铸锭炉热场结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种铸锭炉热场结构，用于铸锭晶体硅锭，包括：炉体；隔热笼体，设置在所述炉体的内部，其中，所述隔热笼体包括固定的上隔热笼，以及可相对上隔热笼升降的下隔热笼；可升降的隔热底板，与所述隔热笼体可形成密闭空间；热交换台，设置在所述隔热底板的上方；坩埚，放置在所述热交换台上；顶加热器，设置在所述坩埚的上方；侧加热器，设置在所述坩埚的外侧。上述铸锭炉热场结构中，隔热笼体分成固定的上隔热笼和可升降的下隔热笼，在长晶过程中，通过移动下隔热笼，使得侧部加热器上半部分的热量能够有效地散失，防止热应力的产生，从而能够更有效地控制晶体生长后的固液界面，更加精确地控制晶体生长周期以及晶体质量。

【技术实现步骤摘要】
铸锭炉热场结构
本技术涉及晶体硅锭铸锭
，特别是涉及一种铸锭炉热场结构。
技术介绍
铸锭炉可以用来铸锭多晶硅或准单晶硅，通过诱导式的方法铸造结晶获得目标晶体，再经过开方、切片环节，从而生产出具有高转换率的硅片。传统的铸锭炉热场结构，在晶体生长过程中，隔热笼设计为一体结构，且与热场大底板一起组成密闭式的热场空间。当长晶时，大底板逐渐打开，进行热量的散失以达到晶体生长的目的。但是，由于侧部加热器的存在，侧部加热器的下半部分可以通过大底板的打开，从而达到热量散失的目的。而侧部加热器的上半部分，由于远离大底板，所以热量不能有效散失。
技术实现思路
基于此，有必要针对侧部加热器的上半部分的热量不能有效散失问题，提供一种铸锭炉热场结构。一种铸锭炉热场结构，用于铸锭晶体硅锭，包括：炉体；隔热笼体，设置在所述炉体的内部，其中，所述隔热笼体包括固定的上隔热笼，以及可相对上隔热笼升降的下隔热笼；可升降的隔热底板，与所述隔热笼体可形成密闭空间；热交换台，设置在所述隔热底板的上方；坩埚，放置在所述热交换台上；顶加热器，设置在所述坩埚的上方；侧加热器，设置在所述坩埚的外侧。上述铸锭炉热场结构中，隔热笼体分成固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种铸锭炉热场结构，用于铸锭晶体硅锭，其特征在于，包括：炉体；隔热笼体，设置在所述炉体的内部，其中，所述隔热笼体包括固定的上隔热笼，以及可相对上隔热笼升降的下隔热笼；可升降的隔热底板，与所述隔热笼体可形成密闭空间；热交换台，设置在所述隔热底板的上方；坩埚，放置在所述热交换台上；顶加热器，设置在所述坩埚的上方；侧加热器，设置在所述坩埚的外侧。

【技术特征摘要】
1.一种铸锭炉热场结构，用于铸锭晶体硅锭，其特征在于，包括：炉体；隔热笼体，设置在所述炉体的内部，其中，所述隔热笼体包括固定的上隔热笼，以及可相对上隔热笼升降的下隔热笼；可升降的隔热底板，与所述隔热笼体可形成密闭空间；热交换台，设置在所述隔热底板的上方；坩埚，放置在所述热交换台上；顶加热器，设置在所述坩埚的上方；侧加热器，设置在所述坩埚的外侧。2.根据权利要求1所述的铸锭炉热场结构，其特征在于，所述上隔热笼为倒扣在所述坩埚顶部和侧部的桶状结构。3.根据权利要求2所述的铸锭炉热场结构，其特征在于，所述下隔热笼为环状结构。4.根据权利要求3所述的铸锭炉热场结构，其特征在于，所述上隔热笼与下隔热笼的周...

【专利技术属性】
技术研发人员：田野，居发亮，
申请(专利权)人：江苏协鑫硅材料科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32