液体喷出头基板和液体喷出头制造技术

提供液体喷出头基板和液体喷出头。液体喷出头基板配置有多个单元。各单元均包括：形成于支撑基板的第一面的压力产生元件；以及一对独立液室，该对独立液室以彼此相对的方式形成于压力产生元件的两侧，并且向支撑基板的第一面开口。液体喷出头基板在支撑基板中包括：第一共用液室，其与成对的独立液室中的位于一侧的多个独立液室连通；第二共用液室，其与成对的独立液室中的位于另一侧的多个独立液室连通；以及分隔壁，其使第一共用液室和第二共用液室彼此分离。

【技术实现步骤摘要】
液体喷出头基板和液体喷出头
本专利技术涉及液体喷出头基板。本专利技术还涉及包括液体喷出头基板的液体喷出头。
技术介绍
在从液体喷出头喷出液滴的记录设备(例如，喷墨打印机)中，从液室将液体供应到压力产生室，并且对压力产生元件施加能量以使液体从喷出口喷出。已知液室被划分为共用液室和独立液室的构造，并且将液体从独立液室独立地供应到连通到各喷出口的压力产生室以增加喷嘴密度，从而执行高速打印。当将液体从多个独立液室供应到一个压力产生室时，液体供应性能得到改善，此外，液体的喷出方向变得稳定。因此，能够以高速形成具有高准确度的记录物品。通过上述共用液室和独立液室的构造，液体还能够在压力产生室中循环，因而能够排出改变了密度和粘度的液体，结果是能够形成具有稳定品质的记录物品。在日本特开2011-161915号公报中，公开了具有独立液室和共用液室的构造的液体喷出头。在具有独立液室和共用液室的构造的液体喷出头中，存在这样的情况：为了改善机械强度、热辐射性能等并且为了使液体循环，在共用液室中形成分隔壁。当在上述构造中进行高速记录时，要求液体在一次喷出之后快速地再填充到压力产生元件的表面，因此要求使从独立液室到压力产生元件的距离(再填充距离)尽可能减小。仅通过使独立液室靠近压力产生元件不能充分地减小再填充距离，并且仅能够通过减小分隔壁宽度来减小再填充距离。然而，当在日本特开2011-161915号公报公开的构造中将分隔壁形成于一对独立液室之间并且减小分隔壁的宽度时，分隔壁的机械强度易于降低。结果，例如在液体喷出头基板的制造过程期间产出降低，并且液体喷出头在受到振动和冲击时易于损坏。因而，可能会使液体喷出头的生产性和可靠性变差。
技术实现思路
根据本专利技术的一个实施方式，提供一种液体喷出头基板，其中配置有多个单元，所述多个单元中的每个单元均包括：压力产生元件，其形成于支撑基板的第一面；以及一对独立液室，其以彼此相对的方式形成于所述压力产生元件的两侧，并且向所述支撑基板的所述第一面开口，所述液体喷出头基板在所述支撑基板中包括：第一共用液室，其与成对的所述独立液室中的位于一侧的多个独立液室连通；第二共用液室，其与成对的所述独立液室中的位于另一侧的多个独立液室连通；以及分隔壁，其使所述第一共用液室与所述第二共用液室彼此分离，其中，所述分隔壁沿所述压力产生元件的配置方向延伸，所述分隔壁具有小于成对的所述独立液室之间的距离的宽度，并且在所述支撑基板的在所述支撑基板厚度方向上的平面图中，所述分隔壁具有在所述配置方向上规律地折曲的形状。本专利技术还提供一种液体喷出头，所述液体喷出头包括：如上所述的液体喷出头基板；以及构件，其形成于所述支撑基板的所述第一面，并且包括：一个压力产生室，其与所述多个单元中的每个单元用的成对的所述独立液室连通；以及喷出口，其与所述一个压力产生室连通，其中，所述液体喷出头能够使所述一个压力产生室中的液体通过成对的所述独立液室从所述第一共用液室和所述第二共用液室中的一者循环到所述第一共用液室和所述第二共用液室中的另一者。本专利技术还提供一种液体喷出头，所述液体喷出头包括：如上所述的液体喷出头基板，在该液体喷出头基板为所述分隔壁的一个循环配置所述多个单元中的一个单元；以及构件，其形成于所述支撑基板的所述第一面，并且包括：一个压力产生室，其与所述多个单元中的每个单元用的成对的所述独立液室连通；以及喷出口，其与所述一个压力产生室连通，其中，所述液体喷出头能够使所述一个压力产生室中的液体通过成对的所述独立液室从所述第一共用液室和所述第二共用液室中的一者循环到所述第一共用液室和所述第二共用液室中的另一者。通过参照附图对示例性实施方式的以下说明，本专利技术的其它特征将变得明显。附图说明图1为示出根据本专利技术的第一实施方式的液体喷出头基板的图，其中，图1的(a)是液体喷出头基板在从共用液室侧观察时的示意平面图，图1的(b)是沿着图1的(a)中的线1B-1B截取的示意截面图。图2A和图2B均为示出根据第一实施方式的变型例的液体喷出头基板的图，其中，图2A是液体喷出头基板在从共用液室侧观察时的示意平面图，图2B是图2A的放大图。图3A和图3B均为示出根据本专利技术的第二实施方式的液体喷出头基板的图，其中，图3A是液体喷出头基板在从共用液室侧观察时的示意平面图，图3B是沿着图3A中的线3B-3B截取的示意截面图。图4A和图4B均为示出根据第二实施方式的变型例的液体喷出头基板的图，其中，图4A是液体喷出头基板在从共用液室侧观察时的示意平面图，图4B是图4A的放大图。图5A、图5B和图5C均为根据本专利技术的另一实施方式的液体喷出头基板的示例在从共用液室侧观察时的示意平面图。图6A是现有技术的液体喷出头基板在从共用液室侧观察时的示意平面图，图6B是沿着图6A中的线6B-6B截取的示意截面图。图7A是独立液室和共用液室以曲柄形状彼此连接的液体喷出头基板的示意截面图，图7B是用于示出在连接部中产生的刻蚀缺陷的图7A的局部放大图。图8A是为了减小再填充距离而减小了分隔壁的宽度的液体喷出头基板在从共用液室侧观察时的示意平面图，图8B是沿着图8A中的线8B-8B截取的示意截面图。具体实施方式现在将根据附图详细地说明本专利技术的优选实施方式。本专利技术的目的是提供如下的液体喷出头基板：该液体喷出头基板通过在不降低具有独立液室和共用液室的构造的液体喷出头中的共用液室的分隔壁的机械强度的情况下减小再填充距离而使高速记录成为可能。现在将参照附图说明根据本专利技术的各实施方式的液体喷出头基板。在以下实施方式中，为了充分地说明本专利技术而给出了具体的说明。然而，具体的说明仅是技术上优选的示例并且不特别地限制本专利技术的范围。图6A和图6B均为示出具有用于使液体循环的流路构造的现有技术的液体喷出头基板10的示例的图。图6A是液体喷出头基板在从共用液室侧观察时的示意平面图。图6B是沿着图6A中的线6B-6B截取的示意截面图。如图6B所示，通过一对独立液室5a和5b以及联接到独立液室5a和5b的共用液室将液体供应到压力产生室4(为了方便，将联接到独立液室5a的共用液室称为“第一共用液室6a”，将联接到独立液室5b的共用液室称为“第二共用液室6b”)。驱动压力产生元件3以从喷出口2喷出液体。压力产生元件配置于支撑基板1的第一面，向支撑基板1的第一面开口的一对独立液室5a和5b(有时被统称为“独立室5”)配置于压力产生元件3两侧的彼此相对的位置。第一共用液室6a和第二共用液室6b(有时被统称为“共用液室6”)向支撑基板1的与第一面相反的第二面开口，并且共用液室和独立液室相结合贯通支撑基板1。共用液室和独立液室均以在支撑基板1的厚度方向上具有实质上垂直的壁面的方式形成。限定压力产生室4和喷出口2的喷出口构件9配置于支撑基板的第一面。在该情况下，喷出口2、压力产生元件3、压力产生室4以及一对独立液室5a和5b被定义为一个单元，如图6A所示，在图纸的上下方向上配置有多个单元。各共用液室在单元的配置方向上延伸并且联接到至少一个单元的独立液室。通过在单元的配置方向上延伸的分隔壁7使第一共用液室6a和第二共用液室6b彼此分离。在包括两个独立液室中的一者和两个共用液室中的一者并且联接到一个压力产生室的设置中，一个设置具有供应液体的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种液体喷出头基板，其中配置有多个单元，所述多个单元中的每个单元均包括：压力产生元件，其形成于支撑基板的第一面；以及一对独立液室，其以彼此相对的方式形成于所述压力产生元件的两侧，并且向所述支撑基板的所述第一面开口，所述液体喷出头基板在所述支撑基板中包括：第一共用液室，其与成对的所述独立液室中的位于一侧的多个独立液室连通；第二共用液室，其与成对的所述独立液室中的位于另一侧的多个独立液室连通；以及分隔壁，其使所述第一共用液室与所述第二共用液室彼此分离，其特征在于，所述分隔壁沿所述压力产生元件的配置方向延伸，所述分隔壁具有小于成对的所述独立液室之间的距离的宽度，并且在所述支撑基板的在所述支撑基板厚度方向上的平面图中，所述分隔壁具有在所述配置方向上规律地折曲的形状。

