【技术实现步骤摘要】
一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置
本技术涉及集成电路材料表面处理
，更具体地说，涉及一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置。
技术介绍
在集成电路材料表面处理过程中，一般需要采用集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置吸合片料，该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置上设有吸合面料的吸合面，且该吸合面上设有若干吸嘴，通过抽走该吸嘴的空气，形成真空以吸合片料。当将该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置垂直放置时，片料容易脱离该集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，往下掉落。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，提供一种改进的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，用于吸取集成电路材料制成的片料，包括吸盘主体；所述吸盘主体包括吸合所述片料的吸合面以及设置在所述吸盘主体上的若干吸嘴；其特征在于，还包括设置在所述吸盘主体上可操作性夹持所述片料的至少一个夹手组件。优选地，所述至少一个夹手组件位于与所述吸合面相背的一面；每个所述夹手组件包括朝所述吸合面延伸设置以夹持所述片料的夹爪、驱动...
【技术保护点】
1.一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，用于吸取集成电路材料制成的片料，包括吸盘主体(11)；所述吸盘主体(11)包括吸合所述片料的吸合面(111)以及设置在所述吸盘主体(11)上的若干吸嘴；其特征在于，还包括设置在所述吸盘主体(11)上可操作性夹持所述片料的至少一个夹手组件(12)。
【技术特征摘要】
1.一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，用于吸取集成电路材料制成的片料，包括吸盘主体(11)；所述吸盘主体(11)包括吸合所述片料的吸合面(111)以及设置在所述吸盘主体(11)上的若干吸嘴；其特征在于，还包括设置在所述吸盘主体(11)上可操作性夹持所述片料的至少一个夹手组件(12)。2.根据权利要求1所述的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，其特征在于，所述至少一个夹手组件(12)位于与所述吸合面(111)相背的一面；每个所述夹手组件(12)包括朝所述吸合面(111)延伸设置以夹持所述片料的夹爪(124)、驱动所述夹爪(124)夹持所述片料的驱动机构(125)、与所述驱动机构(125)连接的传动机构(127)；所述传动机构(127)与所述夹爪(124)连接由所述驱动机构(125)带动传动以带动所述夹爪(124)夹持所述片料或松开所述片料的传动机构(127)。3.根据权利要求2所述的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，其特征在于，所述夹手组件(12)还包括固定在所述吸盘主体(11)上的固定块(121)，设置在所述固定块(121)两侧的第一侧板(122)和第二侧板(123)，设置在所述第一侧板(122)和所述第二侧板(123)之间的活动块(126)；所述夹爪(124)设置在所述第一侧板(122)和所述第二侧板(123)之间；所述活动块(126)与所述第一侧板(122)和所述第二侧板(123)可转动连接，且与所述夹爪(124)固定连接以带动所述夹爪(124)夹持所述片料或松开所述片料。4.根据权利要求3所述的集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置，其特征在于，所述传动机构(127)...
【专利技术属性】
技术研发人员：苏骞，刘全胜，彭仕镇，孟敏，王磊，
申请(专利权)人：深圳市奥美特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44
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