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本发明提供了一种探针台刚性传动装置及探针台显微镜调节系统，属于半导体测试技术领域，包括第一齿轮轴和与第一齿轮轴垂直的第二齿轮轴，第一齿轮轴一端装配第一锥齿轮，另一端装配第一联轴器；第二齿轮轴一端装配第二锥齿轮，另一端装配第二联轴器；第一锥齿...
该专利属于中国电子科技集团公司第十三研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第十三研究所授权不得商用。

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