激光加工装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种激光加工装置，能够在稳定地支撑衬底的一个表面的整个区域的同时对所述衬底进行倒换，所述激光加工装置包括：激光振荡部件，被配置成发射激光束；平台，设置在所述激光振荡部件下方以能够垂直移动，且衬底安装在所述平台上；以及倒换器，设置在所述激光振荡部件下方以能够水平移动，且其中所述倒换器的至少一部分旋转并接触所述衬底，其中所述倒换器的衬底接触表面是由多孔材料形成。

Laser Processing Device

The utility model provides a laser processing device capable of reversing the substrate while stably supporting the entire area of one surface of the substrate. The laser processing device includes: a laser oscillating component configured to emit a laser beam; a platform arranged under the laser oscillating component to move vertically, and a substrate mounted on the platform; and an inverted laser processing device. A transducer is provided below the laser oscillator component to move horizontally, and at least part of the transducer rotates and contacts the substrate. The substrate contact surface of the transducer is formed by porous material.

【技术实现步骤摘要】
激光加工装置
本技术涉及一种激光加工装置，且更具体来说，涉及一种能够在均匀地吸附并支撑衬底的一个表面的整个区域的同时对所述衬底进行倒换的激光加工装置。
技术介绍
可挠性显示器也被称为不易破损显示器，其不仅轻薄，而且具有强耐冲击性、可弯曲、可折叠，且因此为可以各种形式进行制造的下一代显示器。在制造可挠性显示器时，应注意对衬底的处理。举例来说，在执行用于制造可挠性显示器的每一单元工艺时，应很好地保持衬底表面的平面状态。当正在上面执行或准备进行制造可挠性显示器的工艺的衬底无法保持处于平面状态下而所述衬底的一部分滚动或偏转时，便无法正常地执行所述工艺。具体来说，当衬底在利用激光对其进行的修复工艺期间丧失平面状态时，可导致衬底受损。此外，如同一般显示器的制造工艺，可挠性显示器在制造期间也应经受检查并修复衬底的缺陷的工艺。此时，为了进行缺陷检查及修复，会必不可少地将衬底的工艺目标表面从上表面倒换到下表面或者从下表面倒换到上表面，但由于衬底是可挠性的，因此难以在保持衬底的对准及平面状态的同时对衬底进行倒换，且因此难以接连对衬底的上表面及下表面进行检查及修复。在以下专利文献中公开了本技术的
技术介绍
。(现有技术文献)(专利文献)(专利文献1)KR10-2014-0100853A(专利文献2)KR10-2017-0050388A
技术实现思路
本技术提供一种能够在吸附衬底的一个表面的整个区域的同时对所述衬底进行倒换的激光加工装置。根据示例性实施例，一种激光加工装置包括：激光振荡部件，被配置成对激光束进行振荡；平台，设置在所述激光振荡部件下方以能够垂直移动，且衬底安装在所述平台上；以及倒换器，设置在所述激光振荡部件下方以能够水平移动，且其中所述倒换器的至少一部分旋转并接触所述衬底，其中所述倒换器的衬底接触表面是由多孔材料形成。所述衬底的整个衬底区域可通过所述衬底接触表面中的孔隙而被均匀地吸附到衬底接触表面上。所述倒换器及所述平台可为能够在水平方向及垂直方向上相对于彼此移动。所述倒换器可包括：吸附部件，面对所述平台，所述吸附部件具有一个表面，且所述衬底接触表面位于该表面；旋转轴，在与所述倒换器的所述水平移动的方向交叉的方向上延伸，并连接到所述吸附部件；驱动部件，所述旋转轴安装在所述驱动部件上；以及真空泵，连接到所述吸附部件。所述旋转轴可连接到所述吸附部件的中心部分。所述旋转轴可连接到所述吸附部件的一侧周边。所述吸附部件可包括：壳体，在所述壳体的下表面上具有凹陷部；多个真空孔，形成在所述凹陷部中；真空端口，被配置成连接所述多个真空孔及所述真空泵；以及多孔夹盘，被配置成插入所述凹陷部中并形成所述衬底接触表面。所述多孔夹盘可为一体型或者可分离型的。所述衬底接触表面可具有孔隙，所述孔隙被形成为具有的尺寸处于2μm到100μm范围内。所述衬底接触表面可包含导电材料。根据另一示例性实施例，一种激光加工方法包括：在平台上准备衬底；旋转所述衬底以将所述衬底的一个表面的位置与另一个表面的位置进行倒换；以激光束照射所述衬底的所述另一个表面，其中在旋转所述衬底时，可利用具有多孔衬底接触表面的倒换器来吸附所述衬底的所述一个表面并旋转所述衬底接触表面。所述衬底的整个区域可利用所述衬底接触表面中的孔隙而被均匀地吸附到所述衬底接触表面上。所述激光加工方法还可包括以激光束照射所述衬底的所述一个表面，对所述衬底的所述一个表面进行的照射可在于所述平台上准备所述衬底与对所述位置进行倒换之间执行，或可在以激光束照射所述另一个表面之后使所述衬底的所述一个表面的位置及所述另一个表面的位置返回到所述平台上之后执行。