【技术实现步骤摘要】
用于外延沉积的具有液体分配器的反应室和反应器
本专利技术涉及一种具有液体分配器的反应室和一种包括该反应室的用于外延沉积的反应器。
技术介绍
用于外延沉积反应器的反应室,其上部和下部一般由流体即液体和/或气体冷却。在某些情况下,其上部由一种液体冷却,下部由一种液体和气体冷却。通常该液体在该反应室的至少一个外表面上流动;因此,它促进了该表面上的散热。
技术实现思路
该表面上常含有一个反射层(例如含金),在高温下(例如300℃)时,该层会从反应室上分离。因此,实践中的要求之一是要确保至少整个表面具有均衡和良好的冷却。本专利技术的目的是改进已知的解决方案。本专利技术的目的是通过具有权利要求描述的技术特征的反应室实现。本专利技术的根本思想是制造冷却液的湍流。本专利技术的另一个目的是提供一种包括所述反应室、具有权利要求描述的技术特征的外延沉积反应器。附图说明下面结合附图对本专利技术做详细说明。图1是本专利技术的反应室的简化俯视图,图中未显示冷却流体的分配系统以突出反应室中的其余细节;图2是图1中反应室的简化俯视图,所述反应室包括本专利技术的上部冷却液分配系统(图中已示出)和本专利技术的下部冷却液分配系统(图中未示出);图3是本专利技术的下部冷却液分配系统的简化俯视图;图4是反应室的简化侧视图,包括本专利技术所述的上部冷却液分配系统和本专利技术的下部冷却液分配系统。容易理解的是,本专利技术在实践中可以有多种方式实现所附的权利要求描述的主要有利方面。具体实施方式所有的附图均指本专利技术的同一实施例。如前所述,本专利技术的根本思想是制造冷却液的湍流,即至少在宏观水平上的湍流,该 ...
【技术保护点】
用于外延沉积反应器的反应室(1),包括:外表面(2),外表面2包括至少一个可被液体冷却的第一区域(Z1)和至少一个可被气体冷却的第二区域(Z2),所述第一区域(Z1)和所述第二区域(Z2)被至少一个从所述外表面(2)向外突出的第一屏障(3)分开,其特征在于:包括一个上部分配系统(100),所述上部分配系统(100)包括一个冷却剂分配管(110),所述冷却剂分配管上有孔(120),所述孔(120)的形状至少和第一屏障(3)的形状部分相似,且位于所述第一屏障(3)和所述外表面(2)的第一区域(Z1)的附近;上部分配系统(100)设置成可以制造均匀分布在所述第一区域(Z1)的冷却流体的湍流。
【技术特征摘要】
1.用于外延沉积反应器的反应室(1),包括:外表面(2),外表面2包括至少一个可被液体冷却的第一区域(Z1)和至少一个可被气体冷却的第二区域(Z2),所述第一区域(Z1)和所述第二区域(Z2)被至少一个从所述外表面(2)向外突出的第一屏障(3)分开,其特征在于:包括一个上部分配系统(100),所述上部分配系统(100)包括一个冷却剂分配管(110),所述冷却剂分配管上有孔(120),所述孔(120)的形状至少和第一屏障(3)的形状部分相似,且位于所述第一屏障(3)和所述外表面(2)的第一区域(Z1)的附近;上部分配系统(100)设置成可以制造均匀分布在所述第一区域(Z1)的冷却流体的湍流。2.权利要求1所述的反应室(1),其特征在于:外表面(2)包括适于被液体冷却的第一区域(Z1)、适于被气体冷却的第二区域(Z2)和适于被气体冷却的第三区域(Z3),所述第二区域(Z2)和所述第三区域(Z3)位于所述第一区域(Z1)相对的两侧,所述第一区域(Z1)和所述第二区域(Z2)被从所述外表面(2)向外突出的第一屏障(3)分开;所述第一区域(Z1)和所述第三区域(Z3)被从外表面(2)向外突出的第二屏障(4)分开;包括一个上部分配系统(100),所述上部分配系统(100)包括一个冷却剂分配管(110),所述冷却剂分配管上有孔(120),所述孔(120)包括一个第一部分其形状至少和第一屏障(3)的形状部分相似,且位于所述第一屏障(3)和所述外表面(2)的第一区域(Z1)的附近,以及第二部分其形状至少和所述第二屏障(4)的形状部分相似,且位于所述第二屏障(4)和所述外表面(2)的第一区域(Z1)附近;上部分配系统(100)设置成可以制造均匀分布在所述第一区域(Z1)的冷却流体的湍流。3.权利要求1所述的反应室(1),其特征在于:所述第一屏障(3)全体或部分弯曲。4.权利要求2所述的反应室(1),其特征在于:所述第二屏障(4)全体或部分弯曲。5.权利要求1或2或3或4所述的反应室(1),其特征在于:所述冷却剂分配管(110)包括多个机械地连接、彼此相互连通的部分。6.权利要求1或2或3或4所述的反应室(1),其特征在于:所述冷却剂分配管(110)包括多个朝向所述外表面(2)的孔。7.权利要求1或2或3或4所述的反应室(1),其特征在于:所述冷却剂分配管(110)包括多个方向平行于所述外表面(2)的孔。8.权利要求7所述的反应室(1),其特...
【专利技术属性】
技术研发人员:弗朗西斯科·科里亚,温琴佐·奥格里亚里,
申请(专利权)人:LPE公司,
类型:新型
国别省市:意大利,IT
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