一种红外探伤仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种红外探伤仪，包括：上箱体、检测装置、下箱体、控制装置、计算机、工作台和旋转支架；检测装置安装于上箱体内部；上箱体固定安装于下箱体的顶壁上端面，下箱体的顶壁的一侧向外延伸形成安装台；控制装置安装于下箱体内部，且与检测装置电性连接；计算机位于工作台上且与检测装置之间通信连接；旋转支架的一端与安装台转动连接，另一端向上倾斜延伸并与工作台固定连接。本实用新型专利技术不仅操作简单、自动化程度较高，且各模块分开设置，使整机组成的模块化程度较高。

【技术实现步骤摘要】
一种红外探伤仪
本技术涉及硅片缺陷检测
，更具体的说是涉及一种红外探伤仪。
技术介绍
晶体硅作为重要的半导体材料，其兼备了无机材料和无机材料的性能，是电子信息产业和太阳能光伏产业的关键基础材料，存在于半导体晶片的各种晶体缺陷和加工缺陷对器件质量合成品率都有不同程度的影响，为保证器件的质量和使用寿命，在使用之前需要对晶体硅进行缺陷分析。而现有的红外探伤仪无法对红外光强度进行调整，且检测模块和控制模块设置于一处，布局混乱，且彼此之间的位置不易调整。因此，如何提供一种整机组成模块化，且自动化程度高的红外探伤仪是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种红外探伤仪，将控制装置和检测装置单独安装于不同的箱体内，整机组成模块化程度较高，且均具有较大的调整范围，还通过计算机发送指令并控制检测过程，具有操作简单、自动化程度高的特点。为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：一种红外探伤仪，包括：上箱体；检测装置，所述检测装置安装于所述上箱体内部；下箱体，所述上箱体固定安装于所述下箱体的顶壁上端面，所述下箱体的顶壁的一侧向外延伸形成安装台；控制装置，所述控制装置安装于所述下箱体内部，且与所述检测装置电性连接；计算机，所述计算机与所述控制装置之间通信连接；工作台，所述计算机位于所述工作台上，且所述工作台的水平位置高于所述安装台；旋转支架，所述旋转支架的一端与所述安装台转动连接，另一端向上倾斜延伸并与所述工作台固定连接。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，首先，本技术的检测装置和控制装置分别位于不同的箱体中，不仅具有较大的调整空间，且其运行过程互不干涉，具有较高的模块化程度；其次，通过计算机对硅块的检测结果进行分析，操作简单、且自动化程度较高；再次，计算机相对下箱体的位置可以通过旋转支架进行调整，灵活方便；最后，工作台的设置不仅能够放置图表等物品，还一定程度上保证了工作人员工作过程的舒适度。优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述检测装置包括红外发射装置、成像仪、可沿所述上箱体的高度方向上下移动的升降装置和用于放置待检测物体的转台，其中，所述升降装置的固定端与所述上箱体的底壁上端面固定连接，所述升降装置的移动端的两侧端分别与所述红外发射装置和所述成像仪固定连接，所述转台固定于所述上箱体的底壁上端面、且位于所述红外发射装置和所述成像仪之间。优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述控制装置包括工控机、控制开关、急停开关、用于显示红外光强度的显示屏和用于调节红外光强度的旋钮，所述控制开关、所述急停开关、所述显示屏、所述旋钮均、所述红外发射装置、所述成像仪、所述升降装置和所述转台均与所述工控机连接。优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述工控机具有数据处理系统，所述数据处理系统包括微处理器、图像合成模块、图像存储模块、图像查询模块、图表编辑模块和报告输出模块，其中，所述微处理器分别与所述图像合成模块、所述图像存储模块和所述图表编辑模块连接，所述图像合成模块与所述成像仪连接，所述图像查询模块与所述图像存储模块连接，所述报告输出模块与所述图表编辑模块连接。优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述红外发射装置为红外灯箱，且所述灯箱的长度不小于所述转台的直径。经由上述技术方案可知，本技术能够保证红外光源能够覆盖待检测的硅块，保证成像效果。优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述红外灯箱的前面板上设置有匀光板。经由上述技术方案可知，本技术使发射的红外光均匀照在待检测硅块上，使成像效果清晰、均匀，提高对硅块缺陷检测的准确度。优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述红外灯箱的后面板开设有散热孔。经由上述技术方案可知，本技术中散热孔的设置不仅保证了光源的长久稳定运行，还延长了灯箱的使用寿命优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述红外灯箱的前面板安装有红外滤光片。