硅片扩散石英舟装卸机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片扩散石英舟装卸机，包括机座，在机座上设置有两个石英舟上料轨道和若干个花篮上料轨道，石英舟上料轨道和花篮上料轨道并排设置，且在石英舟上料轨道和花篮上料轨道上方设置有水平滑轨，在水平滑轨上设置有取片机械手，取片机械手用于将硅片从花篮中或者石英舟中取出再放入花篮或者石英舟中，取片机械手可在水平滑轨上滑动，所述石英舟上料轨道分别位于机座的两侧，花篮上料轨道位于两个石英舟上料轨道之间。本实用新型专利技术布局合理，在机座的两侧均设置石英舟上料轨道，当其中一个石英舟轨道进入扩散设备进行处理，另一个轨道可以同时进行装片，交替进行，从而包括花篮上料轨道一直处于运行状态，从而提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
硅片扩散石英舟装卸机
本技术涉及硅片运载
，具体涉及一种硅片扩散石英舟装卸机。
技术介绍
硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气和POCL3等气体，在高温下分解后在硅片表面形成P-N结。高温扩散炉的管道为石英材料的圆形管道，扩散时，首先将硅片放在石英舟上，然后用石英杆或金属杆将石英舟送入管道中进行烘烤。现有技术中的石英舟装卸机多为单侧上舟，效率低下，导致设备占地体积也较大，且通常需要人工进行收取，浪费人力，且人工操作非常容易造成对电池板的破坏。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是解决现有的硅片扩散石英舟装卸机单侧上舟效率低下的技术问题。为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种硅片扩散石英舟装卸机，包括机座，在机座上设置有两个石英舟上料轨道和若干个花篮上料轨道，石英舟上料轨道和花篮上料轨道并排设置，且在石英舟上料轨道和花篮上料轨道上方设置有水平滑轨，在水平滑轨上设置有取片机械手，取片机械手用于将硅片从花篮中或者石英舟中取出再放入花篮或者石英舟中，取片机械手可在水平滑轨上滑动，所述石英舟上料轨道分别位于机座的两侧，花篮上料轨道位于两个石英舟上料轨道之间。进一步的，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片扩散石英舟装卸机，包括机座，其特征在于：在机座上设置有两个石英舟上料轨道和若干个花篮上料轨道，石英舟上料轨道和花篮上料轨道并排设置，且在石英舟上料轨道和花篮上料轨道上方设置有水平滑轨，在水平滑轨上设置有取片机械手，取片机械手用于将硅片从花篮中或者石英舟中取出再放入花篮或者石英舟中，取片机械手可在水平滑轨上滑动，所述石英舟上料轨道分别位于机座的两侧，花篮上料轨道位于两个石英舟上料轨道之间。

【技术特征摘要】
1.一种硅片扩散石英舟装卸机，包括机座，其特征在于：在机座上设置有两个石英舟上料轨道和若干个花篮上料轨道，石英舟上料轨道和花篮上料轨道并排设置，且在石英舟上料轨道和花篮上料轨道上方设置有水平滑轨，在水平滑轨上设置有取片机械手，取片机械手用于将硅片从花篮中或者石英舟中取出再放入花篮或者石英舟中，取片机械手可在水平滑轨上滑动，所述石英舟上料轨道分别位于机座的两侧，花篮上料轨道位于两个石英舟上料轨道之间。2.根据权利要求1所述的硅片扩散石英舟装卸机，其特征在于：所述石英舟上料轨道包括限位导轨，限位导轨上设置有与之配合的石英舟底座，石英舟底座用于装载石英舟，石英舟底座的下方设置丝杠螺母以及相配合的丝杆，丝杠与石英舟底座上装载的石英舟的外边框的水平距离在5～10cm,在丝杆以及丝杠螺...

【专利技术属性】
技术研发人员：董晓清，凌勇，
申请(专利权)人：无锡市江松科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32