下载一种刻蚀液回收利用的装置的技术资料

文档序号:19782124

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本发明提供一种刻蚀液回收利用的装置,属于刻蚀工艺槽中废液的二次利用技术领域。刻蚀刻蚀液回收利用的装置,包括刻蚀工艺槽、刻蚀液供应储存箱、HF供应储存箱、纯水供应储存箱和制绒工艺槽。刻蚀工艺槽与刻蚀液供应储存箱连通,刻蚀液供应储存箱、HF供应...
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