81），所述过渡腔抽气管（8）和镀膜腔抽气管（81）的另一端均贯通连接在总抽气管（9）上。3.根据权利要求1所述的一种密封性能好的真空镀膜机，其特征在于：所述基材（12）的顶部可拆卸连接有转轴（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：向一民，叶电，刘新，张杰海，王欢，
申请(专利权)人：江苏怡丽科姆新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32