一种太阳能薄膜烘烤腔室制造技术

本实用新型专利技术涉及太阳能薄膜制造技术领域，尤其涉及一种太阳能薄膜烘烤腔室，包括腔体，腔体内包括依次连通的进风区、烘烤区和排风区，进风区内设有加热装置，烘烤区内放置太阳能薄膜。本实用新型专利技术在腔体内设置依次连通的进风区、烘烤区和排风区，太阳能薄膜在烘烤区中进行高温烘烤，由进风区进入的气体将烘烤后烘烤区中产生的HF气体带出进入排风区排出，外界气体进入进风区，由加热装置加热后进入烘烤区，既能及时地将烘烤出来的HF气体排放出去，又可以维持烘烤温度减少热损失，保证烘烤区内烘烤温度的均匀性和一致性，同时保证大产能连续烘烤，以此在腔体内形成一种合理进风和排风热风循环风路，提高太阳能薄膜在生产中的烘烤质量和烘烤效率。

A solar film baking chamber

The utility model relates to the technical field of solar thin film manufacturing, in particular to a solar thin film baking chamber, which comprises a chamber, which comprises an air inlet area, a baking area and an air exhaust area connected in turn. A heating device is arranged in the air inlet area, and a solar thin film is placed in the baking area. The utility model has an air inlet area, a baking area and an air exhaust area connected in turn in the cavity. The solar energy film is baked at high temperature in the baking area. The HF gas generated in the baking area after baking is taken out by the gas entering the air inlet area and discharged into the exhaust area. The external gas enters the air inlet area and enters the baking area after heating by the heating device, so that the HF gas discharged from the baking area can be timely. Release can also maintain the baking temperature, reduce heat loss, ensure the uniformity and consistency of the baking temperature in the baking area, and ensure continuous baking with large capacity, so as to form a reasonable air inlet and exhaust hot air circulation in the cavity, improve the baking quality and baking efficiency of solar film in production.

