一种半导体晶片的检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体晶片的检测装置，包括转台、检测盒、固定槽、橡胶吸头、安装台、光路收集装置、投射灯、环形滑轨、环形滑槽、基座、操作槽、橡胶气囊、气管、环形齿条、磁铁片、转动电机和齿轮，所述基座上表面中心处固定有安装台，所述基座上表面位于安装台外侧套有转台，所述安装台外侧固定有环形滑轨，此半导体晶片检测装置，通过橡胶气囊的形变恢复力，对晶片产生吸附力，实现固定，取出晶片时，用手按压橡胶气囊，方便的取出，提高晶片的安装与拆卸的便捷度，加快检测速度，同时检测盒为黑色塑料盒检测盒将被检测晶片遮住，黑色吸收其他光源，避免干扰检测的效果，提高检测精度。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体晶片的检测装置
本技术涉及半导体晶片检测
，具体为一种半导体晶片的检测装置。
技术介绍
半导体晶片多为半导体硅晶片，硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素，地壳成分中27.8％是硅元素构成的，其次是氧元素，硅是自然界中最丰富的元素，半导体晶片生产完成后需要进行反射率测量和荧光测量等，普通的测量装置对晶片的固定比较麻烦，而且检测效率较低，为此，我们提出一种半导体晶片的检测装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体晶片的检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体晶片的检测装置，包括转台、检测盒、固定槽、橡胶吸头、安装台、光路收集装置、投射灯、环形滑轨、环形滑槽、基座、操作槽、橡胶气囊、气管、环形齿条、磁铁片、转动电机和齿轮，所述基座上表面中心处固定有安装台，所述基座上表面位于安装台外侧套有转台，所述安装台外侧固定有环形滑轨，所述转台外侧固定有环形滑槽，且环形滑轨与环形滑槽滑动连接，所述转台底面边缘处固定有环形齿条，所述基座一侧安装有转动电机，所述转动电机输出轴固定有齿轮，且齿轮与环形齿条啮合连接，所述转台上表面均匀开设有固定槽，所述转台侧面位于固定槽对应位置开设有操作槽，所述操作槽顶部安装有气管，且气管远离操作槽一端与固定槽连通，所述固定槽底部中心处设有橡胶吸头，且橡胶吸头与气管端口固定连接，所述操作槽内设有橡胶气囊，且橡胶气囊与气管端口固定连接，所述安装台上表面一侧转动安装有检测盒，且检测盒位于固定槽正上方，所述检测盒内部顶端转动安装有光路收集装置和投射灯，所述检测盒下表面与安装台上表面对应固定有磁铁片。优选的，所述检测盒一侧安装有把手。优选的，所述检测盒为黑色塑料盒。优选的，所述检测盒内部顶面对称固定有转座，且光路收集装置和投射灯分别通过紧固螺栓与转座转动连接，所述紧固螺栓端部啮合连接有紧固螺帽。优选的，所述固定槽内标记有定位标记，且定位标记与固定槽位置同心。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术手捏橡胶气囊，并且留有一些气，将半导体晶片放置到固定槽内的橡胶吸头顶部，与定位标记对比确保放置稳妥，松开橡胶气囊，开启转动电机转动，通过齿轮与安装台啮合连接，带动转台间歇转动，晶片转到检测盒下方时，投射灯对晶片投射光线，光路收集装置获取到晶片的光强与光谱信息，再传输给外部的计算机进行分析并得到该晶片的光强、光谱数据图，此半导体晶片检测装置，通过橡胶气囊的形变恢复力，对晶片产生吸附力，实现固定，取出晶片时，用手按压橡胶气囊，方便的取出，提高晶片的安装与拆卸的便捷度，加快检测速度。2、本技术当光路收集装置和投射灯角度有偏差时，通过把手克服磁铁片的吸引力，将检测盒翻转，然后将紧固螺栓松动，对光路收集装置和投射灯进行角度调节，再拧紧紧固螺栓，将检测盒关闭，光路收集装置和投射灯的调节方便，同时检测盒为黑色塑料盒检测盒将被检测晶片遮住，黑色吸收其他光源，避免干扰检测的效果，提高检测精度。附图说明图1为本技术整体俯视结构示意图；图2为本技术整体剖视结构示意图；图3为本技术检测盒结构示意图；图4为本技术投射灯转动安装结构示意图；图5为本技术固定槽结构示意图。图中：1、转台；2、检测盒；3、固定槽；4、橡胶吸头；5、安装台；6、把手；7、光路收集装置；8、投射灯；9、环形滑轨；10、环形滑槽；11、基座；12、操作槽；13、橡胶气囊；14、气管；15、环形齿条；16、磁铁片；17、转动电机；18、齿轮；19、转座；20、紧固螺栓；21、紧固螺帽；22、定位标记。