一种自动称重装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种自动称重装置，包括称重台，还包括设置在称重台上方的吸取组件和罩设在称重台外部的无尘箱；所述无尘箱包括箱体和盖设在箱体上方的箱门，所述箱体和箱门之间设置有推动箱门滑移的推拉组件；所述箱体的下方设置有固定支架；所述吸取组件包括设置在称重台上方的直线模组、设置在直线模组下方的升降件和设置在升降件下方的吸盘；所述直线模组包括滑块，所述升降件设置在滑块的下端部。从而达到提高硅片测量结果准确性的效果。

An Automatic Weighing Device

The utility model discloses an automatic weighing device, which comprises a weighing platform, an absorption component arranged above the weighing platform and a dust-free box covered outside the weighing platform. The dust-free box comprises a box body and a box door covered above the box body, and a push-pull component for sliding of the box door is arranged between the box body and the box door. The lower part of the box body is provided with a fixed bracket; the suction assembly comprises a linear module set above the weighing platform, a lifting device set below the linear module and a sucker set below the lifting device; the linear module comprises a slider, and the lifting device is arranged at the lower end of the slider. Thus, the accuracy of silicon wafer measurement can be improved.

【技术实现步骤摘要】
一种自动称重装置
本技术涉及硅片称重设备领域，更具体的说涉及一种自动称重装置。
技术介绍
现有技术中对放置在制备区域里的硅片进行称重的过程中，一般是将硅片直接放置在称重台上进行。在称重的时候硅片和称重台全部放置在外界的空气中，因而外界空气中的一些灰尘或者是一些固体颗粒物的杂质会黏附在硅片的表面从而对测量结果产生一定的影响。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种自动称重装置，其具有提高硅片测量结果准确性的效果。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种自动称重装置，包括称重台，还包括设置在称重台上方的吸取组件和罩设在称重台外部的无尘箱；所述无尘箱包括箱体和盖设在箱体上方的箱门，所述箱体和箱门之间设置有推动箱门滑移的推拉组件；所述箱体的下方设置有固定支架；所述吸取组件包括设置在称重台上方的直线模组、设置在直线模组下方的升降件和设置在升降件下方的吸盘；所述直线模组包括滑块，所述升降件设置在滑块的下端部。进一步的，所述推拉组件包括设置在箱体外侧壁上的推拉件和设置在推拉件端部的推拉板，且所述推拉板和箱门固定。进一步的，所述箱体的上端面沿箱门滑移的方向对称开设有滑槽，所述箱门设置有与滑槽配合的凸块。进一步的，所述凸块的下端部对称设置有嵌设在滑槽内部的滚轮。进一步的，所述滑块和升降件之间设置有旋转组件，所述旋转组件包括设置在滑块下方的转向件以及用于固定转向件和升降件的连接板。进一步的，所述升降件下方设置有用于固定吸盘的锁固板，所述锁固板上设置有用于检测硅片的传感器。进一步的，所述吸盘的外侧设置有吸盘罩。进一步的，所述吸盘罩的下端面设置有柔性层。进一步的，所述固定支架的下端部设置有若干加强板。进一步的，所述箱体和固定支架接触处设置有若干缓冲垫。本技术的有益效果：1、通过在称重台的外部罩设能够密封的无尘箱，使得硅片在称重的过程中处于无尘的环境中，从而减少了空气中的灰尘和小颗粒的固体杂质对测量结果的影响；2、通过设置箱体、能够相对于箱体滑移的箱门，以及固定在箱体和箱门之间用于控制箱门开闭的推拉组件，利用推拉组件控制箱门和箱体之间的状态，既方便将硅片放置在箱体内进行称重，同时也便于和吸取组件配合实现自动化的生产；3、通过吸取组件、无尘箱和固定支架能够实现硅片的自动化的取放，一方面能够减轻操作者的劳动强度，提高生产的效率；另一方面，减少了吸取组件将硅片放置进无尘箱内部的距离，从而进一步的提高了测量结果的稳定性；4、利用吸盘取出硅片既可以减少测量硅片的过程中对硅片造成的损伤，同时方便将硅片放置到称重台上。附图说明图1是自动称重装置的整体示意图；图2是图1中A部分的放大图；图3是吸盘的爆炸视图；图4是无尘箱的剖视图；图5是图4中B部分的放大图；图6是自动称重装置的部分视图。其中，1、称重台；2、无尘箱；21、箱体；211、滑槽；22、箱门；221、凸块；222、滚轮；3、直线模组；31、滑块；32、导轨；33、定位槽；34、拖链；4、升降件；41、锁固板；411、传感器；412、支板；5、吸盘；51、吸盘罩；511、柔性层；52、凸块；6、旋转组件；61、转向件；62、连接板；7、固定支架；71、加强板；72、缓冲垫；8、推拉组件；81、推拉件；82、推拉板。