光照射装置制造方法及图纸

提供一种能够效率良好地进行光照射的小型的光照射装置。光照射装置是对在预先设定的照射区域通过的工件照射光的光照射装置，该光照射装置具备：悬浮台，沿在上述照射区域上述工件通过的通过方向延伸，对该工件之下吹出气体并使该工件悬浮；以及保持移动机，在与上述通过方向相交的方向上夹着上述悬浮台的两肋设有一对，该一对保持移动机的各保持移动机具有保持上述工件并朝向上述通过方向移动的功能，在该一对保持移动机中的一方保持该工件并移动时，该一对保持移动机中的另一方与该工件错开并沿与该通过方向的相反方向移动。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种对在光照射区域内通过的工件照射光的光照射装置，尤其是涉及一种用于对液晶面板用的玻璃基板等大型且重量大的工件进行光处理的光照射装置。
技术介绍
以往，作为相对于液晶面板用基板(工件)而效率良好地(以较高的生产率)进行光照射处理的装置，例如在专利文献1中，记载了使用2个台(stage)使基板交互地在光照射区域内通过的光照射装置。液晶面板用基板等近年尤其大型化，还是用例如超过2m的长度的基板。随着工件的大型化，重量也变重，因此，在利用上述那样的台进行搬送的情况下，为了搬送大型且重的工件，与该工件对应地需要大型且重的台，包括搬送的机构在内的光照射装置整体也成为大型且重量重的装置。作为不使用这样的台而搬送工件并进行处理的光照射装置，例如在专利文献2中，记载了利用空气的喷出使工件悬浮并搬送的内容。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利5344105号公报专利文献2：日本特开2014-123769号公报在专利文献2所记载的光照射装置的情况下不使用台，所以，即使工件大型化，光照射装置也是比较小型的，利用专利文献2所记载的光照射装置不能实现如专利文献1所记载的光照射装置那样较高的生产本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光照射装置，对在预先设定的照射区域通过的工件照射光，其特征在于，具备：悬浮台，沿在上述照射区域上述工件通过的通过方向延伸，对该工件之下吹出气体并使该工件悬浮；以及保持移动机，在与上述通过方向相交的方向上夹着上述悬浮台的两肋设有一对，该一对保持移动机的各保持移动机具有保持上述工件并朝向上述通过方向移动的功能，在该一对保持移动机中的一方保持该工件并移动时，该一对保持移动机中的另一方与该工件错开并沿与该通过方向的相反方向移动。

【技术特征摘要】
2015.04.02 JP 2015-0759821.一种光照射装置，对在预先设定的照射区域通过的工件照射光，其特征在于，具备：悬浮台，沿在上述照射区域上述工件通过的通过方向延伸，对该工件之下吹出气体并使该工件悬浮；以及保持移动机，在与上述通过方向相交的方向上夹着上述悬浮台的两肋设有一对，该一对保持移动机的各保持移动机具有保持上述工件并朝向上述通过方向移动的功能，在该一对保持移动机中的一方保持该工件并移动时，该一对保持移动机中的另一方与该工件错开...

【专利技术属性】
技术研发人员：那胁洋平，野本宪太郎，
申请(专利权)人：优志旺电机株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP