一种干刻下部电极固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术揭示了一种干刻下部电极固定装置，其特征在于：包括用于支撑干刻下部电极的第一垫块、第二垫块和第三垫块，以及连接并将垫块固定在加工工作台上的压块；实现不同尺寸干刻下部电极在加工中心工作台上快速、安全地高精度固定，且能够保证后续加工过程中的精度保持。

【技术实现步骤摘要】
一种干刻下部电极固定装置
本技术涉及干刻下部电极生产加工领域。
技术介绍
随着市场对液晶显示器需求的增长，相关生产设备的需求也随之增长。而干刻下部电极作为干法刻蚀生产液晶面板的关键部件之一，其生产过程都需要进行机械加工。由于下部电极属于精密部件，对于其加工精度要求很高，这就对其在加工中心工作台上的固定提出了很高的要求，然而目前固定装置的精度已经不能满足生产需求，为此，需要设计一种特定的紧固装置来满足其高标准的固定要求。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是实现一种实现不同尺寸干刻下部电极在加工中心工作台上快速、安全地高精度固定，且需保证后续加工过程中的精度保持的固定装置。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案为：一种干刻下部电极固定装置，包括用于支撑干刻下部电极的第一垫块、第二垫块和第三垫块，以及连接并将垫块固定在加工工作台上的压块；所述第一垫块为板状结构，所述第一垫块的侧面设有固定压块的插槽；所述第二垫块为板状结构，所述第二垫块的侧面设有固定压块的插槽，所述第二垫块其中一侧边缘设有凸出用于支撑干刻下部电极侧边的侧板；所述第三垫块为板状结构，所述第三垫块的侧面设有固定压块的插槽，所述第三垫块其中一侧边缘设有凸出用于支撑干刻下部电极侧边的侧板，所述第三垫块的侧板上设有紧固槽，所述紧固槽内通过螺钉固定有紧固块，所述紧固块的侧面接触干刻下部电极侧边的侧板；所述固定装置由多个垫块构成支撑干刻下部电极的支撑结构，其中，位于中部的垫块为第一垫块，位于边缘的垫块为第二垫块或第三垫块，且第二垫块或第三垫块的侧板位于固定装置边缘，所述固定装置其中相邻两侧的侧板设有紧固槽，另外相邻两侧的侧板无紧固槽。所述紧固块由公钳口和母钳口构成，所述公钳口和母钳口相向面为配合的斜面，所述母钳口外侧面接触干刻下部电极侧面，所述公钳口通过螺钉固定在紧固槽内。所述公钳口和母钳口为钢材。所述第一垫块、第二垫块和第三垫块的厚度相同，均为铝材。本技术的优点在于：1、紧固装置各部件均为精密部件，能够保证紧固精度要求及后续加工过程中的精度保持；2、各个部件所用材料适宜，接触处对干刻下部电极的损伤可控；3、通过第二、三类垫块及公母钳口的配合使用实现高精度调整干刻下部电极的固定位置；4、通用性好，节省了成本，由于采用模块化设计，能够适用于不同尺寸干刻下部电极的固定；5、模快化组成，单个装置的重量合理，可快速进行固定及解除固定；6、本固定装置为满足干刻下部电极在加工中心平台上的精确固定而设计，但其也可用于其他类似外形工件的固定。附图说明下面对本技术说明书中每幅附图表达的内容及图中的标记作简要说明：图1为干刻下部电极固定装置结构示意图；上述图中的标记均为：1、第一垫块；2、第二垫块；3、第三垫块；4、压块；5、公钳口；6、母钳口。具体实施方式干刻下部电极的特点在于结构精密、重量大。其固定装置应满足以下要求：1、使得固定精度达到相关技术要求。包括固定后整个干刻下部电极的平整度要求、固定方位精度以及后续加工过程中的精度保持等。这对固定装置所用的材料及其本身的精密程度提出了要求；2、固定装置对干刻下部电极的损伤小。这对固定装置与干刻下部电极接触处的材料提出了一定要求；3、高精度的、便捷的可调整性。由于干刻下部电极在加工中心工作台上的固定位置不是随意的，不可能一次性精准到位，需要后续进行调整才能精确到位；4、通用性好。能够适用于不同尺寸干刻下部电极的精确定位；5、可简单、快速进行固定及解除固定。