激光加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种激光加工装置，所述激光加工装置包括：激光振荡部件，被配置成将激光束向上振荡；以及倒换器，设置在所述激光振荡部件上方，与所述激光束的行进路径交叉，且被配置成利用多孔衬底吸附表面吸附衬底的上表面，其中所述衬底的整个区域利用衬底吸附表面中的孔隙而被均匀地吸附到所述衬底吸附表面上，且所述衬底的下表面可通过以激光束进行照射来进行加工。本实用新型专利技术为能够在衬底的上表面的整个区被均匀地吸附且支撑的同时利用激光来加工衬底的下表面的激光加工装置。

Laser Processing Device

The utility model provides a laser processing device, which comprises a laser oscillating component configured to oscillate the laser beam upward, and a reverser arranged above the laser oscillating component, crossing the path of the laser beam, and being configured to adsorb the upper surface of the substrate using a porous substrate to adsorb the surface, and the entire region of the substrate. The pore in the adsorbed surface of the substrate is uniformly adsorbed to the adsorbed surface of the substrate, and the lower surface of the substrate can be processed by irradiation with a laser beam. The utility model provides a laser processing device which can process the lower surface of a substrate while the whole area of the upper surface of the substrate is uniformly adsorbed and supported.

【技术实现步骤摘要】
激光加工装置
本技术涉及一种激光加工装置，且更具体来说，涉及一种能够在均匀地吸附并支撑衬底的上表面的整个区域的同时以激光加工衬底的下表面的激光加工装置。
技术介绍
可挠性显示器也被称为不易破损显示器，其不仅轻薄，而且具有强耐冲击性、可弯曲、可折叠，且因此为可以各种方式进行制造的下一代显示器。在制造可挠性显示器时，应注意对衬底的处理。举例来说，在执行用于制造可挠性显示器的每一单元工艺时，应很好地保持衬底表面的平面状态。当正在上面执行或准备进行制造可挠性显示器的工艺的衬底未能保持平面状态且因此所述衬底的一部分滚动或偏转时，便无法正常地执行所述工艺。具体来说，当衬底在利用激光对其进行的修复工艺期间丧失平面状态时，可导致衬底受损。此外，如同一般显示器的制造工艺，可挠性显示器在制造期间也应经受检查并修复衬底的缺陷的工艺。此时，为了进行缺陷检查及修复，会必不可少地将衬底的工艺目标表面从上表面倒换到下表面或者从下表面倒换到上表面，但由于衬底是可挠性的，因此难以在保持衬底的对准及平面状态的同时对衬底进行倒换，且因此难以接连对衬底的上表面及下表面进行检查及修复。在以下专利文献中公开了本技术的
技术介绍
。(专利文献1)KR10-2014-0100853A(专利文献2)KR10-2017-0050388A
技术实现思路
本技术提供一种能够在衬底的上表面的整个区被均匀地吸附且支撑的同时利用激光来加工衬底的下表面的激光加工装置。根据示例性实施例，一种激光加工装置包括：激光振荡部件，被配置成将激光束向上振荡；以及倒换器，设置在所述激光振荡部件上方，与所述激光束的行进路径交叉，且被配置成吸附衬底的上表面，其中所述倒换器的衬底吸附表面是由多孔材料形成。所述衬底的整个区域可通过所述衬底吸附表面中的孔隙而被均匀地吸附到所述衬底吸附表面上。所述激光加工装置可包括：平台，设置在所述激光振荡部件与所述倒换器之间，且所述衬底安装在所述平台上，其中所述倒换器及所述平台可在水平方向及垂直方向上相对于彼此移动。所述平台可被设置成能够跨越所述激光束的所述行进路径移动或旋转或者在所述倒换器外部隔开。所述倒换器可包括：吸附部件，面对所述激光振荡部件；以及真空泵，连接到所述吸附部件，其中所述衬底吸附表面可位于所述吸附部件的下表面上。所述吸附部件可包括：壳体，在所述壳体的下表面上具有凹陷部；多个真空孔，形成在所述凹陷部中；真空端口，被配置成连接所述多个真空孔及所述真空泵；以及多孔夹盘，被配置成插入所述凹陷部中并形成所述衬底吸附表面。所述多孔夹盘可为一体型或者可分离型的。所述衬底吸附表面可具有孔隙，所述孔隙被形成为具有的尺寸处于2μm到100μm范围内。所述衬底吸附表面可包含导电材料。所述激光加工装置可包括：旋转轴，与所述激光束的所述行进路径间隔开且在垂直方向上延伸，其中所述平台可由所述旋转轴支撑且所述平台以所述旋转轴为中心水平地旋转。所述激光加工装置可包括被配置成将激光束向下振荡的另一振荡部件。根据另一示例性实施例，一种激光加工方法包括：在平台上准备衬底；提升所述衬底；以激光束照射所述衬底的另一个表面，其中在提升所述衬底时，可利用具有多孔衬底吸附表面的倒换器来吸附所述衬底的一个表面并可提升所述倒换器。