本实用新型专利技术公开一种用于蒸镀设备中的遮挡装置及蒸镀设备，遮挡装置包括遮挡部件和磁驱动结构，磁驱动结构包括滑动组件、第一磁体、第二磁体和驱动器；蒸镀设备包括上述的遮挡装置。在驱动遮挡部件运动时，驱动器先驱动第二磁体运动，由于第二磁体与第一磁体相互面对的一端极性相反，第二磁体运动时带动第一磁体运动，进而带动滑动组件和遮挡部件在蒸镀腔体内运动，以实现将遮挡部件移动到蒸镀腔体内加热器的顶部开口上或从该顶部开口移走。由于第一磁体与第二磁体分别位于蒸镀室内外，二者形成无接触的驱动方式，无需在蒸镀室壁面上开设通孔，从而避免在蒸镀室上开设通孔所导致的漏真空问题，使得蒸镀腔体内的真空能够保持在相对恒定的状态。
【技术实现步骤摘要】
一种用于蒸镀设备中的遮挡装置及蒸镀设备
本技术涉及蒸镀
，具体涉及一种用于蒸镀设备中的遮挡装置及蒸镀设备。
技术介绍
在对OLED制备过程中，需要通过真空蒸镀技术在基片表面上形成单层或多层薄膜，蒸镀设备中通常是在蒸发源和处理板之间设置挡板，并通过控制机构来控制挡板的打开或关闭，实现处理板与蒸发源的连通或隔离。目前用于蒸镀设备中的遮挡装置的结构，主要包括设置在蒸镀腔体内的挡板，设置在蒸镀腔体外的驱动机构。该驱动机构包括马达、主动齿轮、被动齿轮，以及固定在被动齿轮上的转动轴；转轴一端固定在被动齿轮的内孔中，另一端伸入蒸镀腔体内连接于挡板，通过磁流体对转动轴与蒸镀腔体连接处密封。此结构的遮挡装置，通过电机驱动主动齿轮转动，主动齿轮再驱动被动齿轮带动旋转轴转动，进而带动挡板转动，以改变挡板的位置，使得挡板遮挡在蒸镀腔体内加热器的开口上，或者从加热器的开口上取走。但是，此结构的遮挡装置，由于旋转轴穿过蒸镀腔的壁面伸入蒸镀腔内部，必然在蒸镀腔壁面上开设通孔，即使采用磁流体密封，可随着使用时间的推移，通孔处的密封性仍会降低，存在漏真空的问题，导致蒸镀腔体内的真空不能够保持在恒定状态。
技术实现思路
因此，本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中蒸镀遮挡装置在旋转轴与蒸镀腔体连接处容易出现漏真空的问题。为此，本技术提供一种用于蒸镀设备中的遮挡装置包括遮挡部件，设置在蒸镀腔体内；磁驱动结构，以磁吸附的方式驱动所述遮挡部件在所述蒸镀腔体内运动；其包括设置在所述蒸镀腔体内且与所述遮挡部件固定连接的滑动组件，固定在所述滑动组件上的第一磁体，设置在所述蒸镀腔体外且与所述第一磁体相对的第二磁体，以及驱动所述第二磁体运动的驱动器；所述第一磁体与所述第二磁体相互面对的一端极性相反。优选地，上述的用于蒸镀设备中的遮挡装置，所述滑动组件包括直线导轨和滑动设置在所述导轨上的滑块；所述第一磁体和所述遮挡部件均固定在所述滑块上。进一步优选地，上述的用于蒸镀设备中的遮挡装置，所述驱动器为气缸，所述气缸的伸缩轴上固定所述第二磁体，所述伸缩轴的伸缩方向平行于所述导轨的延伸方向。优选地，上述的用于蒸镀设备中的遮挡装置，所述导轨包括具有U形凹槽的本体，成型在所述凹槽内且沿所述导轨的长度方向延伸的至少一个轨道；所述滑块在所述导轨长度方向上的两侧壁上具有朝向所述轨道方向突出的外沿；在所述导轨的宽度方向上，所述轨道的外侧壁面与所述本体的两内侧壁面之间分别形成所述第一通道和第二通道；所述滑块搭接在所有所述轨道上，两个所述外沿分别插入所述第一通道和所述第二通道内并在各自对应的通道内滑动。