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本发明公开一种微机电感测器，包括：基板；绝缘结构，形成于该基板上，其中该绝缘结构包括锚结构与多个凸起物，该等凸起物位于该锚结构的两侧；微机电元件，通过该锚结构与该等凸起物接合于该基板上，其中该微机电元件包括中心结构、多个第一结构、多条感测电...
该专利属于益周科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过益周科技有限公司授权不得商用。

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