液体分配设备及其检验方法技术

提供一种液体分配设备及其检验方法，所述液体分配设备包含：载物台，基板能够安装在载物台上；板，其具有连接到载物台或安置在载物台外部的至少一部分；分配部分，其具有至少一部分以可移动方式安装在载物台和板之间以便分配液体材料；成像部分，其能够使液体材料分配到的部分成像；以及测量部分，其配置成根据通过成像部分成像的板上的液体材料的图像测量液体材料的大小，液体分配设备能够将精确数量的液体材料分配到基板上。

Liquid Distribution Equipment and Its Inspection Method

Provided is a liquid distribution device and its inspection method. The liquid distribution device comprises a carrier platform, a base plate capable of being mounted on the carrier platform, a board having at least one part connected to the carrier platform or placed outside the carrier platform, and a distribution part having at least one part movably mounted between the carrier platform and the plate to distribute liquid materials. A portion of the image to which the liquid material is allocated; and a measurement portion configured to measure the size of the liquid material according to the image of the liquid material on the board through which the imaging portion is imaged; the liquid distribution device can distribute an accurate amount of the liquid material to the substrate.

【技术实现步骤摘要】
液体分配设备及其检验方法
本公开涉及一种液体分配设备及其检验方法，且更具体地说，涉及一种可将精确数量的液体材料分配在基板上的液体分配设备及其检验方法。
技术介绍
近来，为了实现与高精度的趋势一致的每单位面积更多像素，例如一般被称为平板显示器(flatpaneldisplay,FPD)的液晶显示器(liquidcrystaldisplay,LCD)和有机发光二极管(organiclight-emittingdiode,OLED)等平板显示器不仅进一步微型化驱动每一像素的电路元件，还进一步微型化连接电路元件的布线宽度。此外，近来，由于例如智能手机、TV、显示屏和笔记本电脑的各种显示设备存在轻量化和小尺寸趋势，在其中集成有电路的印刷电路板(printedcircuitboard,PCB)上形成的导电线更为复杂且制造精细。因而，因为在FPD、PCB等中的基板上形成的电路元件微型化且用于连接电路元件的图案线的宽度减小，所以修复出现在用于形成基板上的图案线的设备的缺陷和所形成的图案线中的缺陷变得愈来愈困难。因此，近来，使用利用电水动力学(electrohydrodynamics)的修复设备，通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体分配设备，其特征在于，包括：载物台，在所述载物台上安装基板；板，其具有连接到所述载物台或安置在所述载物台外部的至少一部分；分配部分，其具有至少一部分以可移动方式安装在所述载物台和所述板之间，以便分配液体材料；成像部分，其配置成使所述液体材料分配到的部分成像；以及测量部分，其配置成根据通过所述成像部分成像的所述板上的所述液体材料的图像测量所述液体材料的大小。

【技术特征摘要】
2017.06.23 KR 10-2017-00798021.一种液体分配设备，其特征在于，包括：载物台，在所述载物台上安装基板；板，其具有连接到所述载物台或安置在所述载物台外部的至少一部分；分配部分，其具有至少一部分以可移动方式安装在所述载物台和所述板之间，以便分配液体材料；成像部分，其配置成使所述液体材料分配到的部分成像；以及测量部分，其配置成根据通过所述成像部分成像的所述板上的所述液体材料的图像测量所述液体材料的大小。2.根据权利要求1所述的液体分配设备，其特征在于，在所述板的一个表面上显示多个测量单元，且所述分配部分配置成将所述液体材料分配到所述测量单元中。3.根据权利要求2所述的液体分配设备，其特征在于，所述测量部分包括：处理器，其配置成对所述板上的所述液体材料的所述图像进行预处理；以及测量仪器，其配置成将所述测量单元的内部分成多个像素，并测量所述液体材料在所述测量单元中占据的像素数目。4.根据权利要求3所述的液体分配设备，其特征在于，进一步包括控制单元，所述控制单元连接到所述测量部分且配置成控制所述分配部分的操作。5.根据权利要求4所述的液体分配设备，其特征在于，所述控制单元包括：比较器，其配置成比较所述测量仪器所测量的像素数目与预设设定范围；以及控制器，其配置成当所测量的像素数目不在所述设定范围内时增加或减少所述分配部分所分配的所述液体材料的数量。6.根据权利要求5所述的液体分配设备，其特征在于，所述分配部分包括喷嘴，所述喷嘴配置成通过使用压力和电压中的至少任一个来分配所述液体材料，以及所述控制器调整施加到所述喷嘴的所述压力和所述电压中的至少任一个的强度。7.根据权利要求1到6中任一项所述的液体分配设备，其特征在于，包括修复设备，所述修复设备配置成修复所述基板上的图案缺陷。8.一种用于检验液体分配设备的方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄净珉，尹轸铉，张宰荣，薛捧浩，千岁勋，
申请(专利权)人：灿美工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国,KR