光照射装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够精度良好地测量照射到对象物的偏振光的偏振轴角度的光照射装置。照射进行了偏振的光的光照射装置具备：光源(7)；装置侧偏振器，其对该光源(7)的光进行偏振，并在光的一个以上的波长处具有100：1以上的消光比；以及测量器(20)，其测量由装置侧偏振器进行了偏振的光的偏振轴。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具备对偏振轴的角度(方向或者朝向)进行测量的测量器的光照射装置。
技术介绍
已知通过向取向膜、或取向层(以下，称作“光取向膜”)照射偏振光来对膜或层进行取向的被称作光取向的技术，该光取向被广泛应用于液晶显示面板的液晶显示元件所具备的液晶取向膜的取向等。用于光取向的光照射装置通常具备放射光的光源和对入射光进行偏振的偏振器，通过使光源的光通过偏振器来获得偏振光(例如，参照专利文献1)。作为对光取向的品质产生影响的偏振光的因素，已知消光比和偏振轴分布不均这两个因素，作为用于光取向的光照射装置，能够高精度调整消光比和偏振轴分布不均非常重要。作为测量这些消光比、偏振轴的技术，已提出各种技术(例如，参照专利文献2～专利文献4)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004－163881号公报专利文献2：日本特开2004－226209号公报专利文献3：日本特开2005－227019号公报专利文献4：日本特开2007－127567号公报
技术实现思路
本专利技术要解决的问题为了利用光取向装置来获得高品质的液晶取向膜，需要将消光比调整为较
高，并且需要将偏振轴的精度调整为例如误差在0.1°以内。为了将偏振轴的精度调整为误差在0.1°以内，要求误差在0.01°以内的测量精度，但在现有的结构中，测量器自身存在误差(例如，0.01°左右)，有可能不能以满足这种要求的精度来测量偏振轴。本专利技术是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种能够精度良好地测量照射到对象物的偏振光的偏振轴角度的光照射装置。用于解决问题的技术方案为了达成上述目的，本专利技术的第一方案是，一种照射进行了偏振的光的光照射装置，其特征在于，具备：光源；装置侧偏振器，其对该光源的光进行偏振，并在光的一个以上的波长处具有100：1以上的消光比；以及测量器，其测量由所述装置侧偏振器进行了偏振的光的偏振轴，所述测量器能够从所述光照射装置的其他部分移动或者能够从所述其他部分分离。在上述结构中，也可以是，所述测量器具备检测侧偏振器，在改变所述检测侧偏振器的偏振轴角度的同时检测依次透射过所述装置侧偏振器及所述检测侧偏振器的光，并求出变化曲线，该变化曲线表示在改变所述检测侧偏振器的所述偏振轴角度的同时检测出的光的光量的周期性变化，并且该测量器基于该变化曲线求出所述装置侧偏振器的偏振轴。另外，在上述结构中，也可以是，所述测量器通过使所述检测侧偏振器转动，从而改变该检测侧偏振器的所述偏振轴角度。另外，在上述结构中，还可以具备回转式致动器，其通过使所述检测侧偏振器转动而改变所述检测侧偏振器的所述偏振轴角度。另外，在上述结构中，也可以是，所述测量器在检测侧具备具有不同的偏振轴角度的多个检测侧偏振器，并以透射过所述装置侧偏振器的光依次经过各个所述检测侧偏振器的方式使所述多个检测侧偏振器移动，从而改变所述检测侧的所述偏振轴角度。另外，本专利技术的第二方案是，一种照射进行了偏振的光的光照射装置，其特征在于，具有：光源；装置侧偏振器，其沿偏振轴对该光源的光进行偏振，
并具有100：1以上的消光比；检测侧偏振器，其使由所述装置侧偏振器进行了偏振的光透射；以及偏振轴检测器，其在改变所述检测侧偏振器的偏振轴角度的同时检测依次透射过所述装置侧偏振器及所述检测侧偏振器的光，并求出变化曲线，该变化曲线表示在所述检测侧偏振器的各偏振轴角度上检测出的光的光量的周期性变化，并且该偏振轴检测器基于该变化曲线求出所述装置侧偏振器的偏振轴。另外，在上述结构中，也可以是，所述偏振轴检测器在检测侧具备具有不同的偏振轴角度的多个检测侧偏振器，并且所述偏振轴检测器具备驱动机构，所述驱动机构通过以使透射过所述装置侧偏振器的光依次经过各个所述检测侧偏振器的方式使所述多个检测侧偏振器移动，从而改变所述检测侧的所述偏振轴角度。另外，本专利技术的第三方案是，一种照射进行了偏振的光的光照射装置，其特征在于，具备：光源；以及多个装置侧偏振器，其对所述光源的光以该光的一个以上的波长处的100：1以上的消光比来进行偏振，所述装置侧偏振器在0.1°以内的误差范围内向规定的偏振方向对齐。另外，在上述结构中，也可以是，能够利用测量器来测量所述偏振方向的方向，所述测量器用于测量在各个所述装置侧偏振器中进行了偏振的光的偏振轴，并且能够从所述光照射装置移动或者能够从所述光照射装置分离。专利技术效果根据本专利技术，由于将装置侧偏振器的消光比设定为100：1以上，因此能够精度良好地测量照射到对象物的偏振光的偏振轴角度。