【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于有机发光二极体，更具体地说，是涉及一种无阳极氧化膜气体扩散器。
技术介绍
1、随着面板和amoled（active-matrix organic light emitting diode，有源矩阵有机发光二极体面板）的发展需求，相关生产设备的需求也在日益增长。bare diffuser（无阳极氧化膜气体扩散器）作为cvd（化学气相沉积）设备的核心零部件，有着至关重要的作用。它相当于平行电容板上电极的作用。气体通过扩散器本体上的diffuser孔径进行供应，然后经分流后扩散到玻璃或其他衬底四周；barediffuser使用广泛，在显示行业g6&g8&g10.5代线设备上均有使用。随着面板显示和半导体行业对终端产品分辨率等的要求越来越高，制造厂端对bare diffuser的均一性要求也越来越高，传统bare diffuser孔径加工时径深是一致的，存在气流往四周扩散时随着路程的加长，气流越来越弱的情况，最终导致气体分子电离&成膜时存在膜厚均一性不均的现象。尤其是在制造厂端cvd工艺recipe配比时，当气流流量比较小时更容易产生此现象，比如在gi成膜时，受限于膜质特性sih4流量普遍较小，导致气流往四周扩散时不充分，最终导致出现四周成膜膜厚相比中心成膜膜厚不均一的现象。
2、现有技术中有名称为“有机发光二极管显示面板及显示装置”、公开号为“cn109671746b”的技术，该技术提供有机发光二极管显示面板及显示装置，有机发光二极管显示面板包括保护膜层、背板膜层、离型膜层，所述背板膜
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题是：针对现有技术的不足，提供一种结构简单，能够方便可靠实现对待加工玻璃基板进行无阳极氧化膜气体扩散处理，并且有效改善cvd成膜时因气流四周扩散不均造成的膜厚不均一性问题，提升产品品质的无阳极氧化膜气体扩散器。
2、要解决以上所述的技术问题，本专利技术采取的技术方案为：
3、本专利技术为一种无阳极氧化膜气体扩散器，包括上电极板和下电极板，上电极板和下电极板形成平行电容板，上电极板和下电极板位于腔体内，待加工玻璃基板设置为能够放置在下电极板上的结构,上电极板和待加工玻璃基板之间存在间隙部，上电极板的扩散器本体包括本体中心部和本体边角部，本体中心部和本体边角部位置分别设置气体扩散孔，气体扩散孔包括直孔段、毛细孔段、喇叭孔段，本体边角部位置的气体扩散孔的毛细孔段的高度尺寸大于或小于本体中心部位置的气体扩散孔的毛细孔段的高度尺寸；本体边角部位置的气体扩散孔的直孔段的高度尺寸小于或大于本体中心部位置的气体扩散孔的直孔段的高度尺寸。
4、所述的扩散器本体上部设置气体扩散板，气体扩散板设置气体供应腔体，气体供应腔体连通气体管路，每个气体扩散孔一端连通气体供应腔体，每个气体扩散孔另一端对准待加工玻璃基板表面位置，气体扩散孔的喇叭孔段位于下方。
5、所述的本体上表面的本体中心部和本体边角部的气体扩散孔呈阶梯梯度的结构，气体扩散孔的喇叭孔段与本体上表面结合部位设置为呈凸出的弧形结构。
6、所述的本体边角部位置的气体扩散孔的直孔段、毛细孔段、喇叭孔段的高度尺寸之和等于本体中心部位置的气体扩散孔的直孔段、毛细孔段、喇叭孔段的高度尺寸之和。
7、所述的本体边角部3位置的气体扩散孔4的毛细孔段6的高度尺寸小于本体中心部位置的气体扩散孔的毛细孔段的高度尺寸；所述的本体边角部位置的气体扩散孔的直孔段的高度尺寸大于本体中心部位置的气体扩散孔的直孔段的高度尺寸。
8、所述的本体边角部位置的气体扩散孔的毛细孔段的高度尺寸大于本体中心部位置的气体扩散孔的毛细孔段的高度尺寸；所述的本体边角部位置的气体扩散孔的直孔段的高度尺寸小于本体中心部位置的气体扩散孔的直孔段的高度尺寸。
9、所述的扩散器本体包括本体下表面和本体上表面，气体扩散孔贯穿本体下表面和本体上表面，气体扩散孔从本体上表面到本体下表面依次为直孔段、毛细孔段、喇叭孔段，喇叭孔段从上到下直径尺寸逐渐增大，扩散器本体通过直孔段连通气体供应腔体。
10、所述的扩散器本体的本体中心部位置的气体扩散孔的直孔段的高度尺寸在1mm-35mm之间，毛细孔段的高度尺寸在1mm-10mm之间，喇叭孔段的高度尺寸在1mm-15mm之间。
11、所述的扩散器本体的本体边角部位置的气体扩散孔的直孔段的高度尺寸在1mm-35mm之间，毛细孔段的高度尺寸在1mm-10mm之间，喇叭孔段的高度尺寸在1mm-15mm之间。
12、所述的上电极板上还设置射频电源匹配器，射频电源匹配器设置为能够清除射频电源的容抗和感抗的结构，下电极板设置电加热器，电加热器与电源连接。
13、采用本专利技术的技术方案，工作原理及有益效果如下所述：
