硅片上料归正装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅片转移技术领域，尤其是一种硅片上料归正装置，包括硅片归正装置、用于输送硅片的输送线及用于将硅片归正装置中的硅片一一转移至输送线上输入端的机械手，输送线的输出端设置有硅片在线纠偏装置；本实用新型专利技术采用硅片归正装置使硅片在进入到输送线之前首先进行一次归正，避免硅片在输送线上发生位置偏移和碎片的现象，然后由机械手将归正后的硅片一一转移至输送线上，当输送线上最前方硅片到达输送线的输出端准备进入检测设备时，由硅片在线纠偏装置对该硅片进行二次归正，以此确保硅片进入测试设备中的位置的准确性，从而提高硅片在测试设备中测试的准确性。

Silicon wafer feeding and straightening device

The utility model relates to the technical field of silicon wafer transfer, in particular to a silicon wafer feeding and straightening device, including a silicon wafer straightening device, a conveyor line for conveying silicon wafers and a manipulator for transferring silicon wafers from the straightening device to the input end of the conveyor line one by one, and a silicon wafer online straightening device is arranged at the output end of the conveyor line; the utility model uses a silicon Before entering the conveyor line, the silicon wafer should be corrected once to avoid the phenomenon of position offset and debris on the conveyor line. Then the corrected silicon wafers are transferred to the conveyor line one by one by the manipulator. When the front silicon wafer on the conveyor line reaches the output end of the conveyor line and is ready to enter the testing equipment, the silicon wafer is corrected twice by the on-line correcting device to ensure silicon. The accuracy of the position of silicon wafer entering the test equipment can improve the accuracy of silicon wafer testing in the test equipment.

【技术实现步骤摘要】
硅片上料归正装置
本技术涉及硅片转移
，尤其是一种硅片上料归正装置。
技术介绍
硅片在烧结后，通常需要在测试设备上进行性能参数测试，硅片测试时，目前主要采用输送带将硅片一一输送至测试设备上进行硅片测试，但是在实际的硅片传输过程中经常出现硅片跑偏，导致硅片发生碎片的情况，且硅片跑偏后也会导致在测试时准确性较差的问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为了解决现有技术中硅片在上料时容易跑偏，导致硅片容易发生碎片且测试时准确性较差的问题，现提供一种硅片上料归正装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅片上料归正装置，包括硅片归正装置、用于输送硅片的输送线及用于将硅片归正装置中的硅片一一转移至输送线上输入端的机械手，所述输送线的输出端设置有硅片在线纠偏装置；所述硅片归正装置包括底座及设置在底座上的承载板，所述底座上位于承载板的四侧均固定有定位柱，当硅片放置在承载板上时，硅片的四个侧面分别与其所在侧的定位柱接触；所述硅片在线纠偏装置包括两个纠偏气缸，两个所述纠偏气缸的缸体分别固定输送线的两侧，两个所述纠偏气缸的伸出端相互对置，所述纠偏气缸的伸出端上均固定有纠偏条。