微机械构件制造技术

本发明专利技术涉及一种微机械构件，具有沿着所述微机械构件的主延伸平面延伸的衬底，其中，所述微机械构件包括通过所述微机械构件的驱动弹簧相对于所述衬底能运动地悬挂在所述衬底上的驱动质量，其中，所述微机械构件包括相对于所述驱动质量能运动地悬挂的检验质量，其特征在于，所述驱动弹簧这样布置，使得所述驱动质量和/或所述检验质量至少部分基本上平行于所述主延伸平面地围绕所述驱动弹簧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微机械构件
本专利技术涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的微机械构件。
技术介绍
通常已知具有通过驱动弹簧相对于衬底可运动地悬挂在衬底上的驱动质量和相对于驱动质量可运动地悬挂的检验质量的微机械构件。借助这种结构，微机械构件可以通过利用科里奥利力感测施加在微机械构件上的转速。在这里使检验质量置于周期性运动中，由此垂直于周期性运动地施加在微机械构件上的转速使正交于周期性运动的运动方向的和正交于施加的转速的力作用到检验质量上并且可以借助于电容式电极测量该力作用。因此，可以推断出施加的转速。
技术实现思路
本专利技术的任务是提供相对于现有技术机械稳固的、简单的和成本有利的微机械构件。所述任务通过以下方式解决，即驱动弹簧这样布置，使得驱动质量和/或检验质量至少部分基本上平行于主延伸平面地围绕驱动弹簧。由此能够有利地实现，驱动弹簧相比于现有技术可以更靠近微机械构件的质心地或者说更靠近穿过微机械构件的质心并且沿驱动方向的方向走向的对称轴线地固定到衬底上。由于驱动弹簧这样布置地固定到衬底上，通过以下方式减小微机械构件的应力敏感性：相比于现有技术，衬底的例如由于热负载和机械负载通过拉伸所引起的变形使驱动弹簧的固定装置并且由此也使驱动弹簧本身不那么剧烈地变形或从所设置的理想位置中偏离出。由此，相比于现有技术，提供了驱动弹簧的特别精确的功能。因此，通过本专利技术提供微机械构件，其中，衬底的由于热负载和机械负载通过拉伸所产生的变形的危险性降低。相比于现有技术，通过驱动弹簧的中心悬挂减小转速传感器的应力敏感性。因此，提供相对于现有技术稳固的、简单的和成本有利的微机械构件。优选地，微机械构件包括转速传感器。因此，相比于现有技术能够实现转速传感器在偏移和正交方面的应力敏感性的减小。本专利技术的有利构型和扩展方案可以在从属权利要求以及参照附图的说明书中得到。根据优选扩展方案设置为，驱动弹簧通过锚固点固定在衬底上，其中，锚固点布置得相对于对称轴线基本上垂直于对称轴线地并且基本上平行于主延伸平面地间隔开，该对称轴线穿过微机械构件的质心并且沿驱动方向的方向走向，所间隔开的距离小于驱动质量的基本上垂直于对称轴线的并且基本上平行于主延伸平面的延伸尺度的十二分之三、优选十二分之二、特别优选十二分之一。由此能够实现驱动弹簧的特别紧凑的和简单的悬挂，并且因此能够实现特别应力不敏感的微机械构件。根据优选扩展方案设置为，驱动弹簧通过另外的锚固点固定在衬底上，其中，所述另外的锚固点布置得相对于对称轴线基本上垂直于对称轴线地并且基本上平行于主延伸平面地间隔开，所间隔开的距离小于驱动质量的基本上垂直于对称轴线的并且基本上平行于主延伸平面的延伸尺度的十二分之三、优选十二分之二、特别优选十二分之一。由此能够实现驱动弹簧在两个锚固点上的特别紧凑的和简单的悬挂，并且因此能够实现驱动弹簧的有针对性地适配于微机械构件的运行的弹簧配置并且同时实现特别应力不敏感的微机械构件。