当所述衬底的所述一个表面被吸附时，所述衬底的整个区可利用所述衬底吸附表面中的孔隙而被均匀地吸附到所述衬底吸附表面上。所述激光加工方法还可包括以激光束照射所述衬底的所述一个表面，对所述衬底的所述一个表面进行的照射可在于所述平台上准备所述衬底与提升所述衬底之间执行，或可在以激光束照射所述另一个表面之后使所述衬底返回到所述平台上之后执行。所述激光加工方法可包括：在提升所述衬底之前，水平地移动或旋转所述平台或所述倒换器以将所述倒换器定位在所述平台上；并降低所述倒换器以使得所述倒换器与所述衬底的所述一个表面接触，其中可在提升所述衬底与以激光照射所述另一个表面之间提供水平地移动或旋转所述平台或倒换器以在所述倒换器外部隔开所述平台的工艺。附图说明结合附图阅读以下详细说明可更详细地理解示例性实施例，在附图中：图1是根据示例性实施例的激光加工装置的示意图；图2是根据示例性实施例的倒换器的示意图；图3a是根据示例性实施例的吸附部件的示意图；图3b是根据示例性实施例的多孔夹盘的示意图；图4a和图4b分别是根据示例性实施例的转动平台的运作的示意图；图5是根据另一示例性实施例的激光加工装置的示意图；图6a是根据示例性实施例的以激光束照射衬底的一个表面的工艺的工艺图；图6b及图6c是根据示例性实施例的以激光束照射衬底的另一个表面的工艺图。[符号的说明]1：台10：激光振荡部件/激光振荡器20：平台21：旋转轴22：转台40：激光振荡部件300：倒换器310：吸附部件311：壳体312：凹陷部313：真空孔314：真空端口315：多孔夹盘315’：多孔夹盘315a：夹盘分割板315b：分隔壁320：提升轴321：致动器322：固定轴L：激光束R：水平旋转S：衬底具体实施方式以下，将参照附图详细阐述本技术的实施例。然而，本技术可以不同方式实施而不应被解释为仅限于本文中所述的实施例。确切来说，提供这些实施例是为了使本公开透彻及完整，并向所属领域中的技术人员充分传达本技术概念的范围。为了阐述示例性实施例，可夸大附图，且在附图中相同的参考编号表示相同的元件。以下，将关于可挠性显示器制造工艺中的激光修复工艺来详细阐述示例性实施例。当然，示例性实施例可以各种方式应用到各种类型的利用激光的衬底加工工艺。图1是根据示例性实施例的激光加工装置的示意图。此外，图2是根据示例性实施例的倒换器的示意图，图3a是根据示例性实施例的吸附部件的示意图，图3b是根据示例性实施例的多孔夹盘的示意图。此外，图4a和图4b分别是说明根据示例性实施例的转动平台的运作的示意图。图5是根据另一示例性实施例的激光加工装置的示意图。以下，将阐述根据示例性实施例的激光加工装置。参照图1到图5，根据示例性实施例的激光加工装置可包括：激光振荡部件10，可在向上方向上振荡激光束L；倒换器300，设置在激光振荡部件10上方，与激光束L的行进路径交叉，且可利用多孔衬底吸附表面吸附衬底S的上表面；平台20，设置在激光振荡部件10与倒换器300之间，且衬底S安装在所述平台上；以及另一激光振荡部件40，在平台20之上与激光振荡部件10间隔开，在平台20上、平台20的移动路径及平台20的旋转路径上对准，并向下振荡激光束L。衬底S可为对其准备进行或完成制造可挠性显示器的工艺的衬底。举例来说，衬底S可为可挠性衬底S。同时，衬底S可为但不具体限于对其准备进行小区工艺(cellprocess)、正在进行小区工艺或完成小区工艺的衬底。激光振荡部件10可将激光束L向上振荡。激光振荡部件10可利用一个或多个激光源对彼此具有不同波长的激光束进行振荡。激光振荡部件10对激光束L进行振荡的方法以及被激光振荡部件振荡的激光束L的波长不需要特别进行限制。同时，可在激光束L的行进路径上设置预定的观察部(图中未示出)。所述观察部可设置有用于对照射有激光束L的衬底的下表面(也被称为“后表面”或“背面”)进行观察的CCD相机、镜子及透镜。平台20可设置在激本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：激光振荡部件，被配置成将激光束向上振荡；以及倒换器，设置在所述激光振荡部件上方，与所述激光束的行进路径交叉，且被配置成吸附衬底的上表面，其中所述倒换器的衬底吸附表面是由多孔材料形成。

【技术特征摘要】
2017.10.11 KR 10-2017-01316321.一种激光加工装置，其特征在于，包括：激光振荡部件，被配置成将激光束向上振荡；以及倒换器，设置在所述激光振荡部件上方，与所述激光束的行进路径交叉，且被配置成吸附衬底的上表面，其中所述倒换器的衬底吸附表面是由多孔材料形成。2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述衬底的整个区域通过所述衬底吸附表面中的孔隙而被均匀地吸附到所述衬底吸附表面上。3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，包括：平台，设置在所述激光振荡部件与所述倒换器之间，且所述衬底安装在所述平台上，其中所述倒换器及所述平台在水平方向及垂直方向上相对于彼此移动。4.根据权利要求3所述的激光加工装置，其特征在于，所述平台被设置成跨越所述激光束的所述行进路径移动或旋转或者在所述倒换器外部隔开。5.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述倒换器包括：吸附部件，面对所述激光振荡部件；以及真空泵...

【专利技术属性】
技术研发人员：李振宇，沈洪得，朴鲁成，黄海俊，卢载春，赵成原，金荣赍，
申请(专利权)人：灿美工程股份有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国,KR