The invention belongs to the field of solar cell manufacturing, and in particular relates to an automatic graphite boat clip replacement machine, which comprises a rack main body, a new clip storage box, an upper module, a middle module, an assembly module and a control module. When in use, the graphite boat to be replaced is first placed on the middle module, and then on the control module. Under the control of the upper module, the old clamping points are unloaded by using a number of unloading points in the upper module, and then the middle module is moved to the loading point. The new clamping points are installed on the graphite boat by the loader. When the clamping points in the loader are finished, the loader is driven by the displacement driving mechanism of the loader and displaced to the lower part of the new clamping point storage box. The new stuck points stored in the stuck storage box are automatically discharged into the hopper of the loader. The feeding speed is fast, which can effectively guarantee the smooth follow-up work flow and improve work efficiency. The invention has the advantages of high automation, simple operation, high replacement quality, improved product qualification rate, time saving and labor saving, high work efficiency and broad application prospect.
【技术实现步骤摘要】
自动化石墨舟卡点更换机
本专利技术属于太阳能电池制造领域,尤其涉及一种自动化石墨舟卡点更换机。
技术介绍
随着太阳能电池的迅猛发展,越来越多的太阳能电池进入民用领域。在太阳能电池的生产过程中,PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,等离子体增强化学气相沉积法)镀膜工艺是生产流程中的重要环节,起到举足轻重的作用。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时,需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上。目前,载片器通常采用石墨舟,具体操作过程是:将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上,然后,将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中,采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。为了固定硅片于石墨舟中,石墨舟的石墨舟片上设有用于固定硅片的卡点,由于硅片在插取过程中会对卡点有一定的磨损,需要定期对卡点进行更换,以便保证石墨舟的良好状态,进而保证硅片的镀膜质量。传统石墨舟卡点的更换方法操作步骤复杂且繁琐、同时对装配人员技能要求比较高,如果技能操作不到位会导致更换过程中石墨舟片和石墨舟卡点损坏或装配不到位,传统的石墨舟卡点更换操作方法是:石墨舟卡点需要使用到一台简易手动压机,同时压机两边需用泡沫板或橡胶皮垫垫得和手动压机平台一样的高度,操作人员坐在压机面前将石墨舟片平放置于手动压机平台上面,然后依次将石墨舟的24个卡点用手动压机卸下,石墨舟卡点卸下之后操作人员将要更换新的卡点放置于对应 ...
【技术保护点】
1.一种自动化石墨舟卡点更换机,其特征在于,包括:机架主体,供承载设置在其上的其它模组;新卡点储料箱,设置在所述机架主体一侧,为石墨舟提供新的卡点;上模模组,包括上模和上模位移驱动机构,所述上模位移驱动机构连接所述上模,所述上模在所述上模位移驱动机构的驱动下进行上下位移,所述上模上设有若干用于对旧卡点进行卸载的上模卸点柱;中模模组,包括中模和中模位移驱动机构,所述中模位移驱动机构连接所述中模,所述中模在所述中模位移驱动机构的驱动下在原点位与装点位之间进行左右位移,所述中模供放置待卸载卡点的石墨舟;装点模组,包括至少一个装点器和装点器位移驱动机构,所述装点器设置在所述新卡点储料箱下方,所述装点器位移驱动机构连接所述装点器,所述装点器在所述装点器位移驱动机构的驱动下进行XYZ轴位移;控制模组,分别电性连接所述新卡点储料箱、上模模组、中模模组、装点模组,用于对所述新卡点储料箱、上模模组、中模模组、装点模组的工作过程进行控制。
【技术特征摘要】
1.一种自动化石墨舟卡点更换机,其特征在于,包括:机架主体,供承载设置在其上的其它模组;新卡点储料箱,设置在所述机架主体一侧,为石墨舟提供新的卡点;上模模组,包括上模和上模位移驱动机构,所述上模位移驱动机构连接所述上模,所述上模在所述上模位移驱动机构的驱动下进行上下位移,所述上模上设有若干用于对旧卡点进行卸载的上模卸点柱;中模模组,包括中模和中模位移驱动机构,所述中模位移驱动机构连接所述中模,所述中模在所述中模位移驱动机构的驱动下在原点位与装点位之间进行左右位移,所述中模供放置待卸载卡点的石墨舟;装点模组,包括至少一个装点器和装点器位移驱动机构,所述装点器设置在所述新卡点储料箱下方,所述装点器位移驱动机构连接所述装点器,所述装点器在所述装点器位移驱动机构的驱动下进行XYZ轴位移;控制模组,分别电性连接所述新卡点储料箱、上模模组、中模模组、装点模组,用于对所述新卡点储料箱、上模模组、中模模组、装点模组的工作过程进行控制。2.根据权利要求1所述的自动化石墨舟卡点更换机,其特征在于,还包括设置在所述中模模组下方的下模模组,所述下模模组包括下模和下模位移驱动机构,所述下模在所述下模位移驱动机构的驱动下进行上下位移。3.根据权利要求1所述的自动化石墨舟卡点更换机,其特征在于,所述新卡点储料箱包括箱体、卡点滑道、滑块连杆、气缸,所述箱体下侧设有下料口,所述卡点滑道通过所述下料口与所...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙红彬,段波,唐福云,卢佩良,李宁,高顺,高东坡,王银,王志清,蔡振华,王枫,
申请(专利权)人:江苏润阳悦达光伏科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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