根据优选扩展方案设置为，微机械构件这样包括另外的驱动弹簧，使得驱动质量通过所述另外的驱动弹簧相对于衬底可运动地悬挂，其中，所述另外的驱动弹簧这样布置，使得驱动质量和/或检验质量至少部分基本上平行于主延伸平面地围绕所述另外的驱动弹簧。由此能够有利地实现，所述另外的驱动弹簧相比于现有技术可以更靠近微机械构件的质心地或者说更靠近对称轴线地固定到衬底上。由于所述另外的驱动弹簧这样布置地固定到衬底上，进一步减小微机械构件的应力敏感性并且同时能够实现具有两个驱动弹簧的微机械构件的关于对称轴线对称的构造。根据优选扩展方案设置为，所述另外的驱动弹簧通过第三锚固点固定在衬底上，其中，第三锚固点布置得相对于对称轴线基本上垂直于对称轴线地并且基本上平行于主延伸平面地间隔开，所间隔开的距离小于驱动质量的基本上垂直于对称轴线的并且基本上平行于主延伸平面的延伸尺度的十二分之三、优选十二分之二、特别优选十二分之一。由此能够实现所述另外的驱动弹簧的特别紧凑的和简单的悬挂，并且因此能够实现特别应力不敏感的、具有两个驱动弹簧的微机械构件。根据优选扩展方案设置为，所述另外的驱动弹簧通过第四锚固点固定在衬底上，其中，第四锚固点布置得相对于对称轴线基本上垂直于对称轴线地并且基本上平行于主延伸平面地间隔开，所间隔开的距离小于驱动质量的基本上垂直于对称轴线的并且基本上平行于主延伸平面的延伸尺度的十二分之三、优选十二分之二、特别优选十二分之一。由此能够实现所述另外的驱动弹簧在两个锚固点上的特别紧凑的和简单的悬挂，并且因此能够实现所述另外的驱动弹簧的有针对性地适配于微机械构件的运行的弹簧配置并且同时实现特别应力不敏感的微机械构件。根据优选扩展方案设置为，微机械构件包括用于驱动所述驱动质量的主动电驱动装置，其中，驱动装置布置得比驱动弹簧和/或所述另外的驱动弹簧更靠近微机械构件的质心。由此能够实现特别紧凑的并且同时应力不敏感的微机械构件。根据优选扩展方案设置为，微机械构件包括用于驱动所述驱动质量的主动电驱动装置，其中，驱动装置布置得比驱动弹簧和/或所述另外的驱动弹簧更远离微机械构件的质心。由此能够实现紧凑的并且同时特别应力不敏感的微机械构件。根据优选扩展方案设置为，驱动质量包括摆杆结构。由此能够有利地实现驱动质量的第一部分和驱动质量的第二部分的机械同步。由此尤其能够实现驱动质量的第一部分和驱动质量的第二部分的反相振动，并且同时能够实现干扰模式的减少。根据优选扩展方案设置为，摆杆结构通过微机械构件的摆杆弹簧相对于衬底可运动地悬挂在衬底上。优选地，摆杆弹簧这样布置，使得驱动质量和/或检验质量至少部分基本上平行于主延伸平面地围绕摆杆弹簧。由此能够实现特别紧凑的和应力不敏感的微机械构件。附图说明图1、图2和图3以示意性示图示出本专利技术的示例性实施方式。具体实施方式在不同附图中，相同部件总是设有相同的附图标记，并且因此通常分别仅命名或提到一次。在图1、图2和图3中以示意性示图示出本专利技术的示例性实施方式。在这里，图1、图2和图3分别示出微机械构件1，该微机械构件具有沿着微机械构件1的主延伸平面100延伸的衬底3。此外，图1、图2和图3示出，各个微机械构件1包括通过微机械构件1的驱动弹簧5相对于衬底3可运动地悬挂在衬底3上的驱动质量7。此外，微机械构件1包括相对于驱动质量7可运动地悬挂的并且在图1、图2和图3中未示出的检验质量。在这里，检验质量优选布置在驱动质量7的逆着驱动方向101放置的一侧上并且通过弹簧耦合到驱动质量7上。根据本专利技术，在图1、图2和图3中示出的驱动弹簧5这样布置，使得驱动质量7和/或检验质量至少部分基本上平行于主延伸平面100地围绕驱动弹簧5。