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能薄膜烘烤腔室
本技术涉及太阳能薄膜制造
，尤其涉及一种太阳能薄膜烘烤腔室。
技术介绍
目前工业烘烤系统中常见的进风和排风设计特点：1.旋转电机旋转，设备外部空气大风量进风被加热，形成热风循环升温达到目标温度；2.达到目标温度后，从大风量转为小风量进风和排风，PID(比例-积分-微分)控制和调节风量从而保证温度均匀性；3.考虑腔体结构的简单性和易维护性，排风口一般都在腔体上盖处一端，进风口在腔体上盖处的另外一端或者腔室底部，并要与排风口留有一定距离并形成循环；4.一般进风口在加热装置的前端，经过加热后的热风进入腔体，腔体内烘烤后的热风再排出。HF(氢氟酸)气体烘烤系统的设计需求：(1)热风循环加热，不能使用红外或者电磁等加热；(2)被烘烤对象薄膜中有残余的HF，需要高温烘烤将其蒸发出来；(3)最高烘烤温度：200℃；(4)温度均匀性：±3℃；(5)最长固烤时间：60min(不包含升温时间)；(6)UPH(unitsperhour)800，高产能要求不能单片烘烤，需要载具(Cassette，简称CST)多片连续烘烤。如果采用目前常用的工业烘烤系统，高温、温度均匀性以及热风循环加热都能满足要求，但是不能保证蒸发出来的HF气体及时和完全排出；如果增大排风量，则不能保证温度均匀性且增加热损耗，还不能满足大产能节拍的要求；小排风量则不能保证及时和完全排出HF气体。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是解决现有的太阳能薄膜烘烤腔室难以保证蒸发出来的HF气体及时和完全排出，且不能保证烘烤温度的均匀性，容易增加热损耗的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本技术提供了一种太阳能薄膜烘烤腔室，包括腔体，所述腔体内包括依次连通的进风区、烘烤区和排风区，所述进风区内设有加热装置，所述烘烤区内放置太阳能薄膜。其中，所述进风区包括混合区和加热区，所述加热装置设置于所述加热区内，所述混合区位于所述腔体的顶部，所述加热区位于所述腔体的一侧。其中，所述腔体在所述混合区的位置上设有进风口，所述进风口与所述加热装置之间相距预设距离。其中，所述混合区内还设有驱动气体流动的驱动装置，所述驱动装置位于所述进风口与所述加热装置之间。其中，所述腔体内还包括隔离室，所述驱动装置设置于所述隔离室内，所述隔离室内还设有传感元件。其中，所述排风区位于所述腔体的另一侧，与所述加热区相对设置。其中，所述烘烤区、所述进风区和所述排风区通过隔板相互分隔，所述隔板上均设有通风孔，以使所述进风区、所述烘烤区和所述排风区依次连通。其中，所述进风区的进风量和所述排风区的排风量与所述腔体容积之比均为5％～10％。其中，所述腔体在所述排风区的位置上设有排风口。其中，所述驱动装置包括旋转电机。(三)有益效果本技术的上述技术方案具有如下优点：本技术太阳能薄膜烘烤腔室在腔体内设置依次连通的进风区、烘烤区和排风区，太阳能薄膜在烘烤区中进行高温烘烤，由进风区进入的气体将烘烤后烘烤区中产生的HF气体带出进入排风区排出，外界气体进入进风区，由加热装置加热后进入烘烤区，既能及时地将烘烤出来的HF气体排放出去，又可以维持烘烤温度减少热损失，保证烘烤区内烘烤温度的均匀性和一致性，同时保证大产能连续烘烤，以此在腔体内形成一种合理进风和排风热风循环风路，提高太阳能薄膜在生产中的烘烤质量和烘烤效率。除了上面所描述的本技术解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本技术的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明。附图说明图1是本技术实施例一太阳能薄膜烘烤腔室的结构示意图。图中：1：腔体；2：进风区；3：烘烤区；4：排风区；5：加热装置；6：进风口；7：驱动装置；8：隔离室；9：隔板；10：排风口；21：混合区；22：加热区；91：通风孔。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上，“若干个”、“若干根”、“若干组”的含义是一个或一个以上。如图1所示，本技术实施例提供的太阳能薄膜烘烤腔室，包括腔体1，腔体1内包括依次连通的进风区2、烘烤区3和排风区4，进风区2内设有加热装置5，烘烤区3内放置太阳能薄膜。本技术太阳能薄膜烘烤腔室在腔体内设置依次连通的进风区、烘烤区和排风区，太阳能薄膜在烘烤区中进行高温烘烤，由进风区进入的气体将烘烤后烘烤区中产生的HF气体带出进入排风区排出，外界气体进入进风区，由加热装置加热后进入烘烤区，既能及时地将烘烤出来的HF气体排放出去，又可以维持烘烤温度减少热损失，保证烘烤区内烘烤温度的均匀性和一致性，同时保证大产能连续烘烤，以此在腔体内形成一种合理进风和排风热风循环风路，提高太阳能薄膜在生产中的烘烤质量和烘烤效率。其中，进风区2包括混合区21和加热区22，加热装置5设置于加热区22内，混合区21位于腔体1的顶部，加热区22位于腔体1的一侧。其中，排风区4位于腔体1的另一侧，与加热区22相对设置。进风区的混合区与加热区的位置按照气流循环风路设计，本实施例中，混合区在腔体顶部，加热区与混合区连通，且加热区与排风区分别位于腔体内相对的两侧，使加热后的气体在烘烤区内贯通流动，由此，进风区和排风区形成包围烘烤区的布置模式，外界气体先进入混合区与进风区内存留的气体混合，再逐渐流向加热区被加热装置加热，最后流过烘烤区混合HF气体进入排气区排出。加热装置设置在腔体的顶部使其维护方便。其中，腔体1在混合区21的位置上设有进风口6，进风口6与加热装置5之间相距预设距离。在本实施例中，加热装置与进风口对角分布；进风口和加热装置之间需要相距一段距离，根据实际情况设计合理的距离即可，这样进风口进入混合区的新鲜气体有充分的时间和空间与进风区内未排掉的气体混合，在加热之前就达到热平衡，再经过加热装置加热后的温度均匀性会更佳。具体的，混合区21内还设有驱动气体流动的驱动装置7，驱动装置7位于进风口6与加热装置5之间。驱动装置为腔体内的气体流动提供动力，进风口进入的气体在驱动装置的作用下由混合区流向加热区，由此使加热后的进气区内的气体流入烘烤区，再由烘烤区流入排气区，实现腔体内的风循环。其中，腔体1内还包括隔离室8，驱动装置7设置于隔离室8内，隔离室8内还设有传感元件。隔离室设置于腔体顶部，保留一定高度空间，用于安装驱动装置和传本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种太阳能薄膜烘烤腔室，其特征在于：包括腔体，所述腔体内包括依次连通的进风区、烘烤区和排风区，所述进风区内设有加热装置，所述烘烤区内放置太阳能薄膜。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能薄膜烘烤腔室，其特征在于：包括腔体，所述腔体内包括依次连通的进风区、烘烤区和排风区，所述进风区内设有加热装置，所述烘烤区内放置太阳能薄膜。2.根据权利要求1所述的太阳能薄膜烘烤腔室，其特征在于：所述进风区包括混合区和加热区，所述加热装置设置于所述加热区内，所述混合区位于所述腔体的顶部，所述加热区位于所述腔体的一侧。3.根据权利要求2所述的太阳能薄膜烘烤腔室，其特征在于：所述腔体在所述混合区的位置上设有进风口，所述进风口与所述加热装置之间相距预设距离。4.根据权利要求3所述的太阳能薄膜烘烤腔室，其特征在于：所述混合区内还设有驱动气体流动的驱动装置，所述驱动装置位于所述进风口与所述加热装置之间。5.根据权利要求4所述的太阳能薄膜烘烤腔室，其特征在于：所述腔体...

【专利技术属性】
技术研发人员：王敬苗，姚立强，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11