本方案中硅片烧结后在检测设备上检测时，首先将硅片向上叠加放置在承载板上，由于硅片放置在承载板上时，硅片的四个侧面刚好与其所在侧的定位柱接触，因此，定位柱可对承载板上的硅片进行第一次归正；而后由机械手将承载板上的硅片一一转移至输送线上，当硅片到达输送线的输出端准备进入检测设备时，由两个纠偏气缸同时以固定行程的运动推动纠偏条，使两个纠偏条相互靠拢，从而将平台上位于两个纠偏条之间的硅片二次归正，以此确保硅片进入测试设备中其位置的准确性。进一步地，所述输送线包括固定座及固定在固定座上的两个平台，所述硅片的两侧分别位于两个平台上，两个所述平台之间设置有托板，所述固定座上沿平台的长度方向滑动设置有滑座，所述滑座上固定有顶升气缸，所述顶升气缸的伸出端与托板固定连接，所述固定座上固定有水平进给气缸，所述水平进给气缸的伸出端与滑座固定连接；机械手将承载板上的硅片转移到平台上，平台上的硅片在向前传输时，首先由顶升气缸将托板向上顶起，以便托板将平台上所有的硅片一并抬起，使硅片与平台分离，然后由水平进给气缸推动滑座连同其上的托板一并向前进给，随之顶升气缸复位，托板上的硅片重新落在平台上，最终实现所有硅片在平台上向前进给一个工位，而后将水平进给气缸复位，以此循环。进一步地，所述承载板的下表面固定有导向杆，所述底座的上表面固定有与导向杆相匹配的套筒，所述导向杆滑动设置在所述套筒内，所述套筒内放置有弹簧，所述弹簧的一端抵在导向杆的下表面，另一端抵在底座的上表面，利用弹簧的弹力，从而实现在机械手上的机械臂下移到承载板上吸附硅片时，提供一个缓冲，承载板沿导向杆的轴线方向下移，避免机械臂下移到承载板上最上方的硅片时将承载板上硅片压坏。具体地，所述机械手上具有机械臂，所述机械臂上设有用于吸附硅片的吸盘。本技术的有益效果是：本技术采用硅片归正装置使硅片在进入到输送线之前首先进行一次归正，避免硅片在输送线上发生位置偏移和碎片的现象，然后由机械手将归正后的硅片一一转移至输送线上，当输送线上最前方硅片到达输送线的输出端准备进入检测设备时，由硅片在线纠偏装置对该硅片进行二次归正，以此确保硅片进入测试设备中的位置的准确性，从而提高硅片在测试设备中测试的准确性。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术硅片上料归正装置的俯视示意图；图2是本技术硅片上料归正装置使用时的俯视示意图；图3是图2中A-A向剖视示意图；图4是图2中B-B向剖视示意图。图中：1、硅片归正装置，1-1、底座，1-2、承载板，1-3、定位柱，1-4、导向杆，1-5、套筒，1-6、弹簧，2、输送线，2-1、固定座，2-2、平台，2-3、托板，2-4、滑座，2-5、顶升气缸，2-6、水平进给气缸，3、机械手，3-1、机械臂，3-2、吸盘，4、硅片在线纠偏装置，4-1、纠偏气缸，4-2、纠偏条，5、检测设备，6、硅片。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成，方向和参照(例如，上、下、左、右、等等)可以仅用于帮助对附图中的特征的描述。因此，并非在限制性意义上采用以下具体实施方式，并且仅仅由所附权利要求及其等同形式来限定所请求保护的主题的范围。实施例1如图1-4所示，一种硅片上料归正装置，包括硅片归正装置1、用于输送硅片6的输送线2及用于将硅片归正装置1中的硅片6一一转移至输送线2上输入端的机械手3，所述输送线2的输出端设置有硅片在线纠偏装置4；所述硅片归正装置1包括底座1-1及设置在底座1-1上的承载板1-2，所述底座1-1上位于承载板1-2的四侧均固定有定位柱1-3，当硅片6放置在承载板1-2上时，硅片6的四个侧面分别与其所在侧的定位柱1-3接触；所述硅片在线纠偏装置4包括两个纠偏气缸4-1，两个所述纠偏气缸4-1的缸体分别固定输送线2的两侧，两个所述纠偏气缸4-1的伸出端相互对置，所述纠偏气缸4-1的伸出端上均固定有纠偏条4-2。所述输送线2包括固定座2-1及固定在固定座2-1上的两个平台2-2，所述硅片6的两侧分别位于两个平台2-2上，两个所述平台2-2之间设置有托板2-3，所述固定座2-1上沿平台2-2的长度方向滑动设置有滑座2-4，所述滑座2-4上固定有顶升气缸2-5，所述顶升气缸2-5的伸出端与托板2-3固定连接，所述固定座2-1上固定有水平进给气缸2-6，所述水平进给气缸2-6的伸出端与滑座2-4固定连接；机械手3将承载板1-2上的硅片6转移到平台2-2上，平台2-2上的硅片6在向前传输时，首先由顶升气缸2-5将托板2-3向上顶起，以便托板2-3将平台2-2上所有的硅片6一并抬起，使硅片6与平台2-2分离，然后由水平进给气缸2-6推动滑座2-4连同其上的托板2-3一并向前进给，随之顶升气缸2-5复位，托板2-3上的硅片6重新落在平台2-2上，最终实现所有硅片6在平台2-2上向前进给一个工位，而后将水平进给气缸2-6复位，以此循环。所述承载板1-2的下表面固定有导向杆1-4，所述底座1-1的上表面固定有与导向杆1-4相匹配的套筒1-5，所述导向杆1-4滑动设置在所述套筒1-5内，所述套筒1-5内放置有弹簧1-6，所述弹簧1-6的一端抵在导向杆1-4的下表面，另一端抵在底座1-1的上表面，利用弹簧1-6的弹力，从而实现在机械手3上的机械臂3-1下移到承载板1-2上吸附硅片6时，提供一个缓冲，承载板1-2沿导向杆1-4的轴线方向下移，避免机械臂3-1下移到承载板1-2上最上方的硅片6时将承载板1-2上硅片6压坏。所述机械手3上具有机械臂3-1，所述机械臂3-1上设有用于吸附硅片6的吸盘3-2。上述硅片上料归正装置的工作原理如下：将输送线2的输出端与检测设备5的入口对接，首先将硅片6向上叠加放置在承载板1-2上，由于硅片6放置在承载板1-2上时，硅片6的四个侧面刚好与其所在侧的定位柱1-3接触，因此，定位柱1-3可对承载板1-2上的硅片本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片上料归正装置，其特征在于：包括硅片归正装置(1)、用于输送硅片(6)的输送线(2)及用于将硅片归正装置(1)中的硅片(6)一一转移至输送线(2)上输入端的机械手(3)，所述输送线(2)的输出端设置有硅片在线纠偏装置(4)；所述硅片归正装置(1)包括底座(1‑1)及设置在底座(1‑1)上的承载板(1‑2)，所述底座(1‑1)上位于承载板(1‑2)的四侧均固定有定位柱(1‑3)，当硅片(6)放置在承载板(1‑2)上时，硅片(6)的四个侧面分别与其所在侧的定位柱(1‑3)接触；所述硅片在线纠偏装置(4)包括两个纠偏气缸(4‑1)，两个所述纠偏气缸(4‑1)的缸体分别固定输送线(2)的两侧，两个所述纠偏气缸(4‑1)的伸出端相互对置，所述纠偏气缸(4‑1)的伸出端上均固定有纠偏条(4‑2)。

【技术特征摘要】
1.一种硅片上料归正装置，其特征在于：包括硅片归正装置(1)、用于输送硅片(6)的输送线(2)及用于将硅片归正装置(1)中的硅片(6)一一转移至输送线(2)上输入端的机械手(3)，所述输送线(2)的输出端设置有硅片在线纠偏装置(4)；所述硅片归正装置(1)包括底座(1-1)及设置在底座(1-1)上的承载板(1-2)，所述底座(1-1)上位于承载板(1-2)的四侧均固定有定位柱(1-3)，当硅片(6)放置在承载板(1-2)上时，硅片(6)的四个侧面分别与其所在侧的定位柱(1-3)接触；所述硅片在线纠偏装置(4)包括两个纠偏气缸(4-1)，两个所述纠偏气缸(4-1)的缸体分别固定输送线(2)的两侧，两个所述纠偏气缸(4-1)的伸出端相互对置，所述纠偏气缸(4-1)的伸出端上均固定有纠偏条(4-2)。2.根据权利要求1所述的硅片上料归正装置，其特征在于：所述输送线(2)包括固定座(2-1)及固定在固定座(2-1)上的两个平台(2-2)，所述硅片(6)的两侧分别位于两...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯春亮，
申请(专利权)人：江苏格林保尔光伏有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32