优选地，上述的用于蒸镀设备中的遮挡装置，所述轨道为至少两条，所有所述轨道平行；在所述导轨的宽度方向上，位于最外侧的两条轨道的外侧壁面与所述本体的两内侧壁面之间分别形成所述第一通道和第二通道，任意相邻两个轨道之间形成第三通道；所述第一磁体固定在所述滑块的底部表面上且伸入所述第三通道内。进一步优选地，上述的用于蒸镀设备中的遮挡装置，所述本体对应于所述第三通道的底部上开设长通孔，所述第一磁体搭接在所述长通孔的顶部表面上。优选地，上述的用于蒸镀设备中的遮挡装置，所述第二磁体为至少两块，任意相邻两块所述第二磁体位于同一侧的极性相反；所述第一磁体为至少两块，所述第一磁体与所述第二磁体一一对应。优选地，上述的用于蒸镀设备中的遮挡装置，所述气缸的伸缩轴的端部上固定有托板，所述第二磁体设置在所述托板上。优选地，上述的用于蒸镀设备中的遮挡装置，所述遮挡部件包括挡板，以及将所述挡板与所述滑块连接的连接杆。本技术提供一种蒸镀设备，包括蒸镀腔室，具有所述蒸镀腔体；上述任一项所述的遮挡装置；至少一个加热器，设置在所述蒸镀腔体内，具有顶部开口；所述加热器与所述遮挡装置一一对应，在所述磁驱动结构的驱动下，所述遮挡部件能够遮挡住所述加热器的顶部开口或从所述顶部开口移走。本技术的技术方案，具有如下优点：1.本技术提供的用于蒸镀设备中的遮挡装置，采用磁驱动结构来驱动遮挡部件在蒸镀腔体内运动，磁驱动结构包括滑动组件、第一磁体、第二磁体以及驱动器，在遮挡部件需要运动时，驱动器先驱动第二磁体运动，由于第二磁体与第一磁体相互面对的一端极性相反，根据异性相吸的原理，则第二磁体运动时带动第一磁体运动，第一磁体运动进而带动滑动组件和遮挡部件在蒸镀腔体内运动，以实现将遮挡部件移动到蒸镀腔体内加热器的顶部开口上或从该顶部开口移走。由于第一磁体与第二磁体分别位于蒸镀室内外，二者形成无接触的驱动方式，无需在蒸镀室壁面上开设通孔，从而避免在蒸镀室上开设通孔所导致的漏真空问题，使得蒸镀腔体内的真空能够保持在相对恒定的状态。2.本技术提供的用于蒸镀设备中的遮挡装置，滑动组件包括直线导轨和滑动设置在所述导轨上的滑块；第一磁体和所述遮挡部件均固定在所述滑块上；驱动器为气缸，所述气缸的伸缩轴上固定所述第二磁体，所述伸缩轴的伸缩方向平行于所述导轨的延伸方向。此结构的遮挡装置，气缸驱动第二磁体做直线运动，对应地滑块在第一磁体的带动下在导轨上做直线运动，进而驱动遮挡部件做直线运动，以改变遮挡部件在蒸镀腔体内的位置。3.本技术提供的用于蒸镀设备中的遮挡装置，导轨包括具有U形凹槽的本体，成型在U形凹槽内至少两个轨道，位于最外侧的两个轨道的外侧壁面与本体的两内壁面之间形成第一通道和第二通道，滑块搭接在所有轨道上，滑块的两个外沿分别在第一通道和第二通道内滑动，两个通道起到导向作用；同时，相邻两个轨道之间形成第三通道，第一磁体固定在滑块的底部表面上并伸入第三通道内，使得整个滑动组件的结构紧凑。4.本技术提供的用于蒸镀设备中的遮挡装置，所述本体对应于所述第三通道的底部上开设长通孔，第一磁体搭接在长通孔的顶部表面上，长通孔的开设，使得第二磁体与第一磁体之间的有效间距变小，加强第二磁体对第一磁体的吸引力，改善遮挡装置的灵敏度。5.本技术提供的蒸镀设备，包括蒸镀腔室、上述任一项的遮挡装置以及至少一个加热器，加热器设置在所述蒸镀腔体内，具有顶部开口；所述加热器与所述遮挡装置一一对应，在所述磁驱动结构的驱动下，所述遮挡部件能够遮挡住所述加热器的顶部开口或从所述顶部开口移走。此结构的蒸镀设备，由于采用上述的遮挡装置，该遮挡装置采用磁驱动结构驱动遮挡部件运动，不会在蒸镀腔室的壁面上开设通孔，从而避免漏真空的现象发生，降低蒸镀设备初始的漏率值。