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5，本技术提供一种技术方案：一种半导体晶片的检测装置，包括转台1、检测盒2、固定槽3、橡胶吸头4、安装台5、光路收集装置7、投射灯8、环形滑轨9、环形滑槽10、基座11、操作槽12、橡胶气囊13、气管14、环形齿条15、磁铁片16、转动电机17和齿轮18，所述基座11上表面中心处固定有安装台5，所述基座11上表面位于安装台5外侧套有转台1，所述安装台5外侧固定有环形滑轨9，所述转台1外侧固定有环形滑槽10，且环形滑轨9与环形滑槽10滑动连接，所述转台1底面边缘处固定有环形齿条15，所述基座11一侧安装有转动电机17，所述转动电机17输出轴固定有齿轮18，且齿轮18与环形齿条15啮合连接，所述转台1上表面均匀开设有固定槽3，所述转台1侧面位于固定槽3对应位置开设有操作槽12，所述操作槽12顶部安装有气管14，且气管14远离操作槽12一端与固定槽3连通，所述固定槽3底部中心处设有橡胶吸头4，且橡胶吸头4与气管14端口固定连接，所述操作槽12内设有橡胶气囊13，且橡胶气囊13与气管14端口固定连接，所述安装台5上表面一侧转动安装有检测盒2，且检测盒2位于固定槽3正上方，所述检测盒2内部顶端转动安装有光路收集装置7和投射灯8，所述检测盒2下表面与安装台5上表面对应固定有磁铁片16。所述检测盒2一侧安装有把手6，方便检测盒2的打开与关闭，便于对检测装置进行调节。所述检测盒2为黑色塑料盒，检测盒2将被检测晶片遮住，黑色吸收其他光源，避免干扰检测的效果，提高检测精度。所述检测盒2内部顶面对称固定有转座19，且光路收集装置7和投射灯8分别通过紧固螺栓20与转座19转动连接，所述紧固螺栓20端部啮合连接有紧固螺帽21，方便光路收集装置7和投射灯8角度调节，进行精确检测。所述固定槽3内标记有定位标记22，且定位标记22与固定槽3位置同心，便于形状不同的晶片固定时位置对比，避免位置偏移，检测不到。工作原理为：手捏橡胶气囊13，并且留有一些气，将半导体晶片放置到固定槽3内的橡胶吸头4顶部，与定位标记22对比确保放置稳妥，松开橡胶气囊13，通过橡胶气囊13的形变恢复力，对晶片产生吸附力，实现固定，开启转动电机17转动，通过齿轮18与安装台5啮合连接，带动转台1间歇转动，晶片转到检测盒2下方时，投射灯8对晶片投射光线，光路收集装置7获取到晶片的光强与光谱信息，再传输给外部的计算机进行分析并得到该晶片的光强、光谱数据图，当光路收集装置7和投射灯8角度有偏差时，通过把手6克服磁铁片16的吸引力，将检测盒2翻转，然后将紧固螺帽21松动，对光路收集装置7和投射灯8进行角度调节，再拧紧紧固螺帽21，将检测盒2关闭，取出晶片时，用手按压橡胶气囊13，取出晶片再松手。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体晶片的检测装置，包括转台(1)、检测盒(2)、固定槽(3)、橡胶吸头(4)、安装台(5)、光路收集装置(7)、投射灯(8)、环形滑轨(9)、环形滑槽(10)、基座(11)、操作槽(12)、橡胶气囊(13)、气管(14)、环形齿条(15)、磁铁片(16)、转动电机(17)和齿轮(18)，其特征在于：所述基座(11)上表面中心处固定有安装台(5)，所述基座(11)上表面位于安装台(5)外侧套有转台(1)，所述安装台(5)外侧固定有环形滑轨(9)，所述转台(1)外侧固定有环形滑槽(10)，且环形滑轨(9)与环形滑槽(10)滑动连接，所述转台(1)底面边缘处固定有环形齿条(15)，所述基座(11)一侧安装有转动电机(17)，所述转动电机(17)输出轴固定有齿轮(18)，且齿轮(18)与环形齿条(15)啮合连接，所述转台(1)上表面均匀开设有固定槽(3)，所述转台(1)侧面位于固定槽(3)对应位置开设有操作槽(12)，所述操作槽(12)顶部安装有气管(14)，且气管(14)远离操作槽(12)一端与固定槽(3)连通，所述固定槽(3)底部中心处设有橡胶吸头(4)，且橡胶吸头(4)与气管(14)端口固定连接，所述操作槽(12)内设有橡胶气囊(13)，且橡胶气囊(13)与气管(14)端口固定连接，所述安装台(5)上表面一侧转动安装有检测盒(2)，且检测盒(2)位于固定槽(3)正上方，所述检测盒(2)内部顶端转动安装有光路收集装置(7)和投射灯(8)，所述检测盒(2)下表面与安装台(5)上表面对应固定有磁铁片(16)。...

【技术特征摘要】
1.一种半导体晶片的检测装置，包括转台(1)、检测盒(2)、固定槽(3)、橡胶吸头(4)、安装台(5)、光路收集装置(7)、投射灯(8)、环形滑轨(9)、环形滑槽(10)、基座(11)、操作槽(12)、橡胶气囊(13)、气管(14)、环形齿条(15)、磁铁片(16)、转动电机(17)和齿轮(18)，其特征在于：所述基座(11)上表面中心处固定有安装台(5)，所述基座(11)上表面位于安装台(5)外侧套有转台(1)，所述安装台(5)外侧固定有环形滑轨(9)，所述转台(1)外侧固定有环形滑槽(10)，且环形滑轨(9)与环形滑槽(10)滑动连接，所述转台(1)底面边缘处固定有环形齿条(15)，所述基座(11)一侧安装有转动电机(17)，所述转动电机(17)输出轴固定有齿轮(18)，且齿轮(18)与环形齿条(15)啮合连接，所述转台(1)上表面均匀开设有固定槽(3)，所述转台(1)侧面位于固定槽(3)对应位置开设有操作槽(12)，所述操作槽(12)顶部安装有气管(14)，且气管(14)远离操作槽(12)一端与固定槽(3)连通，所述固定槽(3)底部中心处...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘增红，常浩，薛良，
申请(专利权)人：拓闻天津电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12