14、本专利技术所述的无阳极氧化膜气体扩散器，需要对待加工玻璃基板进行无阳极氧化膜气体扩散处理时，设置扩散处理装置。腔体内设置下电极板，下电极板用于承载待加工玻璃基板，上电极板位于下电极板上方，即位于待加工玻璃基板上方，供应的气体进入扩散器本体，然后从气体扩散孔流过，再从下方向待加工玻璃基板位置供应。这样，方便可靠实现对待加工玻璃基板进行无阳极氧化膜气体扩散处理。而对扩散器本体的气体扩散孔的布置结构进行改进。有两种结构改进思路，一种改进思路形成的技术方案是，本体边角部位置的气体扩散孔的改变，本体中心部位置的气体扩散孔不变，即：本体边角部位置的气体扩散孔的毛细孔段的高度尺寸小于本体中心部位置的气体扩散孔的毛细孔段的高度尺寸。本体边角部位置的气体扩散孔的直孔段的高度尺寸大于本体中心部位置的气体扩散孔的直孔段的高度尺寸。另一种改进思路形成的技术方案是，本体边角部位置的气体扩散孔的不变，本体中心部位置的气体扩散孔改变，即：本体边角部位置的气体扩散孔的毛细孔段的高度尺寸大于本体中心部位置的气体扩散孔的毛细孔段的高度尺寸。本体边角部位置的气体扩散孔的直孔段的高度尺寸小于本体中心部位置的气体扩散孔的直孔段的高度尺寸。通过局部结构改变，改变不同位置的气体供应状态，使得本体边角部位置的气体扩散孔和本体中心部位置的气体扩散孔的气体供应状态达到平衡，解决因为气流往四周扩散时随着路程加长气流越来越弱的情况，最终导致气体分子电离&成膜时存在膜厚均一性不均现象的出现，改善均一性，提高产品品质。
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1.一种无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：包括上电极板(A)和下电极板(B)，上电极板(A)和下电极板(B)形成平行电容板，上电极板(A)和下电极板(B)位于腔体(C)内，待加工玻璃基板(D)设置为能够放置在下电极板(B)上的结构,上电极板(A)和待加工玻璃基板(D)之间存在间隙部，上电极板(A)的扩散器本体(1)包括本体中心部(2)和本体边角部(3)，本体中心部(2)和本体边角部(3)位置分别设置气体扩散孔(4)，气体扩散孔(4)包括直孔段(5)、毛细孔段(6)、喇叭孔段(7)，本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸大于或小于本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸；本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)的高度尺寸小于或大于本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)的高度尺寸。
2.根据权利要求1所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的扩散器本体(1)上部设置气体扩散板，气体扩散板设置气体供应腔体，气体供应腔体连通气体管路(E)，每个气体扩散孔(4)一端连通气体供应腔体，每个气体扩散
3.根据权利要求1或2所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的扩散器本体(1)包括本体下表面(8)和本体上表面(9)，气体扩散孔(4)贯穿本体下表面(8)和本体上表面(9)，气体扩散孔(4)从本体上表面(9)到本体下表面(8)依次为直孔段(5)、毛细孔段(6)、喇叭孔段(7)，喇叭孔段(7)从上到下直径尺寸逐渐增大，扩散器本体(1)通过直孔段(5)连通气体供应腔体。
4.根据权利要求3所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的本体上表面(9)的本体中心部(2)和本体边角部(3)的气体扩散孔(4)呈阶梯梯度(F)的结构，气体扩散孔(4)的喇叭孔段(7)与本体上表面(9)结合部位设置为呈凸出的弧形结构(10)。
5.根据权利要求1或2所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)、毛细孔段(6)、喇叭孔段(7)的高度尺寸之和等于本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)、毛细孔段(6)、喇叭孔段(7)的高度尺寸之和。
6.根据权利要求5所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸小于本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸；所述的本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)的高度尺寸大于本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)的高度尺寸。