所述激光加工方法还可包括：在对所述位置进行倒换之前，在一个方向上水平地旋转所述衬底接触表面以使所述衬底接触表面与所述平台上的所述衬底接触；以及在对所述位置进行倒换与以激光束照射所述另一个表面之间，水平地移动位于所述平台上方的所述倒换器或激光振荡部件，以将所述衬底的所述另一个表面定位在激光束的行进路径上。附图说明结合附图阅读以下说明可更详细地理解示例性实施例，在附图中：图1是根据示例性实施例的激光加工装置的示意图；图2是根据示例性实施例的倒换器的示意图；图3是根据第二示例性实施例的倒换器的示意图；图4a是根据示例性实施例的吸附部件的示意图；图4b是根据示例性实施例的修改实施例的吸附部件的多孔夹盘的示意图；图5a是说明以激光束照射衬底的一个表面的工艺的工艺图；图5b是说明使用倒换器提升衬底的过程的工艺图；图5c是说明以激光束照射衬底的另一个表面的工艺的工艺图；图6a是吸附部件结构根据施加的负载而产生变形的曲线图；图6b是用于偏转实验的模型结构的示意图；图6c是用于反映偏转实验的实验结果的示意图。[符号的说明]2：第一力矩；2’：第二力矩；10：激光振荡部件；20：平台；300：倒换器；300’：倒换器；310：吸附部件；310’：吸附部件；310a：吸附结构/吸附部件结构；311：壳体；312：凹陷部；313：真空孔；314：真空端口；315：多孔夹盘；315’：多孔夹盘；315a：多孔夹盘分割板；315b：分隔壁；316：支撑板；317：调整螺栓；320：旋转轴；330：输出端；330a：轴结构；330b：承载；340：驱动部件；d1：延伸长度；d2：距离；L：激光束；S：衬底；Δ：偏转。具体实施方式以下，将参照附图详细阐述本技术的实施例。然而，本技术可以不同形式实施而不应被解释为仅限于本文中所述的实施例。确切来说，提供这些实施例是为了使本公开透彻及完整，并向所属领域中的技术人员充分传达本技术概念的范围。为了阐述示例性实施例，可夸大附图，且在附图中相同的参考编号表示相同的元件。以下，将关于可挠性显示器制造工艺中的激光修复工艺来详细阐述示例性实施例。当然，示例性实施例可以各种方式应用到各种类型的利用激光的衬底加工工艺。根据示例性实施例的激光加工装置及激光加工方法提供以下技术特征，其中在工艺期间保持衬底的对准及平面状态的同时可对所述衬底顺利地进行倒换。图1是根据示例性实施例的激光加工装置的示意图，图2是根据示例性实施例的倒换器的示意图，且图3是根据第二示例性实施例的倒换器的示意图。图4a至4b是根据示例性实施例的吸附部件的示意图。此时，图4a是根据示例性实施例及第二示例性实施例的吸附部件的示意图，且图4b是根据示例性实施例的修改实施例的吸附部件的多孔夹盘的示意图。参照图1到图4b，将阐述根据示例性实施例及第二示例性实施例的激光加工装置。根据示例性实施例的激光加工装置包括：激光振荡部件10，可对激光束进行振荡；平台20，设置在激光振荡部件10下方以能够上下移动并与激光束L的行进方向交叉，且衬底S安装在所述平台上；以及倒换器300，设置在激光振荡部件10下方以能够水平移动，设置有多孔衬底接触表面，具有至少一个旋转部分，并选择性地接触平台20上的衬底S。此时，衬底S的整个区域可通过孔隙均匀地吸附到倒换器300的衬底接触表面上。根据示例性实施例的激光加工装置可利用激光束L修复衬底S的缺陷，且也可利用激光束L以各种方式对衬底S进行加工。在此种情形中，激光束L可以近似数微米的大小被照射到衬底上。在由平台20支撑衬底S之后，对衬底的一个表面进本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：激光振荡部件，被配置成对激光束进行振荡；平台，设置在所述激光振荡部件下方以垂直移动，且衬底安装在所述平台上；以及倒换器，设置在所述激光振荡部件下方以水平移动，且其中所述倒换器的至少一部分旋转并接触所述衬底，其中所述倒换器的衬底接触表面是由多孔材料形成。

【技术特征摘要】
2017.10.11 KR 10-2017-01316471.一种激光加工装置，其特征在于，包括：激光振荡部件，被配置成对激光束进行振荡；平台，设置在所述激光振荡部件下方以垂直移动，且衬底安装在所述平台上；以及倒换器，设置在所述激光振荡部件下方以水平移动，且其中所述倒换器的至少一部分旋转并接触所述衬底，其中所述倒换器的衬底接触表面是由多孔材料形成。2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述衬底的整个衬底区域通过衬底接触表面中的孔隙而被均匀地吸附到所述衬底接触表面上。3.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述倒换器及所述平台在水平方向及垂直方向上相对于彼此移动。4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述倒换器包括：吸附部件，面对所述平台，所述吸附部件具有一个表面，且所述衬底接触表面位于该表面；旋转轴，在与所述倒换器的所述水平移动的方向交叉的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李振宇，沈洪得，朴鲁成，黄海俊，卢载春，赵成原，金荣赍，
申请(专利权)人：灿美工程股份有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国,KR