经由上述技术方案可知，本技术中红外滤光片的设置保证了红外光的透过率，且进一步保证了成像效果，提高检测结果的准确性。优选的，在上述一种红外探伤仪中，所述下箱体的底壁下端面安装有脚轮。经由上述技术方案可知，本技术移动方便，且省时省力。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1附图为本技术的主视图；图2附图为本技术的侧视图；图3附图为本技术的俯视图；图4附图为本技术检测装置结构示意图；图5附图为本技术控制装置、检测装置和计算机之间的连接示意图；图6附图为本技术数据处理系统的结构示意图。图中：1为上箱体，2为检测装置，21为红外发射装置，22为成像仪，23为升降装置，24为转台，3为下箱体，31为安装台，32为脚轮，4为控制装置，41为工控机，411为微处理器，412为图像合成模块，413为图像存储模块，414为图像查询模块，415为图表编辑模块，416为报告输出模块，42为控制开关，43为急停开关，44为显示屏，45为旋钮，5为计算机，6为旋转支架，61为工作台。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术实施例公开了一种红外探伤仪，其不仅将检测装置和控制装置分别位于不同的箱体内部，使整机组成的模块化程度较高；还具有操作简单、调节方便和自动化程度稿的特点。如图1-图3所示，一种红外探伤仪，包括：上箱体1；检测装置2，检测装置安装于上箱体1内部；下箱体3，上箱体1固定安装于下箱体3的顶壁上端面，下箱体3的顶壁的一侧向外延伸形成安装台31；控制装置4，控制装置4安装于下箱体3内部，且与检测装置2电性连接；计算机5，计算机5与控制装置4之间通信连接；工作台61，计算机5位于工作台61上；旋转支架6，旋转支架6的一端与安装台31转动连接，另一端向上倾斜延伸并与工作台61固定连接。通过对旋转支架的旋转，完成对计算机的位置调整，调节灵活且方便；工作台的设置使工作人员的工作空间变大，保证工作过程的舒适度。如图4所示，检测装置2包括红外发射装置21、成像仪22、可沿所述上箱体的高度方向上下移动的升降装置23和用于放置待检测物体的转台24，其中，所述升降装置23的固定端与所述上箱体1的底壁上端面固定连接，所述升降装置23的移动端呈V形结构，且其两侧分别与所述红外发射装置21和所述成像仪22固定连接，所述转台24固定于所述上箱体1的底壁上端面、且位于所述红外发射装置21和所述成像仪22之间。如图5所示，控制装置4包括工控机41、控制开关42、急停开关43、用于显示红外光强度的显示屏44和用于调节红外光强度的旋钮45，控制开关42、急停开关43、显示屏44、旋钮45、红外发射装置21、成像仪22、升降装置23和转台24均与工控机41连接。如图6所示，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种红外探伤仪，其特征在于，包括：上箱体(1)；检测装置(2)，所述检测装置安装于所述上箱体(1)内部；下箱体(3)，所述上箱体(1)固定安装于所述下箱体(3)的顶壁上端面，所述下箱体(3)的顶壁的一侧向外延伸形成安装台(31)；控制装置(4)，所述控制装置(4)安装于所述下箱体(3)内部，且与所述检测装置(2)电性连接；计算机(5)，所述计算机(5)与所述控制装置(4)之间通信连接；工作台(61)，所述计算机(5)位于所述工作台(61)上，且所述工作台(61)的水平位置高于所述安装台(31)；旋转支架(6)，所述旋转支架(6)的一端与所述安装台(31)转动连接，另一端向上倾斜延伸并与所述工作台(61)固定连接。

【技术特征摘要】
1.一种红外探伤仪，其特征在于，包括：上箱体(1)；检测装置(2)，所述检测装置安装于所述上箱体(1)内部；下箱体(3)，所述上箱体(1)固定安装于所述下箱体(3)的顶壁上端面，所述下箱体(3)的顶壁的一侧向外延伸形成安装台(31)；控制装置(4)，所述控制装置(4)安装于所述下箱体(3)内部，且与所述检测装置(2)电性连接；计算机(5)，所述计算机(5)与所述控制装置(4)之间通信连接；工作台(61)，所述计算机(5)位于所述工作台(61)上，且所述工作台(61)的水平位置高于所述安装台(31)；旋转支架(6)，所述旋转支架(6)的一端与所述安装台(31)转动连接，另一端向上倾斜延伸并与所述工作台(61)固定连接。2.根据权利要求1所述的一种红外探伤仪，其特征在于，所述检测装置(2)包括红外发射装置(21)、成像仪(22)、可沿所述上箱体的高度方向上下移动的升降装置(23)和用于放置待检测物体的转台(24)，其中，所述升降装置(23)的固定端与所述上箱体(1)内上端面固定连接，所述升降装置(23)的移动端的两侧端分别与所述红外发射装置(21)和所述成像仪(22)固定连接，所述转...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琦，包华巍，
申请(专利权)人：北京羲和阳光科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11