一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统技术方案

本实用新型专利技术涉及微纳图样技术领域，公开了一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统，包括激光发射模块、光束整形模块、控制模块、显微镜及样品模块；所述光束整形模块包括扩束镜及空间光调制器；所述空间光调制器与所述控制模块电连接，所述控制模块能够控制所述空间光调制器运作，在所述激光发射模块发射的激光光束穿射至所述光束整形模块时，依次经过所述扩束镜及所述空间光调制器将激光光束转化为所需的激光图样；所述样品模块放置于所述显微镜上，所述样品模块包括盒体及夹持件，所述盒体内设有一容置部；所述夹持件固定于所述容置部内，用于固定样品；该系统不需要在样品表面进行刻写，制备微纳图样的效率大大提高。

A system for fabricating nanoporous gold micro-nano patterns based on laser local heating

The utility model relates to the field of micro-nano pattern technology, and discloses a system for preparing nanoporous gold micro-nano pattern based on laser partial heating, including laser emission module, beam shaping module, control module, microscope and sample module; the beam shaping module includes beam expander and spatial light modulator; the spatial light modulator is electrically connected with the control module, and the control module is electrically connected. The manufacturing module can control the operation of the spatial light modulator. When the laser beam emitted by the laser transmitting module penetrates the beam shaping module, the laser beam is converted into the required laser pattern through the beam expander and the spatial light modulator in turn. The sample module is placed on the microscope, and the sample module includes a box body and a clamping device, the box body. The clamping part is fixed in the holding part for fixing the sample, and the system does not need to be written on the surface of the sample, thus greatly improving the efficiency of preparing micro- and nano-patterns.

【技术实现步骤摘要】
一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统
本技术涉及微纳图样
，具体涉及一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统。
技术介绍
目前，人们通过纳米技术在金属、半导体等表面制备出微纳结构，即制备微纳图样，能够改善材料的表面性能，从而开发与应用所制备的材料为人类的生产和生活提供便利。制备微纳图样属于纳米制造工艺中的重要环节，也是现今难点技术。传统微纳图样制备技术主要包括光刻、电子束曝光、聚焦离子束曝光等，这些技术包括匀胶、曝光、显影等超净工艺步骤；其工艺过程要求较高，而且任何的灰尘或者杂质都会影响后续工艺。激光直写工艺可以利用高能飞秒激光器直接轰击样品，将设计图形刻写在样品表面，达到微纳图样转移的目的；这种方法工艺相对简单，但是将设计图刻写在样品表面需要精细操作，对刻写材料要求也比较高。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统，该系统不需要在样品表面进行刻写，制备微纳图样的效率大大提高。为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统，该系统包括激光发射模块、光束整形模块、控本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统，其特征在于：该系统包括激光发射模块(1)、光束整形模块(2)、控制模块(3)、显微镜(4)及样品模块(5)；所述激光发射模块(1)，用于发射激光光束；所述光束整形模块(2)包括扩束镜(6)及空间光调制器(7)；所述扩束镜(6)，用于将激光光束进行放大；所述空间光调制器(7)，用于对激光光束进行整形；所述空间光调制器(7)与所述控制模块(3)电连接，所述控制模块(3)能够控制所述空间光调制器(7)运作，在所述激光发射模块(1)发射的激光光束穿射至所述光束整形模块(2)时，依次经过所述扩束镜(6)及所述空间光调制器(7)将激光光束转化为所需的激光...

【技术特征摘要】
1.一种基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统，其特征在于：该系统包括激光发射模块(1)、光束整形模块(2)、控制模块(3)、显微镜(4)及样品模块(5)；所述激光发射模块(1)，用于发射激光光束；所述光束整形模块(2)包括扩束镜(6)及空间光调制器(7)；所述扩束镜(6)，用于将激光光束进行放大；所述空间光调制器(7)，用于对激光光束进行整形；所述空间光调制器(7)与所述控制模块(3)电连接，所述控制模块(3)能够控制所述空间光调制器(7)运作，在所述激光发射模块(1)发射的激光光束穿射至所述光束整形模块(2)时，依次经过所述扩束镜(6)及所述空间光调制器(7)将激光光束转化为所需的激光图样；所述样品模块(5)放置于所述显微镜(4)上，所述样品模块(5)包括盒体(8)及夹持件(9)，所述盒体(8)内设有一容置部(10)，所述容置部(10)用于收容样品及浸泡液；所述夹持件(9)固定于所述容置部(10)内，用于固定样品。2.根据权利要求1所述的基于激光局部加热制备纳米孔金微纳图样的系统，其特征在于，所述激光发射模块(1)为固态激光器。3.根据权利要求1所述的基于激光局部加热制备纳米孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵复生，李静婷，赵俊洋，阮铁宾，王硕，
申请(专利权)人：纤瑟天津新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津,12