【技术特征摘要】
2017.06.20 JP 2017-1206161.一种液体喷出头基板，其中配置有多个单元，所述多个单元中的每个单元均包括：压力产生元件，其形成于支撑基板的第一面；以及一对独立液室，其以彼此相对的方式形成于所述压力产生元件的两侧，并且向所述支撑基板的所述第一面开口，所述液体喷出头基板在所述支撑基板中包括：第一共用液室，其与成对的所述独立液室中的位于一侧的多个独立液室连通；第二共用液室，其与成对的所述独立液室中的位于另一侧的多个独立液室连通；以及分隔壁，其使所述第一共用液室与所述第二共用液室彼此分离，其特征在于，所述分隔壁沿所述压力产生元件的配置方向延伸，所述分隔壁具有小于成对的所述独立液室之间的距离的宽度，并且在所述支撑基板的在所述支撑基板厚度方向上的平面图中，所述分隔壁具有在所述配置方向上规律地折曲的形状。2.根据权利要求1所述的液体喷出头基板，其中，为所述分隔壁的一个周期配置所述多个单元中的一个单元。3.根据权利要求1所述的液体喷出头基板，其中，所述分隔壁的规律地折曲的形状包括波浪线形状。4.根据权利要求1所述的液体喷出头基板，其中，所述分隔壁的规律地折曲的形状包括锯齿形状。5.根据权利要求1所述的液体喷出头基板，其中，所述多个单元中的每个单元的成对的所述独立液室均被配置为使得连接该对独立液室的开口中心的直线正交于所述分隔壁在所述分隔壁的延伸方向上的重力中心线。6.根据权利要求1所述的液体喷出头基板，其中，所述多个单元中的每个单元的成对的所述独立液室均被配置为连接该对独立液室的开口中心的直线不正交于所述分隔壁在所述分隔壁的延伸方向上的重力中心...

【专利技术属性】
技术研发人员：樋口广志，坂井稔康，加藤雅隆，上村贵之，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP