探针台刚性传动装置及探针台显微镜调节系统制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种探针台刚性传动装置及探针台显微镜调节系统，属于半导体测试技术领域，包括第一齿轮轴和与第一齿轮轴垂直的第二齿轮轴，第一齿轮轴一端装配第一锥齿轮，另一端装配第一联轴器；第二齿轮轴一端装配第二锥齿轮，另一端装配第二联轴器；第一锥齿轮和第二锥齿轮啮合。本发明专利技术提供的探针台刚性传动装置，借助锥齿轮传递动力和改变方向，具有可靠性高，运行稳定，成本低的特点。

【技术实现步骤摘要】
探针台刚性传动装置及探针台显微镜调节系统
本专利技术属于半导体测试
，更具体地说，是涉及一种探针台刚性传动装置及探针台显微镜调节系统。
技术介绍
CascadeMicrotech公司源自EricStrid和ReedGleason，在1983年开发第一个微波晶圆探针时合作。在1983年以前，对于某款特定设计之所以奏效的原因，高速IC的设计人员只能够进行推测。当时无法在晶圆级上对这些微波电路的实际电气性能进行测量。通过运用CascadeMicrotech革新性的晶圆上探测解决方案，在IC被切割和封装之前，设计工程师们就可以在晶圆级上进行电路的实际测试及特性分析。这实现了研发时间的减半，并降低了开发新型芯片的巨额成本。自此之后，CascadeMicrotech的晶圆上探测技术便成为了一项业界标准。CascadeMicrotech探针台主要应用于半导体行业以及光电行业的测试。广泛应用于复杂、高速期间的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。显微镜系统是探针台设备上的重要组成部分，其正常稳定的运行对设备能够持续可靠的使用具有重要意义。显微镜系统是探针本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.探针台刚性传动装置，其特征在于，包括：第一齿轮轴，一端装配第一锥齿轮，另一端装配第一联轴器；第二齿轮轴，与所述第一齿轮轴垂直，一端装配第二锥齿轮，另一端装配第二联轴器；所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮啮合。

【技术特征摘要】
1.探针台刚性传动装置，其特征在于，包括：第一齿轮轴，一端装配第一锥齿轮，另一端装配第一联轴器；第二齿轮轴，与所述第一齿轮轴垂直，一端装配第二锥齿轮，另一端装配第二联轴器；所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮啮合。2.如权利要求1所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，所述第一齿轮轴和所述第二齿轮轴均为黄铜制件，所述第一联轴器和所述第二联轴器均为不锈钢制件。3.如权利要求1所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮的齿顶圆直径的取值范围均为8-13mm。4.如权利要求1所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，所述第一齿轮轴与所述第二齿轮轴的长度取值范围均为15-20mm。5.如权利要求1所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，所述第一齿轮轴与所述第二齿轮轴的直径取值范围均为3-5mm。6.如权利要求1所述的探针台刚性传动装置，其特征在于，所述第一联轴器和所述第二联轴器的直径取值范围均为10-20mm。7.如权利要求1所述的探针...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文朋，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：河北,13