透明显示面板及其制造方法技术

一种透明显示面板及其制造方法，该透明显示面板包括以下元件。主动层位于基底上。闸绝缘层位于主动层上。栅极位于闸绝缘层上。第一层间绝缘层位于栅极与闸绝缘层上。第二层间绝缘层位于第一层间绝缘层上。辅助结构位于第二层间绝缘层上并定义透明区。源极与漏极位于第二层间绝缘层上且分别电性连接至主动层。第三层间绝缘层位于源极与漏极上。第四层间绝缘层位于第三层间绝缘层上，并于透明区中与第一层间绝缘层接触。电致发光元件位于第四层间绝缘层上。

【技术实现步骤摘要】
透明显示面板及其制造方法
本专利技术涉及一种显示面板及其制造方法，且特别涉及一种透明显示面板及其制造方法。
技术介绍
有机电致发光元件(organicelectroluminescentdevice)是一种可将电能转换成光能且具有高转换效率的半导体元件，其常见的用途为指示灯以及显示面板的发光元件等。由于有机电致发光元件具备如无视角问题、制程简易、低成本、高应答速度、使用温度范围广泛与全彩化等特性，因此符合多媒体时代显示器特性的要求，可望成为平面显示器的主流。目前，将有机电致发光元件应用于透明电子产品已有研发案例，以使观看者通过透明背景来观看图像，此透明电子产品例如为车用玻璃、智能窗户、透明显示器等等。
技术实现思路
本专利技术的一实施例提供一种透明显示面板及其制造方法，其可增加透明显示面板的穿透率并减少黄化现象。本专利技术的一实施例提供一种透明显示面板的制造方法，其步骤如下。形成主动层于基底上。形成闸绝缘层于主动层上。形成栅极于闸绝缘层上。形成第一层间绝缘层于栅极与闸绝缘层上。形成第二层间绝缘层于第一层间绝缘层上。形成辅助结构于第二层间绝缘层上。形成源极与漏极于第二层间绝缘层上且分别电性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种透明显示面板的制造方法，包括：形成一主动层于一基底上；形成一闸绝缘层于该主动层上；形成一栅极于该闸绝缘层上；形成一第一层间绝缘层于该栅极与该闸绝缘层上；形成一第二层间绝缘层于该第一层间绝缘层上；形成一辅助结构于该第二层间绝缘层上；形成一源极与一漏极于该第二层间绝缘层上且分别电性连接至该主动层；形成一第三层间绝缘层于该源极与该漏极上，并延伸覆盖该辅助结构；以该辅助结构作为蚀刻停止层，移除该第三层间绝缘层的一部分与该第二层间绝缘层的一部分，以暴露出该第一层间绝缘层于一预定透明区；形成一第四层间绝缘层于该第三层间绝缘层上，其中该第四层间绝缘层的至少一部分位于该预定透明区；形成一下电极于该第四...

【技术特征摘要】
2018.05.10 TW 1071159101.一种透明显示面板的制造方法，包括：形成一主动层于一基底上；形成一闸绝缘层于该主动层上；形成一栅极于该闸绝缘层上；形成一第一层间绝缘层于该栅极与该闸绝缘层上；形成一第二层间绝缘层于该第一层间绝缘层上；形成一辅助结构于该第二层间绝缘层上；形成一源极与一漏极于该第二层间绝缘层上且分别电性连接至该主动层；形成一第三层间绝缘层于该源极与该漏极上，并延伸覆盖该辅助结构；以该辅助结构作为蚀刻停止层，移除该第三层间绝缘层的一部分与该第二层间绝缘层的一部分，以暴露出该第一层间绝缘层于一预定透明区；形成一第四层间绝缘层于该第三层间绝缘层上，其中该第四层间绝缘层的至少一部分位于该预定透明区；形成一下电极于该第四层间绝缘层上且电性连接至该漏极；形成一像素定义层于该第四层间绝缘层上，其中该像素定义层的至少一部分位于该预定透明区，该像素定义层具有一开口位于一显像区；形成一电致发光层于该开口中；以及形成一上电极于该电致发光层上。2.如权利要求1所述的透明显示面板的制造方法，其中形成该辅助结构于该第二层间绝缘层上的步骤包括：形成一辅助层于该第二层间绝缘层上；以及图案化该辅助层，以暴露出该第二层间绝缘层，借此形成该辅助结构定义出该预定透明区。3.如权利要求1所述的透明显示面板的制造方法，其中该辅助结构为单一个方框、单一个圆框、单一个十字形、多个条状、多个圆框、多个方框或其组合。4.如权利要求1所述的透明显示面板的制造方法，其中以该辅助结构作为蚀刻停止层，移除该第三层间绝缘层的该部分与该第二层间绝缘层的该部分的步骤包括：形成一光刻胶图案于该第三层间绝缘层上；以及以该光刻胶图案为罩幕，移除该第三层间绝缘层的该部分、该第二层间绝缘层的该部分以及该第一层间绝缘层的一部分，使得位于该预定透明区外的该第一层间绝缘层的厚度为T1，而位于该预定透明区中的剩余的第一层间绝缘层的厚度为T2，200纳米≦T1≦400纳米且20纳米≦T2≦100纳米。5.如权利要求4所述的透明显示面板的制造方法，其中以该辅助结构作为蚀刻停止层，移除该第三层间绝缘层的该部分与该第二层间绝缘层的该部分的步骤之后，该第四层间绝缘层直接接触该剩余的第一层间绝缘层。6.如权利要求4所述的透明显示面板的制造方法，其中以该辅助结构作为蚀刻停止层，移除该第三层间绝缘层的该部分与该第二层间绝缘层的该部分的步骤包括：移除该第四层间绝缘层的一部分，以暴露出该第一层间绝缘层于该预定透明区，且该像素定义层直接接触该剩余的第一层间绝缘层。7.如权利要求1所述的透明显示面板的制造方法，其中该第一层间绝缘层的材料为硅的氧化物或硅的氮化物，且该第二层间绝缘层的材料为硅的氮化物或硅的氧化物。8.如权利要求1所述的透明显示面板的制造方法，其中该辅助结构的材料包括金属、金属氧化物、有机化合物或其组合，且该辅助结构的厚度为400纳米至700纳米。9.如权利要求1所述的透明显示面板的制造方法，其中该辅助结构与该第三层间绝缘层的蚀刻选择比为3％至8％；该辅助结构与该第二层间绝缘层的蚀刻选择比为2％至5％。10.如权利要求1所述的透明显示面板的制造方法，其中该辅助结构、该源极及该漏极由相同膜层图案化所形成。11.一种透明显示面板，包括：一主动层位于一基底上；一闸绝缘层位于该主动层上；一栅极位于该闸绝缘层上；一第一层间绝缘层位于该栅极与该闸绝缘层上；一第二层间绝缘层位于该第一层间绝缘层上；一辅助结构位于该闸绝缘层上并定义一透明区，其中该辅助结构的厚度为400纳米至700纳米；一源极与一漏极位于该第二层间绝缘层上且分别电性连接至该主动层；一第三层间绝缘层位于该源极与该漏极上；一第四层间绝缘层位于该第三层间绝缘层上；以及一电致发光元件位于该第四层间绝缘层上。12.如权利要求11所述的透明显示面板，还包含一像素定义层于该第四层间绝...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈文泰，李庚益，陈文斌，陈祖伟，陈国光，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71