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本实用新型公开了一种密封性能好的真空镀膜机，其结构包括外壳体和内壳体，所述外壳体套接在内壳体的外部，所述外壳体和内壳体的中间设有过渡腔，所述外壳体和内壳体的底部均固定连接有底座，所述外壳体的中间设有第一隔离阀门，所述内壳体的中间与第一隔离阀...
该专利属于江苏怡丽科姆新材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏怡丽科姆新材料股份有限公司授权不得商用。

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