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提供一种能够效率良好地进行光照射的小型的光照射装置。光照射装置是对在预先设定的照射区域通过的工件照射光的光照射装置，该光照射装置具备：悬浮台，沿在上述照射区域上述工件通过的通过方向延伸，对该工件之下吹出气体并使该工件悬浮；以及保持移动机，在...
该专利属于优志旺电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过优志旺电机株式会社授权不得商用。

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