一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法技术

本发明专利技术属于硬脆材料超精密加工领域，提供一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法。该方法包含以下步骤：1)室温下，将磨料氧化锆、化学反应试剂氢氧化钠、添加剂加入去离子水中，超声震荡配制化学机械抛光液；2)采用IC1000抛光垫作为化学机械抛光用抛光垫，修整抛光垫；3)选取工艺参数，对钇铝石榴石晶片进行化学机械抛光。通过本发明专利技术，可以较高的材料去除率获得低损伤的钇铝石榴石晶片。

【技术实现步骤摘要】
一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法
本专利技术属于硬脆材料超精密加工领域，涉及一种激光晶体材料的加工，特别涉及到钇铝石榴石晶体的化学机械抛光的方法。
技术介绍
钇铝石榴石晶体(YAG)是固体激光器中应用最为广泛的增益介质基质材料。目前，YAG晶体的抛光工艺中普遍采用金刚石或Al2O3等硬磨料进行抛光，存在加工效率低、表面及亚表面损伤严重等问题。化学机械抛光是一种通过抛光液的化学腐蚀作用和抛光液中磨料的机械作用协同配合来实现对YAG晶体表面进行光整加工的加工方法。通过化学机械抛光，可以快速获得低损伤甚至无机械加工损伤的YAG晶体。将工件以待加工表面与抛光垫接触，在一定的压力作用下进行加工。抛光液中的化学物质可以与工件表面发生化学反应，对其进行刻蚀，形成软化层，同时进行机械去除。抛光液一般由磨料、化学反应剂及添加剂组成。在加工过程中，抛光液中的磨料通过划擦和挤压工件表面起到主要的机械去除作用。化学反应剂在化学机械抛光过程中起到进行化学反应的作用，可以软化或直接腐蚀工件表面。化学反应剂同时还可以调节抛光液体系中的酸碱度、改变磨料在抛光液中的电荷量进而影响抛光液的分散能力。添加剂的种类本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法，其特征在于，包含以下步骤：第一步，配制化学机械抛光液室温下，将磨料氧化锆、化学反应试剂氢氧化钠、添加剂加入去离子水中，超声震荡后得到化学机械抛光液，所述的添加剂为十二烷基苯磺酸钠、聚甲基丙烯酸纳、异丙醇、聚乙二醇20000的一种或两种以上组合物；化学机械抛光液中，所述的氧化锆浓度为0.04～0.1g/ml，氧化锆粒径为0.03‑1μm；所述的氢氧化钠浓度为0.03～0.07g/ml；所述的十二烷基苯磺酸钠浓度为0.25g/L，聚甲基丙烯酸纳浓度为2g/L，异丙醇浓度为2g/L，聚乙二醇20000浓度为1g/L；第二步，采用IC1000抛光垫作为化学...

【技术特征摘要】
1.一种钇铝石榴石晶体的高效化学机械抛光方法，其特征在于，包含以下步骤：第一步，配制化学机械抛光液室温下，将磨料氧化锆、化学反应试剂氢氧化钠、添加剂加入去离子水中，超声震荡后得到化学机械抛光液，所述的添加剂为十二烷基苯磺酸钠、聚甲基丙烯酸纳、异丙醇、聚乙二醇20000的一种或两种以上组合物；化学机械抛光液中，所述的氧化锆浓度为0.04～0.1g/ml，氧化锆粒径为0.03-1μm；所述的氢氧化钠浓度为0.03～0.07g/ml；所述的十二烷基苯磺酸钠浓度为0.25g/L，聚甲基丙烯酸纳浓度为2g/L，异丙醇浓度为2g/L，聚乙二醇20000浓度为1g/L；第二步，采用IC1000抛光垫作为化学机械抛光用抛光垫，修整抛光垫；第三步，对钇铝石榴石晶体进行化学机械抛光，能够达到2nm/mi...

【专利技术属性】
技术研发人员：金洙吉，安润莉，张自力，韩晓龙，康仁科，朱祥龙，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：辽宁,21