具有第一空腔和第二空腔的微机械装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种微机械装置，具有第一空腔(10)和第二空腔(20)，所述第一空腔具有MEMS元件(15)。本发明专利技术的核心在于，第二空腔(20)借助连接通道(30)与第一空腔(10)连接，其中，所述连接通道(30)具有封闭件(40)，所述第一空腔(10)和所述第二空腔(20)通过所述封闭件气密地相互封闭，其中，所述封闭件(40)要以电的方式打开。

A micromechanical device with a first and a second cavity

The invention relates to a micromechanical device with a first cavity (10) and a second cavity (20), and a first cavity with a MEMS element (15). The core of the present invention is that the second cavity (20) is connected to the first cavity (10) by means of a connection channel (30), in which the connection channel (30) has a closure (40), and the first cavity (10) and the second cavity (20) are air-tight to each other through the closure, in which the closure (40) is opened electrically.

【技术实现步骤摘要】
具有第一空腔和第二空腔的微机械装置
本专利技术从具有第一空腔和第二空腔的微机械装置出发，所述第一空腔具有MEMS元件。
技术介绍
MEMS元件为了功能正常而需要限定的环境。这尤其涉及周围压力。特别是、但不仅仅对于角速度传感器而言低的周围压力是必要的，其在传感器的使用寿命期间保持稳定，而与环境影响无关。在现有技术中，吸气剂材料可用于调节传感器的空腔内的压力。如果要在芯片上生产具有不同空腔压力的多个传感器，这是特别有利的，例如由加速度传感器和角速度传感器构成的组合元件。在这里，在具有较低压力的传感器空腔例如角速度传感器中安置吸气剂材料。缺点是，在键合过程中发生吸附剂的热激活。因此不能分开地优化键合过程和吸气剂激活。另一种可能性是，使用吸气剂作为使用寿命期间的压力稳定剂。为此目的，将吸气剂材料引入空腔中，其中，吸气剂的任务限于吸附来自传感器和/或罩的排气。在这里吸气剂材料也被热激活。例如在EP1410433，EP1412550和EP1869696中描述了主要的吸气剂材料及其制造方法。
技术实现思路
本专利技术的目的是，提供一种具有空腔的微机械装置，空腔的氛围性内压是可控的。本专利技术从具有第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.微机械装置，具有第一空腔(10)和第二空腔(20)，所述第一空腔具有MEMS元件(15)，其特征在于，第二空腔(20)借助连接通道(30)与第一空腔(10)连接，其中，所述连接通道(30)具有封闭件(40)，所述第一空腔(10)和所述第二空腔(20)通过所述封闭件气密地相互封闭，其中，所述封闭件(40)要以电的方式打开。

【技术特征摘要】
2017.06.22 DE 102017210459.71.微机械装置，具有第一空腔(10)和第二空腔(20)，所述第一空腔具有MEMS元件(15)，其特征在于，第二空腔(20)借助连接通道(30)与第一空腔(10)连接，其中，所述连接通道(30)具有封闭件(40)，所述第一空腔(10)和所述第二空腔(20)通过所述封闭件气密地相互封闭，其中，所述封闭件(40)要以电的方式打开。2.根据权利要求1所述的微机械装置，其特征在于，所述第二空腔(20)包含吸气剂材料(22)。3.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·兰巴赫，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE