单晶炉隔离阀板移动装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板、下板，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀板，隔离阀板封堵所述的开口，隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口，另一个端面设有旋转臂，旋转臂固定连接主轴，主轴下端安装在下板上的下轴套内，主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接，提升气缸的提升方向为主轴轴线方向，主轴上端具有长条形孔，上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构。在单晶炉作业过程中，采用隔离阀板移动装置，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的炉体空间浪费、晶棒拉制长度受限的现象。

Isolation Valve Plate Moving Device for Single Crystal Furnace

The invention discloses a single crystal furnace isolation valve plate moving device, which comprises a valve body, including an upper plate and a lower plate, with an opening on the lower plate, an isolation valve plate in the valve body, an isolation valve plate to seal the opening, an end face of the isolation valve plate and the end face of the lower plate to seal the opening, another end face is provided with a rotating arm, the rotating arm is fixed to connect the main shaft, and the lower end of the main shaft is secure. Installed in the lower axle sleeve of the lower plate, the end of the spindle passes through the upper axle sleeve mounted on the upper plate and is fixed with the lifting cylinder arranged on the upper plate end face. The lifting direction of the lifting cylinder is the axis direction of the spindle, the end of the spindle has a long strip hole, and the end face of the upper plate is also provided with a driving mechanism to drive the rotation of the spindle. In the process of single crystal furnace operation, the isolation valve plate moving device is adopted, which effectively improves the simplification of operation, reduces labor intensity and cost, and completely solves the waste of furnace space and the limitation of crystal rod drawing length caused by original technical operation.

【技术实现步骤摘要】
单晶炉隔离阀板移动装置
本专利技术涉及单晶炉，具体涉及一种单晶炉隔离阀板移动装置。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。单晶炉的隔离阀板移动装置的作用如下：在单晶硅拉制过程中，通过隔离阀板移动装置将隔离阀板移开或闭合，减少作业劳动强度，防止隔离阀板关不严，造成单晶硅被氧化等问题。一般的单晶炉隔离阀都没有隔离阀板移动装置，都是采用翻转隔离阀板的方式，容易造成隔离阀芯翻转占用空间大，影响单晶棒拉制长度受限等现象。
技术实现思路
针对上述技术问题，本专利技术提供了一种单晶炉隔离阀板移动装置，在单晶炉作业过程中，采用隔离阀板移动装置，有效的提高了作业的简单化，降低劳动强度和成本，彻底解决了原技术作业产生的炉体空间浪费、晶棒拉制长度受限的现象。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板、下板，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板、下板，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀板，隔离阀板封堵所述的开口，其特征在于，隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口，另一个端面设有旋转臂，旋转臂固定连接主轴，主轴下端安装在下板上的下轴套内，主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接，提升气缸的提升方向为主轴轴线方向，主轴上端具有长条形孔，上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构，驱动机构包括Y型接头、气缸、销轴，Y型接头包括主接头以及两个副接头，销轴沿主轴径向穿过长条形孔且该销轴两端分别连接一个副接头，副接头连接主接头，主接头铰连接气缸，气缸安装在上...

【技术特征摘要】
1.单晶炉隔离阀板移动装置，包括阀体，阀体包括上板、下板，下板上设有开口，阀体内设置隔离阀板，隔离阀板封堵所述的开口，其特征在于，隔离阀板一个端面与所述的下板上端面贴合以封堵开口，另一个端面设有旋转臂，旋转臂固定连接主轴，主轴下端安装在下板上的下轴套内，主轴上端穿过安装在上板上的上轴套并与设置在上板上端面的提升气缸固定连接，提升气缸的提升方向为主轴轴线方向，主轴上端具有长条形孔，上板上端面还设有驱动所述主轴转动的驱动机构，驱动机构包括Y型接头、气缸、销轴，Y型接头包括主接头以及两个副接头，销轴沿主轴径向穿过长条形孔且该销轴两端分别连接一个副接头，副接头连接主接头，主接头铰连接气缸，气缸安装在上板上。2.如权利要求1所述的单晶炉隔离阀板移动装置，其特征在于，主轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：周波，
申请(专利权)人：浙江晶阳机电有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33