温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种硅片扩散石英舟装卸机，包括机座，在机座上设置有两个石英舟上料轨道和若干个花篮上料轨道，石英舟上料轨道和花篮上料轨道并排设置，且在石英舟上料轨道和花篮上料轨道上方设置有水平滑轨，在水平滑轨上设置有取片机械手，取片机械手用于...
该专利属于无锡市江松科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市江松科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。