温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种微机械装置，具有第一空腔(10)和第二空腔(20)，所述第一空腔具有MEMS元件(15)。本发明的核心在于，第二空腔(20)借助连接通道(30)与第一空腔(10)连接，其中，所述连接通道(30)具有封闭件(40)，所述第一空腔...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。