一种无阳极氧化膜气体扩散器制造技术

本发明专利技术属于有机发光二极体技术领域的无阳极氧化膜气体扩散器。扩散器本体(1)包括本体中心部(2)和本体边角部(3)，本体中心部(2)和本体边角部(3)位置分别设置气体扩散孔(4)，气体扩散孔(4)包括直孔段(5)、毛细孔段(6)、喇叭孔段(7)，本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸大于或小于本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸。本发明专利技术所述的无阳极氧化膜气体扩散器，能够有效改善CVD成膜时因气流四周扩散不均造成的膜厚不均一性问题，提升品质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于有机发光二极体，更具体地说，是涉及一种无阳极氧化膜气体扩散器。

技术介绍

1、随着面板和amoled（active-matrix organic light emitting diode，有源矩阵有机发光二极体面板）的发展需求，相关生产设备的需求也在日益增长。bare diffuser（无阳极氧化膜气体扩散器）作为cvd（化学气相沉积）设备的核心零部件，有着至关重要的作用。它相当于平行电容板上电极的作用。气体通过扩散器本体上的diffuser孔径进行供应，然后经分流后扩散到玻璃或其他衬底四周；barediffuser使用广泛，在显示行业g6&g8&g10.5代线设备上均有使用。随着面板显示和半导体行业对终端产品分辨率等的要求越来越高，制造厂端对bare diffuser的均一性要求也越来越高，传统bare diffuser孔径加工时径深是一致的，存在气流往四周扩散时随着路程的加长，气流越来越弱的情况，最终导致气体分子电离&成膜时存在膜厚均一性不均的现象。尤其是在制造厂端cvd工艺recipe配比时，当气流流量比较小时更本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：包括上电极板(A)和下电极板(B)，上电极板(A)和下电极板(B)形成平行电容板，上电极板(A)和下电极板(B)位于腔体(C)内，待加工玻璃基板(D)设置为能够放置在下电极板(B)上的结构,上电极板(A)和待加工玻璃基板(D)之间存在间隙部，上电极板(A)的扩散器本体(1)包括本体中心部(2)和本体边角部(3)，本体中心部(2)和本体边角部(3)位置分别设置气体扩散孔(4)，气体扩散孔(4)包括直孔段(5)、毛细孔段(6)、喇叭孔段(7)，本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸大于或小于本体中心部(2)位置的气体扩散孔...

【技术特征摘要】

1.一种无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：包括上电极板(a)和下电极板(b)，上电极板(a)和下电极板(b)形成平行电容板，上电极板(a)和下电极板(b)位于腔体(c)内，待加工玻璃基板(d)设置为能够放置在下电极板(b)上的结构,上电极板(a)和待加工玻璃基板(d)之间存在间隙部，上电极板(a)的扩散器本体(1)包括本体中心部(2)和本体边角部(3)，本体中心部(2)和本体边角部(3)位置分别设置气体扩散孔(4)，气体扩散孔(4)包括直孔段(5)、毛细孔段(6)、喇叭孔段(7)，本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸大于或小于本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的毛细孔段(6)的高度尺寸；本体边角部(3)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)的高度尺寸小于或大于本体中心部(2)位置的气体扩散孔(4)的直孔段(5)的高度尺寸。

2.根据权利要求1所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的扩散器本体(1)上部设置气体扩散板，气体扩散板设置气体供应腔体，气体供应腔体连通气体管路(e)，每个气体扩散孔(4)一端连通气体供应腔体，每个气体扩散孔(4)另一端对准待加工玻璃基板(d)表面位置，气体扩散孔(4)的喇叭孔段(7)位于下方。

3.根据权利要求1或2所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的扩散器本体(1)包括本体下表面(8)和本体上表面(9)，气体扩散孔(4)贯穿本体下表面(8)和本体上表面(9)，气体扩散孔(4)从本体上表面(9)到本体下表面(8)依次为直孔段(5)、毛细孔段(6)、喇叭孔段(7)，喇叭孔段(7)从上到下直径尺寸逐渐增大，扩散器本体(1)通过直孔段(5)连通气体供应腔体。

4.根据权利要求3所述的无阳极氧化膜气体扩散器，其特征在于：所述的本体上表面(9)的本体中心部(2)和本体边角部(3)的气体扩散孔(4)呈阶梯梯度(f)的结构，气体扩散孔(4)的喇叭孔段(7)与本体上表面(9)结合部位设置为呈凸出的弧形结构(10)。

5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：王琨，何新玉，周俊，王百强，
申请(专利权)人：芜湖通潮精密机械股份有限公司，
类型：发明
国别省市：