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本发明涉及一种微机械构件，具有沿着所述微机械构件的主延伸平面延伸的衬底，其中，所述微机械构件包括通过所述微机械构件的驱动弹簧相对于所述衬底能运动地悬挂在所述衬底上的驱动质量，其中，所述微机械构件包括相对于所述驱动质量能运动地悬挂的检验质量，...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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