【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀液回收利用的装置
本专利技术涉及刻蚀工艺槽中废液的二次利用
，具体而言，涉及一种刻蚀液回收利用的装置。
技术介绍
多晶硅电池的制造过程中，其中电池片制作工艺中刻蚀清洗设备的工艺槽的药液主要有HF、HNO3、H2[SiF6]，刻蚀工艺完成以后，多数药液被当成废液进行处理排放，药液利用率较小，增加了电池片的生产成本，且对环境污染严重。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种刻蚀液回收利用的装置，能够对产生的刻蚀液进行利用，避免资料的浪费，更加环保。本专利技术是采用以下技术方案实现的：一种刻蚀液回收利用的装置，包括刻蚀工艺槽、刻蚀液供应储存箱、HF供应储存箱、纯水供应储存箱和制绒工艺槽；刻蚀工艺槽与刻蚀液供应储存箱连通，刻蚀液供应储存箱、HF供应储存箱和纯水供应储存箱均与制绒工艺槽连通。进一步地，本专利技术较佳的实施例中，上述装置还包括刻蚀液储液槽，刻蚀工艺槽的上端上连接第一溢流管，第一溢流管的远离刻蚀工艺槽的一端连通刻蚀液储液槽，刻蚀工艺槽的下端连接第一管路，第一管路的远离刻蚀工艺槽的一端连通刻蚀液储液槽，第一管路上设置有第一气动隔膜阀，刻蚀液储液槽与刻...
【技术保护点】
1.一种刻蚀液回收利用的装置，其特征在于，包括刻蚀工艺槽、刻蚀液供应储存箱、HF供应储存箱、纯水供应储存箱和制绒工艺槽；所述刻蚀工艺槽与所述刻蚀液供应储存箱连通，所述刻蚀液供应储存箱、所述HF供应储存箱和所述纯水供应储存箱均与所述制绒工艺槽连通。
【技术特征摘要】
1.一种刻蚀液回收利用的装置，其特征在于，包括刻蚀工艺槽、刻蚀液供应储存箱、HF供应储存箱、纯水供应储存箱和制绒工艺槽；所述刻蚀工艺槽与所述刻蚀液供应储存箱连通，所述刻蚀液供应储存箱、所述HF供应储存箱和所述纯水供应储存箱均与所述制绒工艺槽连通。2.根据权利要求1所述的刻蚀液回收利用的装置，其特征在于，所述装置还包括刻蚀液储液槽，所述刻蚀工艺槽的上端上连接第一溢流管，所述第一溢流管的远离所述刻蚀工艺槽的一端连通所述刻蚀液储液槽，所述刻蚀工艺槽的下端连接第一管路，所述第一管路的远离所述刻蚀工艺槽的一端连通所述刻蚀液储液槽，所述第一管路上设置有第一气动隔膜阀，所述刻蚀液储液槽与所述刻蚀液供应储存箱连通。3.根据权利要求2所述的刻蚀液回收利用的装置，其特征在于，所述装置还包括第一排液槽，所述第一溢流管和所述第一管路均通过第一排液管与所述第一排液槽连通，所述第一溢流管和所述第一管路均通过第一进液管与所述刻蚀液储液槽连通，所述第一进液管上设置有第一手动球阀，所述第一排液管上设置有第二手动球阀。4.根据权利要求3所述的刻蚀液回收利用的装置，其特征在于，所述刻蚀液储液槽的上端与所述第一排液槽通过第二溢流管连通，所述刻蚀液储液槽的下端与所述第一排液槽通过第二排液管连通，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王丽婷，刘海涛，张会学，
申请(专利权)人：中节能太阳能科技镇江有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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