如图1所示：固定装置的六种组成部件分别是：第一垫块1为E放在中间起承重作用，并且可并联四周垫块吸收加工时震动；第二垫块2为垫块A、垫块B、垫块C、垫块D，材料为2A12铝。放在周围起承重和固定作用；第三垫块3为垫块F、垫块G、垫块H、垫块I，材料为2A12铝。同样放在周围起承重和固定作用但与第二垫块的结构有区别；压块4为条状结构，材料为45钢,热处理调质HRC25-32，用于将垫块固定在加工中心工作台上；公钳口5，材料为45钢,热处理调质HRC25-32，与母钳口6配合使用可起到固定和调整作用；母钳口6，材料均为2A12铝。与公钳口5配合使用可起到固定和调整作用。基于上述固定装置使用方法如下：1、用压块4将垫块A、B、C、D、E完全固定在工作台上(具体位置根据干刻下部电极尺寸进行灵活调整)，将垫块F、G、H、I预置在相应位置附近；2、将干刻下部电极放在固定装置上，接近于目标位置。然后用压块4完全固定好垫块F、G、H、I；3、在垫块F上预置好母钳口6，然后在该垫块与母钳口6之间上放上公钳口5拧上螺丝，拧紧螺丝使干刻下部电极与垫块D接触。之后再松开该螺丝，在垫块H上预置好母钳口6，然后在该垫块与母钳口6之间放上公钳口5并拧紧螺丝，使得干刻下部电极与垫块A、B、C接触；4、松开垫块H上的螺丝，拧紧垫块F上的螺丝，使得干刻下部电极与垫块D紧密接触。松开垫块F上的螺丝，再次拧紧垫块H上的螺丝，使得干刻下部电极与垫块A、B、C紧密接触，此时再拧紧垫块F上的螺丝使得干刻下部电极同时与垫块D紧密接触。5、在垫块G、I上预置母钳口6，然后对应放入公钳口5并拧紧螺丝。上面结合附图对本专利技术进行了示例性描述，显然本技术具体实现并不受上述方式的限制，只要采用了本专利技术的方法构思和技术方案进行的各种非实质性的改进，或未经改进将本专利技术的构思和技术方案直接应用于其它场合的，均在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种干刻下部电极固定装置，其特征在于：包括用于支撑干刻下部电极的第一垫块、第二垫块和第三垫块，以及连接并将垫块固定在加工工作台上的压块；所述第一垫块为板状结构，所述第一垫块的侧面设有固定压块的插槽；所述第二垫块为板状结构，所述第二垫块的侧面设有固定压块的插槽，所述第二垫块其中一侧边缘设有凸出用于支撑干刻下部电极侧边的侧板；所述第三垫块为板状结构，所述第三垫块的侧面设有固定压块的插槽，所述第三垫块其中一侧边缘设有凸出用于支撑干刻下部电极侧边的侧板，所述第三垫块的侧板上设有紧固槽，所述紧固槽内通过螺钉固定有紧固块，所述紧固块的侧面接触干刻下部电极侧边的侧板；所述固定装置由多个垫块构成支撑干刻下部电极的支撑结构，其中，位于中部的垫块为第一垫块，位于边缘的垫块为第二垫块或第三垫块，且第二垫块或第三垫块的侧板位于固定装置边缘，所述固定装置其中相邻两侧的侧板设有紧固槽，另外相邻两侧的侧板无紧固槽。

【技术特征摘要】
1.一种干刻下部电极固定装置，其特征在于：包括用于支撑干刻下部电极的第一垫块、第二垫块和第三垫块，以及连接并将垫块固定在加工工作台上的压块；所述第一垫块为板状结构，所述第一垫块的侧面设有固定压块的插槽；所述第二垫块为板状结构，所述第二垫块的侧面设有固定压块的插槽，所述第二垫块其中一侧边缘设有凸出用于支撑干刻下部电极侧边的侧板；所述第三垫块为板状结构，所述第三垫块的侧面设有固定压块的插槽，所述第三垫块其中一侧边缘设有凸出用于支撑干刻下部电极侧边的侧板，所述第三垫块的侧板上设有紧固槽，所述紧固槽内通过螺钉固定有紧固块，所述紧固块的侧面接触干刻下部电极侧边的侧板；所述固定装置由多个垫块构成支撑干刻下部...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋微，李亚军，
申请(专利权)人：芜湖通潮精密机械股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34