The utility model discloses a new type of alloy target. The upper layer of the Mo_ Mb film is provided with a medium layer, the upper layer of the medium layer is provided with a reflective layer, and the outer surface of the reflective layer is provided with a protective paint. The alloy target of the utility model contains a Mo_ Mb alloy film, so it will not change color, and can still maintain the gloss of the metal.
【技术实现步骤摘要】
一种新型合金靶材
本技术涉及一种新型合金靶材，属于靶材的
技术介绍
合金靶材广泛应用于液晶显示、等离子显示等平面显示器的点击和配线材料的铝系合金靶材，随着平面显示器的大型化和高精度华，越来越需要比抗小的材料。普通的合金靶材虽然会产生变色，但不会产生膜剥离，本新型合金靶材内含有Mo-Mb合金膜，所以不会产生变色，仍可以保持金属的光泽。
技术实现思路
技术目的：为了克服产生变色的问题，本技术提供一种新型合金靶材。工艺方案：本技术公开一种新型合金靶材，包括靶材、Mo-Mb膜、介质层、反射层、保护漆，所述靶材上层覆盖Mo-Mb膜，所述Mo-Mb膜上层设有介质层，所述介质层上层设有反射层，所述反射层外表面设有保护漆。进一步，所述介质层内设有氮化硅，所述介质层厚20-100nm。进一步，所述反射层内设有Al、Ti，所述反射层的厚度为50nm。本技术的合金靶材内含有Mo-Mb合金膜，所以不会产生变色，仍可以保持金属的光泽。附图说明图1：本实施例一种新型合金靶材的结构示意图。图中：靶材-1、Mo-Mb膜-2、介质层-3、反射层-4、保护漆-5。具体实施方式以下结合附图并通过具体实施例对本技术做进一步阐述，应当指出：对于本工艺领域的普通工艺人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，对本技术的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。实施例1：如图1所示一种新型合金靶材，包括靶材1、Mo-Mb膜2、介质层3、反射层4、保护漆5，所述靶材2上层覆盖Mo-Mb膜2，所述Mo-Mb膜2上层设有介质层3，所述介质层3内设有氮化硅，所述介质层3厚20-100nm，所述介质层...
【技术保护点】
1.一种新型合金靶材，其特征在于，包括靶材、Mo‑Mb膜、介质层、反射层、保护漆，所述靶材上层覆盖Mo‑Mb膜，所述Mo‑Mb膜上层设有介质层，所述介质层上层设有反射层，所述反射层外表面设有保护漆。
【技术特征摘要】
1.一种新型合金靶材，其特征在于，包括靶材、Mo-Mb膜、介质层、反射层、保护漆，所述靶材上层覆盖Mo-Mb膜，所述Mo-Mb膜上层设有介质层，所述介质层上层设有反射层，所述反射层外表面设有保护漆。2.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：臧龙杰，
申请(专利权)人：昆山世高新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。