优选地，驱动质量7和/或检验质量这样围绕驱动弹簧5，使得在平行于主延伸平面100走向的平面中驱动弹簧5要么通过驱动质量7或检验质量要么通过驱动质量7和检验质量完全围绕。此外，在图1、图2和图3中示例性示出，驱动弹簧5通过锚固点9固定在衬底3上。在这里示例性示出，锚固点9布置得相对于对称轴线201基本上垂直于对称轴线201地并且基本上平行于主延伸平面100地间隔开，该对称轴线穿过微机械构件1的质心301并且沿驱动方向101的方向走向，所间隔开的距离小于驱动质量7的基本上垂直于对称轴线201的并且基本上平行于主延伸平面1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.微机械构件(1)，具有沿着所述微机械构件(1)的主延伸平面(100)延伸的衬底(3)，其中，所述微机械构件(1)包括通过所述微机械构件(1)的驱动弹簧(5)相对于所述衬底(3)能运动地悬挂在所述衬底(3)上的驱动质量(7)，其中，所述微机械构件(1)包括相对于所述驱动质量(7)能运动地悬挂的检验质量，其特征在于，所述驱动弹簧(5)这样布置，使得所述驱动质量(7)和/或所述检验质量至少部分基本上平行于所述主延伸平面(100)地围绕所述驱动弹簧(5)。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.18 DE 102016208503.41.微机械构件(1)，具有沿着所述微机械构件(1)的主延伸平面(100)延伸的衬底(3)，其中，所述微机械构件(1)包括通过所述微机械构件(1)的驱动弹簧(5)相对于所述衬底(3)能运动地悬挂在所述衬底(3)上的驱动质量(7)，其中，所述微机械构件(1)包括相对于所述驱动质量(7)能运动地悬挂的检验质量，其特征在于，所述驱动弹簧(5)这样布置，使得所述驱动质量(7)和/或所述检验质量至少部分基本上平行于所述主延伸平面(100)地围绕所述驱动弹簧(5)。2.根据权利要求1所述的微机械构件(1)，其中，所述驱动弹簧(5)通过锚固点(9)固定在所述衬底(3)上，其中，所述锚固点(9)布置得相对于对称轴线(201)基本上垂直于所述对称轴线(201)地并且基本上平行于所述主延伸平面(100)地间隔开，该对称轴线穿过所述微机械构件(1)的质心(301)并且沿驱动方向(101)的方向走向，所间隔开的距离小于所述驱动质量(7)的基本上垂直于所述对称轴线(201)并且基本上平行于所述主延伸平面(100)的延伸尺度的十二分之三、优选十二分之二、特别优选十二分之一。3.根据前述权利要求中任一项所述的微机械构件(1)，其中，所述驱动弹簧(5)通过另外的锚固点(11)固定在所述衬底(3)上，其中，所述另外的锚固点(11)布置得相对于所述对称轴线(201)基本上垂直于所述对称轴线(201)地并且基本上平行于所述主延伸平面(100)地间隔开，所间隔开的距离小于所述驱动质量(7)的基本上垂直于所述对称轴线(201)并且基本上平行于所述主延伸平面(100)的延伸尺度的十二分之三、优选十二分之二、特别优选十二分之一。4.根据前述权利要求中任一项所述的微机械构件(1)，其中，所述微机械构件(1)这样包括另外的驱动弹簧(13)，使得所述驱动质量(7)通过所述另外的驱动弹簧(13)相对于所述衬底(3)能运动地悬挂，其中，所述另外的驱动弹簧(13)这样布置，使得所述驱动质量(7)和/或所...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·卡尔达诺比莱，R·艾德，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE