蒸镀装置及蒸镀系统制造方法及图纸

一种蒸镀装置，包括蒸镀机构和密封机构，蒸镀机构包括蒸镀腔室和设置在蒸镀腔室内的蒸发源；密封机构包括固定块、传动杆、盖板、第一磁铁、第二磁铁和回位弹簧，固定块连接在蒸镀腔室内，传动杆穿过固定块设置，传动杆的一端与盖板连接，传动杆的另一端与第一磁铁连接，第二磁铁设置在蒸镀腔室之外，回位弹簧连接于固定块与第一磁铁之间，第一磁铁与第二磁铁吸合时，盖板覆盖在蒸发源上。本实用新型专利技术的蒸镀装置能避免了蒸镀腔室的真空出现异常，降低了设备耗材更换及维护时间，提高了设备产能。本实用新型专利技术还涉及一种蒸镀系统。

Steaming Equipment and Steaming System

The invention relates to an evaporation plating device, which comprises an evaporation plating mechanism and a sealing mechanism. The evaporation plating mechanism comprises an evaporation source arranged in the evaporation plating chamber. The sealing mechanism comprises a fixing block, a transmission rod, a cover plate, a first magnet, a second magnet and a return spring. The fixing block is connected in the evaporation plating chamber. The transmission rod is arranged through the fixing block, one end of the transmission rod is connected with the cover plate, and the other end of the transmission rod is connected with the The end is connected with the first magnet, the second magnet is arranged outside the evaporation chamber, the return spring is connected between the fixed block and the first magnet, and the cover plate covers the evaporation source when the first magnet and the second magnet are absorbed. The evaporation device of the utility model can avoid abnormal vacuum in the evaporation chamber, reduce the replacement and maintenance time of equipment consumables, and improve equipment productivity. The utility model also relates to an evaporation plating system.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀装置及蒸镀系统
本技术涉及蒸镀
，特别涉及一种蒸镀装置及蒸镀系统。
技术介绍
真空蒸镀法是在蒸镀腔室中加热坩埚中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子从表面气化出形成蒸汽流，入射到衬底基板表面凝结形成固态薄膜的方法。通常蒸镀腔室内有多个坩埚蒸镀不同材料，进行蒸镀时，需要对装有目标原材料的坩埚进行加热，同时利用密封机构的盖板将其他坩埚密封起来，以免混料。现有安装密封机构的方式是在蒸镀腔室的底板上开设多个开孔，活动杆的一端与驱动器连接，活动杆的另一端与盖板连接，通过驱动器驱使活动杆转动，直至盖板覆盖在坩埚上，实现密封坩埚。但是，密封机构频繁的驱动活动杆转动容易导致蒸镀腔室的真空异常，因此需要经常维护保养，更换密封材料，从而影响设备产能。
技术实现思路
本技术的目的在于，提供了一种蒸镀装置，能避免了蒸镀腔室的真空出现异常，降低了设备耗材更换及维护时间，提高了设备产能。本技术解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。一种蒸镀装置，包括蒸镀机构和密封机构，蒸镀机构包括蒸镀腔室和设置在蒸镀腔室内的蒸发源；密封机构包括固定块、传动杆、盖板、第一磁铁、第二磁铁和回位弹簧，固定块连接在蒸镀腔室内，传动本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀机构，包括蒸镀腔室和设置在该蒸镀腔室内的蒸发源；密封机构，包括固定块、传动杆、盖板、第一磁铁、第二磁铁和回位弹簧，该固定块连接在该蒸镀腔室内，该传动杆穿过该固定块设置，该传动杆的一端与该盖板连接，该传动杆的另一端与该第一磁铁连接，该第二磁铁设置在该蒸镀腔室之外，该回位弹簧连接于该固定块与该第一磁铁之间，该第一磁铁与该第二磁铁吸合时，该盖板覆盖在该蒸发源上。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：蒸镀机构，包括蒸镀腔室和设置在该蒸镀腔室内的蒸发源；密封机构，包括固定块、传动杆、盖板、第一磁铁、第二磁铁和回位弹簧，该固定块连接在该蒸镀腔室内，该传动杆穿过该固定块设置，该传动杆的一端与该盖板连接，该传动杆的另一端与该第一磁铁连接，该第二磁铁设置在该蒸镀腔室之外，该回位弹簧连接于该固定块与该第一磁铁之间，该第一磁铁与该第二磁铁吸合时，该盖板覆盖在该蒸发源上。2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，该固定块上设有过孔，该过孔贯穿该固定块，该传动杆穿过该过孔设置。3.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，该传动杆包括传动杆部和固定框，该传动杆部穿过该过孔设置，该传动杆部的一端与该固定框连接，该传动杆部的另一端与该第一磁铁连接，该盖板连接在该固定框上，该蒸发源位于该固定框的下...

【专利技术属性】
技术研发人员：王燕锋，陆鹏，刘成，崔永鑫，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13