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例1中提供的用于蒸镀设备中的遮挡装置的结构示意图；图2为图1中遮挡装置位于蒸镀腔室内结构的爆炸示意图；图3为图1中遮挡装置中滑动组件的结构示意图；图4为图1中遮挡装置位于蒸镀腔室外的结构示意图；图5为本技术实施例2中提供的蒸镀设备中遮挡装置与加热器的配合示意图(图中未示出蒸镀腔室)；附图标记说明：1-遮挡部件；11-连接杆；12-挡板；21-滑动组件；211-导轨；2111-轨道；2本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于蒸镀设备中的遮挡装置，其特征在于，包括遮挡部件(1)，设置在蒸镀腔体内；磁驱动结构，以磁吸附的方式驱动所述遮挡部件(1)在所述蒸镀腔体内运动；其包括设置在所述蒸镀腔体内且与所述遮挡部件(1)固定连接的滑动组件(21)，固定在所述滑动组件(21)上的第一磁体(22)，设置在所述蒸镀腔体外且与所述第一磁体(22)相对的第二磁体(23)，以及驱动所述第二磁体(23)运动的驱动器(24)；所述第一磁体(22)与所述第二磁体(23)相互面对的一端极性相反。
【技术特征摘要】
1.一种用于蒸镀设备中的遮挡装置，其特征在于，包括遮挡部件(1)，设置在蒸镀腔体内；磁驱动结构，以磁吸附的方式驱动所述遮挡部件(1)在所述蒸镀腔体内运动；其包括设置在所述蒸镀腔体内且与所述遮挡部件(1)固定连接的滑动组件(21)，固定在所述滑动组件(21)上的第一磁体(22)，设置在所述蒸镀腔体外且与所述第一磁体(22)相对的第二磁体(23)，以及驱动所述第二磁体(23)运动的驱动器(24)；所述第一磁体(22)与所述第二磁体(23)相互面对的一端极性相反。2.根据权利要求1所述的用于蒸镀设备中的遮挡装置，其特征在于，所述滑动组件(21)包括直线导轨(211)和滑动设置在所述导轨(211)上的滑块(212)；所述第一磁体(22)和所述遮挡部件(1)均固定在所述滑块(212)上。3.根据权利要求2所述的用于蒸镀设备中的遮挡装置，其特征在于，所述驱动器(24)为气缸，所述气缸的伸缩轴上固定所述第二磁体(23)，所述伸缩轴的伸缩方向平行于所述导轨(211)的延伸方向。4.根据权利要求2或3所述的用于蒸镀设备中的遮挡装置，其特征在于，所述导轨(211)包括具有U形凹槽的本体，成型在所述凹槽内且沿所述导轨(211)的长度方向延伸的至少一个轨道(2111)；所述滑块(212)在所述导轨(211)长度方向上的两侧壁上具有朝向所述轨道(2111)方向突出的外沿(2121)；在所述导轨(211)的宽度方向上，所述轨道(2111)的外侧壁面与所述本体的两内侧壁面之间分别形成第一通道(25)和第二通道(26)；所述滑块(212)搭接在所有所述轨道(2111)上，两个所述外沿(2121)分别插入所述第一通道(25)和所述第二通道(26)内并在各自对应的通道内滑动。5....
【专利技术属性】
技术研发人员：陆鹏，王善鹤，崔永鑫，张迪，刘成，
申请(专利权)人：云谷固安科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北,13
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。