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。实施例一种自动称重装置，参照图1和图2，包括称重台1(参照图4)、罩设在称重台1外部的无尘箱2，以及设置在无尘箱2上方的吸取组件，吸取组件包括直线模组3、升降件4和用于吸附硅片的吸盘5。直线模组3包括固定在硅片制备区上方的导轨32和能够沿轨道滑移的滑块31，通过控制滑块31沿导轨32的滑移进而实现硅片的运输。同时为了减少滑块31移动过程中对线路的损伤，导轨32的侧边固定设置有定位槽33，定位槽33内放置有拖链34；拖链34的一端和定位槽33固定，另一端和滑块31的上端部固定。当滑块31沿导轨32滑移时，拖链34的上端部发生弹性形变从而使得放置在拖链34内部的线路始终与滑块31连接。参照图1和图2，滑块31的下端部和升降件4之间设置有用于换向的旋转组件6，旋转组件6包括与滑块31下端部固定的转向件61和设置在转向件61下方的连接板62。连接板62用于固定转向件61和升降件4，从而能够实现吸盘5的换向。本实施例中升降件4优选升降气缸，转向件61优选旋转气缸。当导轨32没有设置在无尘箱2的正上方时，在放置硅片的时候需要转向件61带动升降件4旋转到无尘箱2的正上方后，再利用升降件4将硅片放置进无尘箱2内部。参照图2，升降件4的下端部设置有用于固定吸盘5的锁固板41，升降件4的伸出端固定在锁固板41的一侧，同时将吸盘5固定在锁固板41的中心处。同时锁固板41上固定设置有支板412，支板412远离锁固板41的一侧垂直插设有用于检测硅片的传感器411。当吸盘5的下方吸附有硅片时，传感器411的下端部和硅片接触从而控制下一步的动作。参照图2和图3，吸盘5的外侧环绕设置有吸盘罩51，吸盘罩51和吸盘5通过等间距分布的三个凸块52实现固定。本实施例中吸盘5优选非接触式吸盘5。吸盘罩51的下端面的高度略低于吸盘5下端面的高度，因此当吸盘5吸附硅片时，硅片会与吸盘罩51的下端面接触而被吸附。同时传感器411的最下端的高度和吸盘罩51最下端的高度齐平，当硅片被吸附在吸盘罩51的下端面时，传感器411能够检测到硅片，从而进行一下步的动作。参照图3，吸盘罩51的下端面粘结有柔性层511，避免了吸盘罩51和硅片的直接接触，从而对硅片具有一定的保护作用。本实施例中柔性层511的材料优选橡胶。参照图4和图6，称重台1的外部罩设有无尘箱2，无尘箱2包括箱体21和能够相对于箱体21滑移的箱门22。箱体21和箱门22之间设置有能够控制箱门22滑移的推拉组件8，推拉组件8包括固定在箱体21外侧壁上的推拉件81和与推拉件81固定的推拉板82，推拉件81沿箱门22滑移的方向固定，本实施例中推拉件81优选伸缩气缸。推拉板82呈L型设置，且推拉板82同时与推拉件81的伸出杆以及箱门22均固定连接。当推拉件81内的伸出杆运动时，推动推拉板82一起运动，从而带动与推拉板82固定的箱门22滑移，使得箱门22开启。参照图4和图5，箱体21的上端面沿平行于箱门22滑移的方向对称开设有滑槽211，箱门22设置有能够插设在滑槽211内部并沿滑槽211开设方向滑移的凸块221。通过凸块221和滑槽211的配合能够限制箱门22运动时的方向。参照图5，凸块221的下端部对称设置有能够嵌设在滑槽211内部并且能够转动的滚轮222，当凸块221在滑槽211的内部滑移时，滚轮222能够在滑槽211的内部滚动，一方面能够减少凸块221和滑槽211之间的摩擦力，同时嵌设在滑槽211内部的滚轮222能够防止箱门22在滑移过程中凸块221与滑槽211脱离，从而提高了箱门22运动时的稳定性。参照图6，无尘箱2的下端部固定设置有固定支架7，从而减小了吸盘5(参照图2)和无尘箱2之间的距离和高度，进一步的提高了测量结果的准确性。参照图1，固定支架7与地面接触的下端部设置有若本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动称重装置，包括称重台(1)，其特征在于，还包括设置在称重台(1)上方的吸取组件和罩设在称重台(1)外部的无尘箱(2)；所述无尘箱(2)包括箱体(21)和盖设在箱体(21)上方的箱门(22)，所述箱体(21)和箱门(22)之间设置有推动箱门(22)滑移的推拉组件(8)；所述箱体(21)的下方设置有固定支架(7)；所述吸取组件包括设置在称重台(1)上方的直线模组(3)、设置在直线模组(3)下方的升降件(4)和设置在升降件(4)下方的吸盘(5)；所述直线模组(3)包括滑块(31)，所述升降件(4)设置在滑块(31)的下端部。

【技术特征摘要】
1.一种自动称重装置，包括称重台(1)，其特征在于，还包括设置在称重台(1)上方的吸取组件和罩设在称重台(1)外部的无尘箱(2)；所述无尘箱(2)包括箱体(21)和盖设在箱体(21)上方的箱门(22)，所述箱体(21)和箱门(22)之间设置有推动箱门(22)滑移的推拉组件(8)；所述箱体(21)的下方设置有固定支架(7)；所述吸取组件包括设置在称重台(1)上方的直线模组(3)、设置在直线模组(3)下方的升降件(4)和设置在升降件(4)下方的吸盘(5)；所述直线模组(3)包括滑块(31)，所述升降件(4)设置在滑块(31)的下端部。2.如权利要求1所述的自动称重装置，其特征在于，所述推拉组件(8)包括设置在箱体(21)外侧壁上的推拉件(81)和设置在推拉件(81)端部的推拉板(82)，且所述推拉板(82)和箱门(22)固定。3.如权利要求2所述的自动称重装置，其特征在于，所述箱体(21)的上端面沿箱门(22)滑移的方向对称开设有滑槽(211)，所述箱门(22)设置有与滑槽(211)配合的凸块(221)。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：张学强，戴军，张建伟，罗银兵，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32