下载液体分配设备及其检验方法的技术资料

文档序号:19948672

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提供一种液体分配设备及其检验方法,所述液体分配设备包含:载物台,基板能够安装在载物台上;板,其具有连接到载物台或安置在载物台外部的至少一部分;分配部分,其具有至少一部分以可移动方式安装在载物台和板之间以便分配液体材料;成像部分,其能够使液体...
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