The invention discloses a microprocessor inductance detector, which comprises a substrate, an insulating structure formed on the substrate, wherein the insulating structure comprises an anchor structure and a plurality of protrusions, which are located on both sides of the anchor structure, and a microelectromechanical element which is connected to the substrate through the anchor structure and the protrusions, wherein the microelectromechanical element comprises a central structure, a plurality of first structures and a plurality of other protrusions. A strip sensing electrode, a mass block, and a plurality of comb-like structures, as well as an upper cover, are arranged on the micro-electro-mechanical element to protect the micro-electro-mechanical element.
【技术实现步骤摘要】
微机电感测器
本专利技术涉及一种微机电感测器，特别是涉及一种可提升接合效果、对位准确性，同时，增加电性对称性及蚀刻均匀度的元件架构设计来弥补制作工艺限制。
技术介绍
一般微机电(microelectromechanicalsystems，MEMS)感测器是由上盖，MEMS元件及基板所组成。通过电容变化的输出值的大小，来决定感测器的分辨率。而MEMS元件结构因受到外力产生位移，就是电容变化的来源。目前，常用于改善元件效能的方法包括：在制作工艺上，增加离子束的分布均匀性，以避免元件结构不均，导致元件效能不一，但在机台上，仍有限制，例如，制作工艺范围的视窗太小等问题。此外，也可增加元件的电容面积，然而，在MEMS元件上要增加电容面积，就必须提高深宽比、增加梳状结构(Comb)的数目及长度，然而，这些项目的增加都将提高制作工艺困难度。上述两种提高MEMS元件效能的方法都是采用提高制作工艺能力的方式企图加以实现，然而，都有一定的制约性。因此，开发一种可通过元件架构设计来弥补制作工艺限制的微机电感测器是众所期待的。
技术实现思路
根据本专利技术的一实施例，提供一种微机电感测器，其...
【技术保护点】
1.一种微机电感测器，其特征在于，包括：基板；绝缘结构，形成于该基板上，其中该绝缘结构包括锚结构与多个凸起物，该多个凸起物位于该锚结构的两侧，并呈对称排列；微机电元件，通过该锚结构与该多个凸起物接合于该基板上，其中该微机电元件包括中心结构、多个第一结构、多条感测电极、质量块、以及多条梳状结构，其中该中心结构位于该锚结构上，该多个第一结构彼此分离，且该第一结构包括第一部分以及与该第一部分连接的第二部分，该多个第一部分位于该多个凸起物上，该多个第二部分延伸出该多条感测电极，该质量块包围该中心结构、该多个第一结构、与该多条感测电极，并向内延伸出该多条梳状结构，且与该多个第一结构分...
【技术特征摘要】
1.一种微机电感测器，其特征在于，包括：基板；绝缘结构，形成于该基板上，其中该绝缘结构包括锚结构与多个凸起物，该多个凸起物位于该锚结构的两侧，并呈对称排列；微机电元件，通过该锚结构与该多个凸起物接合于该基板上，其中该微机电元件包括中心结构、多个第一结构、多条感测电极、质量块、以及多条梳状结构，其中该中心结构位于该锚结构上，该多个第一结构彼此分离，且该第一结构包括第一部分以及与该第一部分连接的第二部分，该多个第一部分位于该多个凸起物上，该多个第二部分延伸出该多条感测电极，该质量块包围该中心结构、该多个第一结构、与该多条感测电极，并向内延伸出该多条梳状结构，且与该多个第一结构分离，其中该多条梳状结构与该多条感测电极交错形成多个电容结构；以及上盖，设置于该微机电元件上。2.如权利要求1所述的微机电感测器，其中该绝缘结构由氧化硅、氮化硅、或氮氧化硅所构成。3.如权利要求1所述的微机电感测器，...
【专利技术属性】
技术研发人员：简欣堂，施景瑞，
申请(专利权)人：益周科技有限公司，
类型：发明
国别省市：中国香港,81
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