附图说明图1是表示本专利技术的实施方式涉及的具有偏振测量机构的光取向装置的示意图。图2是表示光取向装置及偏振测量机构的结构的图。图3是表示检测部的结构的示意图。图4是实施方式的一种检测光的变化曲线的示意图。图5是检测光的变化曲线的示意图，(A)表示最小光量和最大光量之差较小的情况，(B)表示最小光量和最大光量之差较大的情况。图6是表示装置侧线栅偏振器的消光比和由偏振测量装置测量到的向对象物照射的偏振光的偏振轴的误差之间的关系的曲线图。图7是表示装置侧线栅偏振器的消光比和由偏振测量装置测量到的向对象物照射的偏振光的偏振轴的误差之间的关系的曲线图。图8是表示装置侧线栅偏振器的消光比和由偏振测量装置测量到的向对象物照射的偏振光的偏振轴的误差之间的关系的曲线图。图9是本专利技术的变形例涉及的检测部的示意图。附图标记说明2：光取向装置(光照射装置)，7：灯(光源)，10：偏振器单元，16：线栅偏振器(装置侧偏振器)，20：偏振测量装置(测量器，偏振轴检测器)，33：检测侧偏振器，C1：偏振轴。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。在以下的说明中，将对液晶膜等进行光取向的光取向装置作为本专利技术的光照射装置进行说明。然而，本专利技术的光照射装置不限于光取向装置，只要是放射偏振光的装置，可以是任意装置。图1是表示本实施方式涉及的具有偏振测量机构(偏振测量系统)1的光取向装置2(光照射装置)的示意图。在本图中，光取向装置(光照射装置)2是向带状的光取向对象物的光取向膜照射偏振光而进行光取向的装置，偏振测量机构1是测量光取向装置2的偏振光的偏振特性的系统。作为偏振特性，对光取向装置2的偏振光的偏振轴以及消光比进行测量。光取向装置2具备防振结构的平台3、照射器设置架台4、以及载置光取向
对象物的工作台5。照射器设置架台4是在平台3的宽度方向(与后面叙述的直动机构的直动方向X垂直的方向)上被横架在距平台3规定距离的上方位置上的箱体，照射器设置架台4的两端被固定在平台3上。照射器设置架台4内置照射器6，照射器6向正下方照射偏振光。此外，为了分离伴随着工作台5的移动的振动和由照射器6的冷却引起的振动，也可以将照射器设置架台4与该平台3分开设置而不将照射器设置架台4固定在平台3上。在平台3中内设有以沿着直动方向X在平台3的表面上经过照射器6的正下方的方式输送工作台5的直动机构(未图示)。在光取向对象物的光取向时，通过直动机构，载置在工作台5上的光取向对象物与工作台5一起被输送并经过照射器6的正下方，光取向对象物在经过照射器6的正下方时暴露于偏振光，由此光取向膜被取向。照射器6具备作为光源的灯7、反射镜8、偏振器单元10，并向正下方(相对于工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光照射装置，照射进行了偏振的光，其特征在于，具备：光源；装置侧偏振器，其对该光源的光进行偏振，并在光的一个以上的波长处具有100：1以上的消光比；以及测量器，其测量由所述装置侧偏振器进行了偏振的光的偏振轴，所述测量器能够从所述光照射装置的其他部分移动或者能够从所述其他部分分离。

【技术特征摘要】
2015.02.05 US 14/615,0151.一种光照射装置，照射进行了偏振的光，其特征在于，具备：光源；装置侧偏振器，其对该光源的光进行偏振，并在光的一个以上的波长处具有100：1以上的消光比；以及测量器，其测量由所述装置侧偏振器进行了偏振的光的偏振轴，所述测量器能够从所述光照射装置的其他部分移动或者能够从所述其他部分分离。2.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，所述测量器具备检测侧偏振器，在改变所述检测侧偏振器的偏振轴角度的同时检测依次透射过所述装置侧偏振器及所述检测侧偏振器的光，并求出变化曲线，该变化曲线表示在改变所述检测侧偏振器的所述偏振轴角度的同时检测出的光的光量的周期性变化，并且该测量器基于该变化曲线求出所述装置侧偏振器的偏振轴。3.根据权利要求2所述的光照射装置，其特征在于，所述测量器通过使所述检测侧偏振器转动，从而改变该检测侧偏振器的所述偏振轴角度。4.根据权利要求3所述的光照射装置，其特征在于，所述光照射装置还具备回转式致动器，其通过使所述检测侧偏振器转动而改变所述检测侧偏振器的所述偏振轴角度。5.根据权利要求2所述的光照射装置，其特征在于，所述测量器在检测侧具备具有不同的偏振轴角度的多个检测侧偏振器，并以透射过所述装置侧偏振器的光依次经过各个所述检测侧偏振器的方式使所述多个检测侧偏振器移动，从而改变所述检测侧的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：石飞裕和，邓学宫，小托马斯·雷·汤姆伯勒，
申请(专利权)人：岩崎电气株式会社，偏振光解决方案有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP