化学放大型负性光致抗蚀剂组合物制造技术

本发明专利技术涉及化学放大型负性光致抗蚀剂组合物，更详细地说，公开了包含特定有机酸添加物，因此相比于现有的负性光致抗蚀剂改善短波长曝光光源中的工艺裕度，适合应用于半导体工艺的化学放大型负性光致抗蚀剂组合物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】化学放大型负性光致抗蚀剂组合物
本专利技术尤其涉及能够改善短波长曝光光源中的工艺裕度的化学放大型负性光致抗蚀剂组合物。
技术介绍
近来，随着半导体制造工艺技术的发展，要求半导体器件的小型化和高集成度，因此需要一种用于实现线宽为数十nm或更小的超精细图形的技术。已经通过开发具有更小波长的光源、光源的工艺技术、适用于光源的光致抗蚀剂(Photoresist)，带来了用于形成这种超精细图形的技术进步。在用于形成各种图形的光刻工艺(Photholithography)中使用光致抗蚀剂。光致抗蚀剂是指能够通过光的作用改变对显影液的溶解度以获得对应于曝光图形的图像的光敏树脂。作为所述光刻胶图形形成方法有使用负性显影剂(NTD,NegativeToneDevelopment)和正性显影剂(PTD,PositiveToneDevelopment)的图形形成方法。所述使用负性显影剂的图形形成方法是通过用负性显影剂选择性地溶解以及去除非曝光区域来形成图形；使用正性显影剂的图形形成方法是通过用正性显影剂选择性地溶解以及去除曝光区域来形成图形。与所述使用正性显影剂的图形形成方法进行比较时，所述使用负性显影剂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学放大型负性光致抗蚀剂组合物，其特征在于，包含：将由以下化学式1至4表示的化合物中选择的至少一种的有机酸添加物，以组合物总重量的0.1至1重量％：化学式1

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.13 KR 10-2016-00587441.一种化学放大型负性光致抗蚀剂组合物，其特征在于，包含：将由以下化学式1至4表示的化合物中选择的至少一种的有机酸添加物，以组合物总重量的0.1至1重量％：化学式1化学式2化学式3化学式42.根据权利要求1所述的化学放大型负性光致抗蚀剂组合物，其特征在于，对于组合物总重量，所述组合物包含：5至60重量％的聚合物树脂、0.1至1重量％的所述有机酸添加物、1至10重量％的交联剂、0.1至10重量％的光酸产生剂、0.01至5重量％的酸扩散抑制剂和剩余的为溶剂。3.根据权利要求2所述的化学放大型负性光致抗蚀剂组合物，其特征在于，所述聚合物树脂是从由含有羟基的苯酚聚合物树脂和甲酚聚合物树脂组成的群组中选择的至少一种。4.根据权利要求2所述的化学放大型负性光致抗蚀剂组合物，其特征在于，所述苯酚聚合物树脂从由4-羟基-3-甲基苯甲酸(4-Hydroxy-3-methylbenzoicacid)、4-羟基-2-甲基苯甲酸(4-Hydroxy-2-methylbenzoicacid)、5-羟基-2-甲基苯甲甲酸(5-Hydroxy-2-methylbenzoicacid)、3,5-二叔丁基-4-羟基苯甲酸(3,5-Di-tert-butyl-4-hydroxybenzoicacid)、4-羟基-3,5-二甲基苯甲酸(4-Hydroxy-3,5-dimethylbenzoicacid)、4-羟基间苯二甲酸(4-Hydroxyisophthalicacid)、2,4,6-羟基甲苯(2,4,6-Hydroxytoluene)、2,4,6-三羟基苯甲酸一水合物(2,4,6-Trihydroxybenzoicacidmonohydrate)、2,4,6-三羟基苯甲醛(2,4,6-Trihydroxybenzaldehyde)以及4-乙烯基苯酚(4-Vinylphenol)中选择的至少一种单体获取；甲酚聚合物树脂是从由邻甲酚(o-cresol)、对甲酚(p-cresol)、间甲酚(m-cresol)、环氧邻甲酚(Epoxyo-cresol)、环氧对甲酚(Epoxyp-cresol)以及环氧间甲酚(Epoxym-cresol)中选择的至少一种单体获取。5.根据权利要求2所述的化学放大型负性光致抗蚀剂组合物，其特征在于，所述交联剂包含从由三(2,3-环氧丙基)异氰脲酸酯(Tris(2,3-epoxypropyl)isocyanurate)、三羟甲基甲烷三缩水甘油醚(Trimethylolmethanetriglycidylether)、三羟甲基丙烷三缩水甘油醚(Trimethylolpropanetriglycidylether)、六羟甲基三聚氰胺(Hexamethylolmelamine)、三羟甲基乙烷三缩水甘油醚(Trimethylolethanetriglycidylether)、六甲氧甲基三聚氰胺(Hexamethoxymethylmelamine)、六甲氧乙基三聚氰胺(Hexamethoxyethylmelamine)、四羟甲基2,4-二氨基-1,3,5-三嗪(Tetramethylol2,4-diamino-1,3,5-triazine)、四甲氧甲基2,4-二氨基-1,3,5-三嗪(Tetramethoxymethyl-2,4-diamino-1,3,5-triazine)、四羟甲基甘脲(Tetramethylolglycoluril)、四...

【专利技术属性】
技术研发人员：李昇勋，李昇炫，李秀珍，崔映喆，
申请(专利权)人：荣昌化学制品株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国,KR