7.根据权利要求5所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸大于本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸；所述的本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)的高度尺寸小于本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)的高度尺寸。
8.根据权利要求7所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的扩散器本体(1)的本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)的高度尺寸在1mm-35mm之间，毛细孔段(6)的高度尺寸在1mm-10mm之间，喇叭孔段(7)的高度尺寸在1mm-15mm之间。
9.根据权利要求8所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的扩散器本体(1)的本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)的高度尺寸在1mm-35mm之间，毛细孔段(6)的高度尺寸在1mm-10mm之间，喇叭孔段(7)的高度尺寸在1mm-15mm之间。
10.根据权利要求1或2所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的上电极板(A)上还设置射频电源匹配器(G)，射频电源匹配器(G)设置为能够清除射频电源的容抗和感抗的结构，下电极板(B)设置电加热器，电加热器与电源连接。
...【技术特征摘要】
1.一种无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：包括上电极板(a)和下电极板(b)，上电极板(a)和下电极板(b)形成平行电容板，上电极板(a)和下电极板(b)位于腔体(c)内，待加工玻璃基板(d)设置为能够放置在下电极板(b)上的结构,上电极板(a)和待加工玻璃基板(d)之间存在间隙部，上电极板(a)的扩散器本体(1)包括本体中心部(2)和本体边角部(3)，本体中心部(2)和本体边角部(3)位置分别设置气体扩散孔(4)，气体扩散孔(4)包括直孔段(5)、毛细孔段(6)、喇叭孔段(7)，本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸大于或小于本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸；本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)的高度尺寸小于或大于本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)的高度尺寸。
2.根据权利要求1所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的扩散器本体(1)上部设置气体扩散板，气体扩散板设置气体供应腔体，气体供应腔体连通气体管路(e)，每个气体扩散孔(4)一端连通气体供应腔体，每个气体扩散孔(4)另一端对准待加工玻璃基板(d)表面位置，气体扩散孔(4)的喇叭孔段(7)位于下方。
3.根据权利要求1或2所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的扩散器本体(1)包括本体下表面(8)和本体上表面(9)，气体扩散孔(4)贯穿本体下表面(8)和本体上表面(9)，气体扩散孔(4)从本体上表面(9)到本体下表面(8)依次为直孔段(5)、毛细孔段(6)、喇叭孔段(7)，喇叭孔段(7)从上到下直径尺寸逐渐增大，扩散器本体(1)通过直孔段(5)连通气体供应腔体。
4.根据权利要求3所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的本体上表面(9)的本体中心部(2)和本体边角部(3)的气体扩散孔(4)呈阶梯梯度(f)的结构，气体扩散孔(4)的喇叭孔段(7)与本体上表面(9)结合部位设置为呈凸出的弧形结构(10)。
5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：王琨，何新玉，周俊，王百强，
申请(专利权)人：芜湖通潮精密机械股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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