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一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置制造方法及图纸
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下载一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置的技术资料
文档序号:20067095
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本实用新型涉及一种集成电路材料表面处理设备用的吸盘装置,用于吸取集成电路材料,包括吸盘主体;所述吸盘主体包括吸合片料的吸合面以及设置在所述吸盘主体上的若干吸嘴;还包括设置在所述吸盘主体上可操作性夹持片料的至少一个夹手组件,该集成电路材料表面...
该专利属于深圳市奥美特科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市奥美特科技有限公司授权不得商用。
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